德国Polos-BESM系列光刻机采用无掩模激光直写技术,突破传统光刻对物理掩膜的依赖,支持用户通过软件直接输入任意图案进行快速曝光。其亚微米分辨率(most小线宽0.8 μm)和405 nm紫外光源,可在5英寸晶圆上实现高精度微纳结构加工18。系统体积紧凑,only占桌面空间,搭配闭环自动对焦(1秒完成)和半自动多层对准功能,大幅提升实验室原型开发效率,适用于微流体芯片设计、电子元件制造等领域。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。未来技术储备:持续研发光束整形与多材料兼容工艺,lead微纳制造前沿。河北PSP光刻机让你随意进行纳米图案化
德国 Polos 光刻机系列以其紧凑的设计,在有限的空间内发挥着巨大作用。对于研究实验室,尤其是空间资源紧张的高校和初创科研机构来说,设备的空间占用是重要考量因素。Polos 光刻机占用空间小的特点,使其能够轻松融入各类实验室环境。? 尽管体积小巧,但它的性能却毫不逊色。无掩模激光光刻技术保障了高精度的图案制作,低成本的优势降低了科研投入门槛。在小型实验室中,科研人员使用 Polos 光刻机,在微流体、电子学等领域开展研究,成功取得多项成果。从微纳结构制造到新型器件研发,Polos 光刻机证明了小空间也能蕴藏大能量,为科研创新提供有力支持。河北PSP光刻机让你随意进行纳米图案化全球产业链整合:德国精密制造背书,与Lab14集团共推光通信芯片封装技术。
Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计,写入区域达155×155 mm,平台双向重复性精度0.1 μm,满足工业级需求。其搭载20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头,支持实时观测与多层对准。配套的BEAM Xplorer软件简化了复杂图案设计流程,内置高性能笔记本电脑实现快速数据处理,成为微机电系统(MEMS)和光子晶体研究的理想工具。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。
在微流体领域,Polos系列光刻机通过无掩模技术实现了复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞球浸润行为,为组织工程提供了新型生物界面设计策略10。Polos设备的精度与灵活性可支持此类仿生结构的批量生产,推动医疗诊断芯片的研发。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。德国技术基因:融合精密光学与自动化控制,确保设备高稳定性与长寿命。
某材料实验室利用 Polos 光刻机的亚微米级图案化能力,在铝合金表面制备出仿荷叶结构的超疏水涂层。其激光直写技术在 20μm 间距的微柱阵列上叠加 500nm 的纳米脊,使材料表面接触角达 165°,滚动角小于 3°。该涂层在海水环境中浸泡 30 天后,防腐蚀性能较未处理表面提升 10 倍。其灵活的图案编辑功能还支持在同一样品上实现超疏水与超亲水区域的任意组合,被用于微流控芯片的液滴定向输运,液滴驱动电压降低至传统方法的 1/3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。微流体3D成型:复杂流道快速曝光,助力tumor筛查芯片与药物递送系统研发。陕西德国POLOS光刻机让你随意进行纳米图案化
跨学科应用:覆盖微机械、光子晶体、仿生传感器与纳米材料合成领域。河北PSP光刻机让你随意进行纳米图案化
低成本桌面化光刻:SPS POLOS μ的科研普惠!Polos系列在微流体领域实现复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞浸润行为,为组织工程提供新策略3。Polos的高精度与灵活性支持仿生结构批量生产,推动医疗诊断芯片研发,如tumor筛查与药物递送系统的微型化64。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。河北PSP光刻机让你随意进行纳米图案化