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来源: 发布时间:2025-07-07

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在芯片制造中,差压检测是保障生产工艺稳定性和洁净环境的关键技术之一。山本电机(Manostar)、长野计器(NKS)等品牌的微差压表在该领域具有重要应用:芯片制造中的差压检测需求芯片生产需严格控制洁净室压差(如正压维持防尘)、工艺气体管路压力稳定性及过滤器状态监测。差压表的精度需达到±1.0%FS至±2.5%FS13,量程覆盖50Pa至1000Pa级别,例如山本电机FR51AHV系列支持±50Pa至500Pa3,长野计器GV55系列则适配更高压力场景4。山本电机(Manostar)的技术特性产品线包括FR51A、WO81、EMD7等系列,采用数字变送技术(如EMD7D3N1E53),可集成到自动化系统实时反馈数据。特殊设计适应腐蚀性环境(如EMA2耐腐蚀型号2),满足半导体厂房的化学气体暴露需求。结构紧凑(40mm表盘1),适合空间受限的机台嵌入式安装。长野计器(NKS)的差异化应用NKS的GV55系列采用甘油填充技术,抑制振动干扰,适用于高振动设备(如泵机、空压系统)的压力监测4,保障芯片制造设备的长期稳定性。

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