种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国仅有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 在加工时，只要根据被加工物的形状和尺寸.进口微孔陶瓷真空吸盘生产厂家

    工程陶瓷材料的厂家，因为这种陶瓷材料硬度更高，耐磨性也更好氧化锆陶瓷目前已经有了非常***的应用，而且市场需求量也在日益增加，所以现在氧化锆陶瓷厂家也越来越多，那么应该如何选择氧化锆陶瓷生产厂家呢？下面就来为大家进行分析。工程陶瓷材料的厂家，因为这种陶瓷材料硬度更高，耐磨性也更好氧化锆陶瓷目前已经有了非常***的应用，而且市场需求量也在日益增加，所以现在氧化锆陶瓷厂家也越来越多，那么应该如何选择氧化锆陶瓷生产厂家呢？下面就来为大家进行分析。 深圳官方微孔陶瓷真空吸盘怎么联系适用多种不同工件提供各种不同形状,尺寸和材料的吸盘.

    （1）晶粒大小。品粒越细，晶界面积越大，产生塑性变形就越大。（2）温度。在压力恒定下，应变速率随着温度提高而增加。（3）应变速率大小。尤其在位伸变形时，较低的应变速率可获大于200%的拉伸变形，因为应变速率过大，在晶界处易形成空洞等，以致造成过早的断裂。（4）空洞大小。要保持较低的应变速率，以***空洞的生成。目前，超塑性氧化锆陶瓷主要用于发动机中活塞环，随着研究的深入，其应用前景是广阔的。氧化锆材料高温下具有导电性其晶体结构存在氧离子缺位的特性，可制成各种功能元件。

    隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其最传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的隔热材料正是这种多孔陶瓷材料。高级的多孔陶瓷隔热材料还可用于航天飞机的外壳隔热。除此以外,由于其多孔性还可以作为换热材料用,且换热充分。多孔介质燃烧器多孔介质燃烧器有功率大、范围可调、高功率密度、极低的C0和N0x排放量、安全稳定燃烧等优点。而且很重要的一点是，多孔介质燃烧器的结构紧凑，尺寸大大减小，制造成本低，系统效率较高，消除了额外能耗。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。

真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，Fountyl微孔陶瓷正空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围。微孔陶瓷的结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒集合而成，集合时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔陶瓷材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的专用工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。微孔陶瓷真空吸盘 微孔陶瓷,种类微孔陶瓷特性微孔,透气.深圳官方微孔陶瓷真空吸盘怎么联系

通过微小的气孔把空气吸出，便加工物紧贴在陶瓷面上。进口微孔陶瓷真空吸盘生产厂家

水热－热静压工艺

该工艺通过水作为压力传递介质制备各种孔径多孔陶瓷。其简单制备步骤为：硅凝胶和10%(质量百分数)的水混合，置于高压釜中(压力10—15MPa，温度300℃)，通过水蒸汽的挥发而制成多孔陶瓷。水热－热静压工艺中，反应时间一般为10—180 min。在25MPa下处理60min，制得的多孔陶瓷材料体积密度为0.88 g/cm，孔体积为0.59cm/g，孔尺寸分布范围为30~50nm，抗压强度高达80MPa。多孔陶瓷水热－热静压工艺具有以下优点：制得的多孔陶瓷材料抗压强度高、性能稳定、孔径分布范围广。 进口微孔陶瓷真空吸盘生产厂家

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