泡工艺发泡工艺是陶瓷组分添加有机或无机化学物质,通过化学反应等产生挥发气体,经干燥和烧成制成多孔陶瓷。发泡工艺与泡沫浸渍工艺相比,更容易控制制品的形状、成分和密度,并可制备各种气孔形状和大小的多孔陶瓷,特别适用于制备闭气孔的陶瓷材料。用来做发泡剂的化学物质有很多种类,例如,用碳化钙、氢氧化钙、铝粉***铝和双氧水作发泡剂;由亲水性聚氨脂塑料和陶瓷泥浆同时发泡制备多孔陶瓷;用硫化物和***盐混合作发泡剂等。添加成孔剂工艺此工艺是通过在陶瓷配料中添加造孔剂,利用造孔剂在坯体中占据一定的空间,然后经过烧结,造孔剂离开而形成气孔来制备多孔陶瓷。添加造孔剂制备多孔陶瓷的工艺流程与普通的陶瓷工艺流程相似。造孔剂的种类有无机和有机两类,无机造孔剂有碳酸铵、碳酸氢铵、氯化铵等高温可分解的盐类,以及煤粉、碳粉等。有机造孔剂主要是天然纤维、高分子聚合物和有机酸等。造孔剂颗粒的形状和大小决定了多孔陶瓷材料气孔的形状和大小。多孔陶瓷材料的成型方法与普通陶瓷的成型方法类似,主要有模压、挤压、等静压、扎制、注射和粉浆浇注等。 微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成.微孔陶瓷真空吸盘参考价

高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650—1990℃，透射波长为1～6μm，在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。

 氧化锆陶瓷呈白色，含杂质时呈黄色或灰色，一般含有HfO2，不易分离。在常压下纯ZrO2共有三种晶态。氧化锆陶瓷的生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体，氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。 微孔陶瓷真空吸盘参考价研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料.

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。

氧化锆陶瓷是具有独特的物理和化学性质，如高硬度，低的热传导性，熔点高，抗高温和腐蚀，化学惰性和两性性质，在电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷等方面的应用迅速发展。作为特种陶瓷材料在电子、航天、航空和核工业等高新技术领域具有广阔的应用前景。然而氧化锆陶瓷材料的致命缺点是脆性，低可靠性和低重复性，这些不足严重影响了其应用范围。只有改善氧化锆陶瓷的断裂韧性，实现材料强韧化，提高其可靠性和使用寿命，才能使氧化锆陶瓷真正地成为一种广泛应用的新型材料，因此，氧化锆陶瓷增韧技术一直是陶瓷研究的热点。不易阻塞真空力大，部份面积吸附.

材质

(1)高硅质硅酸盐材料，它主要以硬质瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷颗粒为骨料，具有耐水性、耐酸性，使用温度达700℃。

(2)铝硅酸盐材料，它以耐火粘土熟料、烧矾土、硅线石和合成莫来石颗粒为骨料。具有耐酸性和耐弱碱性，使用温度达1 000℃。

(3)精陶质材料，它以多种粘土熟料颗粒与粘土等混合烧结，得到微孔陶瓷材料。

(4)硅藻土质材料，它主要以精选硅藻土为原料，加粘土烧结而成。用于精滤水和酸性介质。

(5)纯炭质材料，它以低灰分煤或石油沥青焦颗粒为原料，或加入部分石墨，用稀焦油粘结烧制而成，用于耐水、冷热强酸、冷热强碱介质以及空气的消毒和过滤等。

(6)刚玉和金刚砂材料，它以不同型号的电熔刚玉和碳化硅颗粒为骨料，具有耐强酸、耐高温的特性 在加工时，只要根据被加工物的形状和尺寸.东莞微孔陶瓷真空吸盘市场报价

是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.微孔陶瓷真空吸盘参考价

2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 微孔陶瓷真空吸盘参考价

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