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金华高精度微纳3D打印三微光刻

来源: 发布时间:2024-05-27

QuantumXshape在3D微纳加工领域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面结构应用上突破性的双光子灰度光刻(2GL®)。全新的QuantumXshape的高精度有赖于其高能力的体素调制比和超精细处理网格,从而实现亚体素的尺寸控制。此外,受益于双光子灰度光刻对体素的微调,该系统在表面微结构的制作上可达到超光滑,同时保持高精度的形状控制。QuantumXshape不只是应用于生物医学、微光学、MEMS、微流道、表面工程学及其他很多领域中器件的快速原型制作的理想工具,同时也成为基于晶圆的小结构单元的批量生产的简易工具。通过系统集成触控屏控制打印文件来很大程度提高实用性。通过系统自带的nanoConnectX软件来进行打印文件的远程监控及多用户的使用配置,实现推动工业标准化及基于晶圆批量效率生产。


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Nanoscribe称,QuantumX是世界上基于双光子灰度光刻技术(two-photongrayscalelithography,2GL)的工业系统,目前该技术正在申请专利。2GL将灰度光刻技术与Nanoscribe的双光子聚合技术相结合,可生产折射和衍射微光学以及聚合物母版的原型。QuantumX的软件能实时控制和监控打印作业,并通过交互式触摸屏控制面板进行操作。为了更好地管理和安排用户的项目,打印队列支持连续执行一系列打印作业。该软件有程序向导,可在一开始就指导设计师和工程师完成打印作业,并能够接受任意光学设计的灰度图像。例如,可接受高达32位分辨率的BMP、PNG或TIFF文件,以便使用Nanoscribe的QuantumX进行直接制造。在双光子灰度光刻工艺中,激光功率调制和动态聚焦定位在高扫描速度下可实现同步进行,以便对每个扫描平面进行全体素大小控制。Nanoscribe称,QuantumX在每个扫描区域内可产生简单和复杂的光学形状,具有可变的特征高度。离散和精确的步骤,以及本质上为准连续的形貌,可以在一个步骤中完成打印,而不需要多步光刻或多块掩模制造。


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双光子聚合(2PP)是一种可实现比较高精度和完全设计自由度的增材制造方法。而作为同类比较好的3D微加工系统QuantumXshape具有下列优异性能:首先,在所有空间方向上低至100纳米的特征尺寸控制,适用于纳米和微米级打??;其次制作高达50毫米的目标结构,适用于中尺度打印。高速3D微纳加工系统QuantumXshape可实现出色形状精度和高精度制作。这种高质量的打印效果是结合了特别先进的振镜系统和智能电子系统控制单元的结果,同时还离不开工业级飞秒脉冲激光器以及平稳坚固的花岗岩操作平台。QuantumXshape具有先进的激光焦点轨??刂疲刹倏卣窬导铀俸图跛僦帘冉虾蒙杷俣?,并以1MHz调制速率动态调整激光功率。QuantumXshape带有独特的自动界面查找功能,可以以低至30纳米的精度检测基板表面。这种在比较高扫描速度下的纳米级精度体现,再加上自校准程序,可在特别短的时间内实现可靠和准确的打印,为3D微纳加工树立了新榜样。这些优异的性能使QuantumXshape成为快速原型制作和应用于微纳光学、微流体、材料表面工程、MEMS等其他领域中晶圆级规模生产的理想工具。 

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2双光子无掩模光刻系统的设计多功能性配合打印材料的多方面选择性,可以实现微机械元件的制作,例如用光敏聚合物,纳米颗粒复合物,或水凝胶打印的远程操控可移动微型机器人,并可以选择添加金属涂层。此外,微纳米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微机电系统(MEMS)。PhotonicProfessionalGT2系统可以实现精度上限的3D打印,突破了微纳米制造的限制。该打印系统的易用性和灵活性的特点配以特别广的打印材料选择使其成为理想的实验研究仪器和多用户设施想要了解更多双光子微纳3D打印技术信息,敬请咨询Nanoscribe中国分公司纳糯三维科技(上海)有限公司。

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光学和光电组件的小型化对于实现数据通信和电信以及传感和成像的应用至关重要。通过传统的微纳3D打印来制作自由曲面透镜等其他新颖设计会有分辨率不足和光学质量表面不达标的缺陷,但是利用双光子聚合原理则可以完美解决这些问题。该技术不光可以用于在平面基板上打印微纳米部件,还可以直接在预先设计的图案和拓扑上精确地直接打印复杂结构,包括光子集成电路,光纤顶端和预制晶片等。Nanoscribe双光子聚合技术所具有的高设计自由度,可以在各种预先构图的基板上实现波导和混合折射衍射光学器件等3D微纳加工制作。结合Nanoscribe公司的高精度定位系统,可以按设计需要精确地集成复杂的微纳结构。  微纳米3D打印公司Nanoscribe,纳米精度的树脂新材料,打印微创手术用的微型针头,微透镜精密器件。绍兴双光子微纳3D打印材料

特别常见的微纳3D打印方法是增材制造。金华高精度微纳3D打印三微光刻

    微纳3D打印技术具有多方面的明显优势,使其在多个领域得到应用。以下是一些主要的优势:高精度和复杂性:微纳3D打印系统可以在微米和纳米尺度上实现高精度的打印,从而制造出具有复杂几何形状和微观结构的零件。这使得它在生物医学、电子、光学和航空航天等领域具有很广的应用前景。定制化设计:该技术可以根据用户的需求进行定制设计,从而实现个性化和定制化生产。这为设计师提供了更大的设计自由度,使得他们可以更容易地实现创新设计。材料利用率高:与传统的加工方法相比,微纳3D打印系统的材料利用率更高。因为在打印过程中,只有需要的材料才会被使用,而不需要的材料则会被避免浪费。这有助于降低生产成本,提高生产效率。可用材料种类多:微纳3D打印可用的材料种类丰富,包括有机聚合物、生物材料、金属、陶瓷、玻璃、复合材料等,这使得它在不同领域的应用更加灵活。方便快捷、效率高:微纳3D打印技术具有方便快捷、效率高的特点,能够快速制造出所需的产品或部件,满足快速响应市场需求的要求。综上所述,微纳3D打印技术因其高精度、定制化设计、高材料利用率、多样的可用材料以及高效快捷的特点,在多个领域具有明显的优势和广阔的应用前景。 金华高精度微纳3D打印三微光刻

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