无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。软件高效兼容：BEAM Xplorer支持GDS文件导入，简化复杂图案设计流程。四川POLOSBEAM光刻机让你随意进行纳米图案化

Polos-BESM在电子器件原型开发中展现高效性。例如，其软件支持GDS文件直接导入，多层曝光叠加功能简化了射频器件（如IDC电容器）的制造流程。研究团队利用同类设备成功制备了高频电路元件，验证了其在5G通信和物联网硬件中的潜力。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。河北桌面无掩模光刻机用户案例broad：全球超500家科研机构采用，覆盖高校、研究所与企业实验室。

德国 Polos 光刻机系列是电子学领域不可或缺的精密设备。其无掩模激光光刻技术，让电路图案曝光不再受限于掩模，能够实现超高精度的图案绘制。在芯片研发过程中，Polos 光刻机可precise刻画出纳米级别的电路结构，为芯片性能提升奠定基础。? 科研团队使用 Polos 光刻机，成功开发出更高效的集成电路，降低芯片能耗，提高运算速度。而且，该光刻机可轻松输入任意图案，满足不同电子元件的多样化设计需求。无论是新型传感器的电路制作，还是微型处理器的研发，Polos 光刻机都能以高精度、低成本的优势，为电子学领域的科研成果产出提供有力保障，推动电子技术不断创新。

德国Polos-BESM系列光刻机采用无掩模激光直写技术，突破传统光刻对物理掩膜的依赖，支持用户通过软件直接输入任意图案进行快速曝光。其亚微米分辨率（most小线宽0.8 μm）和405 nm紫外光源，可在5英寸晶圆上实现高精度微纳结构加工18。系统体积紧凑，only占桌面空间，搭配闭环自动对焦（1秒完成）和半自动多层对准功能，大幅提升实验室原型开发效率，适用于微流体芯片设计、电子元件制造等领域。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。6英寸晶圆兼容：Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工，工业级重复精度0.1 μm。

某基因treatment团队采用 Polos 光刻机开发了微米级 DNA 递送载体。通过 STL 模型直接导入，在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窝状微孔结构，载体的 DNA 负载量达 200μg/mg，较传统电穿孔法提升 5 倍。动物实验显示，该载体在肝脏靶向递送中，基因转染效率达 65%，且免疫原性降低 70%。其无掩模特性支持根据不同细胞表面受体定制载体形貌，在 CAR-T 细胞treatment中，CAR 基因导入效率从 30% 提升至 75%，相关技术已申请国际patent。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。POLOS μ 光刻机：桌面级设计，2-23μm 可调分辨率，兼容 4 英寸晶圆，微机电系统加工误差 < 5μm。陕西POLOSBEAM-XL光刻机可以自动聚焦波长

柔性电子制造：可制备叉指电容器与高频电路，推动5G通信与物联网硬件发展。四川POLOSBEAM光刻机让你随意进行纳米图案化

可编程微流控芯片需要集成电路控制与流体通道，传统工艺需多次掩模对准，良率only 30%。Polos 光刻机的多材料同步曝光技术，支持在同一块基板上直接制备金属电极与 PDMS 通道，将良率提升至 85%。某微系统实验室利用该特性，开发出可实时切换流路的生化分析芯片，通过软件输入不同图案，10 分钟内即可完成从 DNA 扩增到蛋白质检测的?？榍谢?。该成果应用于 POCT 设备，使现场快速检测系统的体积缩小 60%，检测时间缩短至传统方法的 1/3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。四川POLOSBEAM光刻机让你随意进行纳米图案化