多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘，是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体，通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料，凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高、易于再生和优良的抗热震性等优点，可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷等，在化工、环保、能源、电子、生物化学等领域展现出独特的应用优势。

微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度，及吸附能力非常强等特点，广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。Fountyl加工的微孔陶瓷的主要特点：平面度、平行度好、组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。 我们开发了新型多孔陶瓷，它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。佛山进口微孔陶瓷真空吸盘厂商

真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围。微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒**而成，**时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。佛山进口微孔陶瓷真空吸盘厂商是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体.

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。

    氧化铝陶瓷作为陶瓷质陶瓷，具有**度、高弹性模量、高温抗氧化性等优异性能，广泛应用于制备陶瓷基复合材料、金属基复合材料等领域，成为目前极有发展前途的无机盐陶瓷材料。下面小编简要介绍氧化铝陶瓷制备方法及应用。一、氧化铝陶瓷制备方法氧化铝陶瓷制备方法主要有助熔剂法、湿氢法、Al-SiO2法、模板法、前驱体法等。1、助熔剂法助熔剂法是采用***铝钾为原料，以***钾为助熔剂，将***铝钾和***钾按一定比例混合研磨均匀，放入高温炉中以一定速率升至900～1200℃，焙烧2～6h，自然冷却后对产物进行溶浸处理，得到氧化铝陶瓷。助熔剂法优点是工艺简单，成本低廉，且***铝钾分解过程中能够得到副产品***钾，具有一定经济效益。 微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度，及吸附能力非常强等特点.

    泡工艺发泡工艺是陶瓷组分添加有机或无机化学物质,通过化学反应等产生挥发气体,经干燥和烧成制成多孔陶瓷。发泡工艺与泡沫浸渍工艺相比,更容易控制制品的形状、成分和密度,并可制备各种气孔形状和大小的多孔陶瓷,特别适用于制备闭气孔的陶瓷材料。用来做发泡剂的化学物质有很多种类,例如,用碳化钙、氢氧化钙、铝粉***铝和双氧水作发泡剂;由亲水性聚氨脂塑料和陶瓷泥浆同时发泡制备多孔陶瓷;用硫化物和***盐混合作发泡剂等。添加成孔剂工艺此工艺是通过在陶瓷配料中添加造孔剂,利用造孔剂在坯体中占据一定的空间,然后经过烧结,造孔剂离开而形成气孔来制备多孔陶瓷。添加造孔剂制备多孔陶瓷的工艺流程与普通的陶瓷工艺流程相似。造孔剂的种类有无机和有机两类,无机造孔剂有碳酸铵、碳酸氢铵、氯化铵等高温可分解的盐类,以及煤粉、碳粉等。有机造孔剂主要是天然纤维、高分子聚合物和有机酸等。造孔剂颗粒的形状和大小决定了多孔陶瓷材料气孔的形状和大小。多孔陶瓷材料的成型方法与普通陶瓷的成型方法类似,主要有模压、挤压、等静压、扎制、注射和粉浆浇注等。 适用多种不同工件提供各种不同形状,尺寸和材料的吸盘.佛山进口微孔陶瓷真空吸盘厂商

为每一种应用领域提供合适的吸盘产品.佛山进口微孔陶瓷真空吸盘厂商

（3）“钉扎”理论， 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应，从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生，晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。

二、氧化锆增韧陶瓷的种类

氧化锆增韧陶瓷主要有稳定氧化锆陶瓷、部分稳定氧化锆陶瓷、四方氧化锆多晶体陶瓷、氧化锆超塑性陶瓷。

1、稳定氧化锆陶瓷

稳定氧化锆陶瓷是在制备氧化锆粉体时添加一定数量的稳定剂使之固溶入氧化锆内，形成立方相氧化锆，在整个温度范围内不发生相变，也就没有体积变化的陶瓷材料。常用的稳定剂主要有CaO、MgO、Y2O3、CeO2等。 佛山进口微孔陶瓷真空吸盘厂商

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