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来源: 发布时间:2024-10-27

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半导体制造是一个对精度和洁净度要求极高的行业,直线导轨在其中的应用至关重要。在晶圆加工过程中,直线导轨确保了光刻机、蚀刻机等关键设备的运动精度。晶圆需要在不同的工艺步骤中进行极其精细的定位和移动,直线导轨能够提供亚微米级的定位精度,满足半导体制造的苛刻要求。同时,直线导轨的防尘和防污染设计,有效防止了微小颗粒对晶圆的污染,保证了芯片的良品率。例如,在光刻机中,直线导轨驱动的晶圆台能够以极高的速度和精度进行扫描曝光,实现芯片图案的精确转移。宁夏直线导轨对位平台

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