高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附,同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用***用于平坦，无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力，将工作物（包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用，具有优越的性能价格比。 微孔陶瓷真空吸盘的着眼点及产品特点.深圳微孔陶瓷真空吸盘维修电话

2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 深圳微孔陶瓷真空吸盘维修电话微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.

2、干压成型

对形状简单、适于干压成型的中小型氧化锆陶瓷产品常采用干压方法成型。氧化锆 陶瓷干压时出现的常见问题是产品分层，这是因为氧化锆超细粉造粒料的颗粒很细，因而颗粒轻、流动性差，干压成型时容易出现分层现象。从生产实践中得知，产品分层与成型模具的光洁度和配合情况、成型压力、加压方式、加压速度和保压时间、脱模方式、脱模速度均有关系，下面就上述几方面因素对干压成型的影响分述如下：

A、模具的光洁度和配合情况

干压成型对模具质量要求较高，首先要求模具硬度达到一定的要求。由于氧化锆稳定料的颗粒很细，流动性差，因而对模具的光洁度要求很高，若光洁度达不到要求，则干压时影响料的流动，从而导致分层的出现。同时，若模具配合不好，间隙大，则由于氧化锆 粉料颗粒细，压制时粉料会从模具间隙中流出，从而造成模具四周的粉料少，这样压制时四周就不能压实，从而会因压力传递不一致而出现分层，故对模具的配合要求较高。

2、工业高温窑炉

氧化铝陶瓷具有优异的耐高温、热稳定性好、热导率低、热容小、耐机械振动等性能，导热系数和容重分别只有传统耐火材料的1/10和1/15，综合性能好，是理想的节能增效耐火材料，用于工作温度高于1400 ℃的钢铁工业各种热处理炉，陶瓷烧成窑，石油化工中的裂解炉、燃烧炉等的隔热炉衬材料。

氧化铝陶瓷应用于固体火箭发动机喷管，使喷管设计**简化，部件数量减少50%，质量减轻50%。也可应用于航天飞机的隔热材料，美国“哥伦比亚”号航天飞机隔热板衬垫用的是Saffil氧化铝陶瓷，能经受1600 ℃的高温。

4、陶瓷基复合材料

采用**度、高弹性的氧化铝陶瓷与陶瓷基体复合技术，能制备韧性优良的陶瓷基复合材料，可明显提高陶瓷产业的技术水平，带动高技术陶瓷产业的迅速发展。 Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围.

    （1）晶粒大小。品粒越细，晶界面积越大，产生塑性变形就越大。（2）温度。在压力恒定下，应变速率随着温度提高而增加。（3）应变速率大小。尤其在位伸变形时，较低的应变速率可获大于200%的拉伸变形，因为应变速率过大，在晶界处易形成空洞等，以致造成过早的断裂。（4）空洞大小。要保持较低的应变速率，以***空洞的生成。目前，超塑性氧化锆陶瓷主要用于发动机中活塞环，随着研究的深入，其应用前景是广阔的。氧化锆材料高温下具有导电性其晶体结构存在氧离子缺位的特性，可制成各种功能元件。 微孔陶瓷真空吸盘的结构紧凑，重量轻，易于安装和更换。深圳微孔陶瓷真空吸盘维修电话

适用多种不同工件提供各种不同形状,尺寸和材料的吸盘.深圳微孔陶瓷真空吸盘维修电话

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 深圳微孔陶瓷真空吸盘维修电话

“氧化铝陶瓷|氧化锆陶瓷|碳化硅陶瓷|陶瓷机械手”深圳市德澳美精密制造有限公司，公司位于：深圳市龙华区龙华街道清湖社区清湖安之龙工业园B栋201，多年来，德澳美坚持为客户提供好的服务。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。德澳美期待成为您的长期合作伙伴！