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来源: 发布时间:2024-12-26

真空计按测量原理分类

静态液位真空计测量原理:利用U型管两端液面差来测量压力。弹性元件真空计测量原理:利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。但直接测量这样小的力是困难的,因此可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。压缩式真空计测量原理:在U型管的基础上应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。热传导真空计测量原理:利用低压下气体热传导与压力有关的原理制成。示例:电阻真空计、热偶真空计等。热辐射真空计测量原理:利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。 皮拉尼真空计是一种测量真空压力的仪器,它是根据皮拉尼原理制成的。杭州高质量真空计多少钱

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皮拉尼真空计在多个领域有着广泛的应用,包括但不限于:

化学工业:用于监测化学反应过程中的真空度变化。电子与微电子领域:用于半导体制造和微电子器件生产过程中的真空度测量。气相沉积:用于监测气相沉积过程中的真空度变化。电子束焊接:用于电子束焊接过程中的真空度测量。真空冶金:用于真空冶金过程中的真空度监测。此外,皮拉尼真空计还常用于监测从大气到高真空区域开始的泵送过程(如涡轮分子泵或其他高真空泵接管该区域)、在真空冶金行业(在受控环境中制造的高纯度合金)中确保不同薄膜涂层系统的工艺一致性和优化等方面。 杭州高质量真空计多少钱电容真空计具有结构简单、测量范围广、响应速度快、稳定性好等优点。

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皮拉尼真空计利用惠斯通电桥的补偿原理,通过测量一个发热体与一个接收发热体之间的热传导程度来判断气体的压力。具体来说,当加热灯丝(一般为铂丝)被恒定电流加热时,其温度会升高。对于给定大小的电流,加热丝的温度取决于通过传导和对流向周围介质(即气体)散热的速率。在真空或低压环境中,加热丝的热导率(即将热量散发给周围介质的能力)会降低,导致加热丝变得更热。这种温度变化会引起导线电阻的变化,这种变化可以通过惠斯通电桥来测量。当气体分子密度发生变化时,热量从金属丝传递到气体会受到影响。这种热损失取决于气体类型和压力,使金属丝保持在一定温度下所需的能量也相应变化。因此,可以通过测量这种能量变化来间接测量真空压力。

辰仪金属电容真空计是完全对标MKS的金属电容真空计而开发的一款金属膜片真空计,已实现全系列部件国产化,产品测量精度接近MKS金属电容真空计。辰仪金属电容真空计已中芯国际等国内FAB厂上机测试,填补了MKS对国内断供的影响。

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辰仪陶瓷电容真空计是完全对标英福康的陶瓷电容真空计而开发的一款陶瓷膜片真空计,已实现全系列部件国产化的陶瓷膜片真空计,产品测量精度已达到和英福康一致水平。辰仪陶瓷电容真空计已在暖通、储能、光伏、CVD等行业销售,产品性能获得客户认可。

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真空计有哪几种常见的类型?杭州高质量真空计多少钱

皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳,内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路,并负责信号放大和信号数字化的工作。

此外,皮拉尼真空计还常用于监测从大气到高真空区域开始的泵送过程(如涡轮分子泵或其他高真空泵接管该区域)、在真空冶金行业(在受控环境中制造的高纯度合金)中确保不同薄膜涂层系统的工艺一致性和优化等方面。

综上所述,皮拉尼真空计作为一种热传导式真空计,具有较大的测量范围、较好的重现性、较低的制作成本和合适的价格等优点。同时,它也存在一些缺点,如对不同气体的测量精度差异和对污染的敏感性等。因此,在选择和使用皮拉尼真空计时,需要根据具体应用场景和需求进行综合考虑。 杭州高质量真空计多少钱

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