2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷.韶关本地微孔陶瓷真空吸盘厂家报价

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 韶关本地微孔陶瓷真空吸盘厂家报价我们开发了新型多孔陶瓷，它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。

2、干压成型

对形状简单、适于干压成型的中小型氧化锆陶瓷产品常采用干压方法成型。氧化锆 陶瓷干压时出现的常见问题是产品分层，这是因为氧化锆超细粉造粒料的颗粒很细，因而颗粒轻、流动性差，干压成型时容易出现分层现象。从生产实践中得知，产品分层与成型模具的光洁度和配合情况、成型压力、加压方式、加压速度和保压时间、脱模方式、脱模速度均有关系，下面就上述几方面因素对干压成型的影响分述如下：

A、模具的光洁度和配合情况

干压成型对模具质量要求较高，首先要求模具硬度达到一定的要求。由于氧化锆稳定料的颗粒很细，流动性差，因而对模具的光洁度要求很高，若光洁度达不到要求，则干压时影响料的流动，从而导致分层的出现。同时，若模具配合不好，间隙大，则由于氧化锆 粉料颗粒细，压制时粉料会从模具间隙中流出，从而造成模具四周的粉料少，这样压制时四周就不能压实，从而会因压力传递不一致而出现分层，故对模具的配合要求较高。

吸盘类型：微孔陶瓷。

主要特点：平面度、平行度好，组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀。

我厂位于享誉中国科技前沿重镇的珠三角，有10多年专业生产加工氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅陶瓷生产加工经验。技术力量雄厚、设备精良，加工经验丰富。现有多台精密数控设备、精密机床、以及各种**的加工工艺和加工工具，并配备各种精密检测仪器，以确保产品质量精度。可根据客户图纸生产、加工各种规格、种类的精密陶瓷零件。产品精度高，性能良好，广泛应用于半导体、光伏、精密机械、**、医疗、科研等领域。

产品主要包括：陶瓷轴、陶瓷柱塞、氧化铝陶瓷手臂、陶瓷圆盘、微孔陶瓷真空吸盘、基片、各种异形件等。 产品种类：陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等.

    （1）晶粒大小。品粒越细，晶界面积越大，产生塑性变形就越大。（2）温度。在压力恒定下，应变速率随着温度提高而增加。（3）应变速率大小。尤其在位伸变形时，较低的应变速率可获大于200%的拉伸变形，因为应变速率过大，在晶界处易形成空洞等，以致造成过早的断裂。（4）空洞大小。要保持较低的应变速率，以***空洞的生成。目前，超塑性氧化锆陶瓷主要用于发动机中活塞环，随着研究的深入，其应用前景是广阔的。氧化锆材料高温下具有导电性其晶体结构存在氧离子缺位的特性，可制成各种功能元件。 在一个盘上，可以固定多种形状的被加工物。韶关本地微孔陶瓷真空吸盘厂家报价

请注意，被加工物要比吸附部分尺寸大才行，不然就吸不住.韶关本地微孔陶瓷真空吸盘厂家报价

3、等静压成型

对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷，需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等，且压力大，因此成型后的坯体密度高，均匀性好，烧成收缩小，不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层，特别是成型较厚的氧化锆制品，干压时极易出现分层，而等静压成型则可避免，因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工，因此会浪费一部分原料，同时由于坯体很硬，加工比较麻烦，且加工速度要求缓慢，否则坯体易发生断裂，生产效率不高。 韶关本地微孔陶瓷真空吸盘厂家报价

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