二、结构陶瓷氧化锆陶瓷力学性能较好，其作为工程结构材料应用非常***。氧化锆陶瓷轴承的寿命稳定性高于传统滑动和滚动轴承，更加耐磨、抗腐蚀；氧化锆陶瓷可以制作发动机气缸内衬、活塞环等零件，在降低质量的同时还可以提高热效率；氧化锆陶瓷阀门可以有效代替传统金属合金阀门，尤其是在恶劣的工作环境中，有效降低磨损、提高耐腐蚀性，从而**提高寿命；氧化锆陶瓷可用于制作陶瓷***，比传统钢刀更加锋利，外观精美漂亮等。.二、结构陶瓷氧化锆陶瓷力学性能较好，其作为工程结构材料应用非常***。氧化锆陶瓷轴承的寿命稳定性高于传统滑动和滚动轴承，更加耐磨、抗腐蚀；氧化锆陶瓷可以制作发动机气缸内衬、活塞环等零件，在降低质量的同时还可以提高热效率；氧化锆陶瓷阀门可以有效代替传统金属合金阀门，尤其是在恶劣的工作环境中，有效降低磨损、提高耐腐蚀性，从而**提高寿命；氧化锆陶瓷可用于制作陶瓷***，比传统钢刀更加锋利，外观精美漂亮等。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。广东微孔陶瓷真空吸盘参考价

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 韶关本地微孔陶瓷真空吸盘市场价广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。

（3）“钉扎”理论， 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应，从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生，晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。

二、氧化锆增韧陶瓷的种类

氧化锆增韧陶瓷主要有稳定氧化锆陶瓷、部分稳定氧化锆陶瓷、四方氧化锆多晶体陶瓷、氧化锆超塑性陶瓷。

1、稳定氧化锆陶瓷

稳定氧化锆陶瓷是在制备氧化锆粉体时添加一定数量的稳定剂使之固溶入氧化锆内，形成立方相氧化锆，在整个温度范围内不发生相变，也就没有体积变化的陶瓷材料。常用的稳定剂主要有CaO、MgO、Y2O3、CeO2等。

2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例，它的比表面积不但比平板电极提高3～5个数量级，而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O～10cm，从而**提高电极的极限电流密度，减少浓差极化。

敏感元件

陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时，介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应，使微孔陶瓷的电位或电流发生变化，从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。

微孔膜

陶瓷分离膜因耐高温、耐酸碱、抗生物侵蚀、不老化、寿命长等优点，被开发应用于食品工业、生物化工、能源工程、环境工程、电子技术等领域。随着材料科学技术的发展，纳米级多孔无机膜的制备和应用成为人们目前研究的热点。微孔无机膜还应用于光学、电子学、磁学等领域。 微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度，及吸附能力非常强等特点.

高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650—1990℃，透射波长为1～6μm，在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。

 氧化锆陶瓷呈白色，含杂质时呈黄色或灰色，一般含有HfO2，不易分离。在常压下纯ZrO2共有三种晶态。氧化锆陶瓷的生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体，氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。 应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序.韶关正规微孔陶瓷真空吸盘工厂

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有机泡沫浸渍工艺

有机泡沫浸渍法是用有机泡沫浸渍陶瓷浆料，干燥后烧掉有机泡沫，获得多孔陶瓷的一种方发泡工艺法。该法适于制备高气孔率、开口气孔的多孔陶瓷。这种方法制备的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。

溶胶－凝胶工艺

溶胶- 凝胶工艺主要利用凝胶化过程中胶体粒子的堆积以及凝胶处理、热处理等过程中留下小气孔,形成可控多孔结构。这种方法大多数产生纳米级气孔,多用来生产微孔陶瓷。溶胶－凝胶工艺是一种新的制备多孔陶瓷的工艺,与其它工艺相比有其独特之处。例如,用溶胶－凝胶法制备氧化铝多孔陶瓷,与颗粒混合、泡沫浸渍、喷雾干燥颗粒等方法相比较,溶胶－凝胶法可进一步改善氧化铝多孔陶瓷孔径分布的控制、相变、纯度及显微结构。 广东微孔陶瓷真空吸盘参考价

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