压缩蒸汽制冷循环采用低沸点物质作制冷剂，利用在湿蒸汽区定压即定温的特性，在低温下定压气化吸热制冷，可以克服上述压缩空气、回热压缩空气循环的部分缺点。芯片高低温测试机吸收式制冷循环：吸收式制冷循环利用制冷剂在溶液中不同温度下具有不同溶解度的特性，使制冷剂在较低的温度和压力下被吸收剂吸收，同时又使它在较高的温度和压力下从溶液中蒸发，完成循环实现制冷目的。芯片高低温测试机是可供各种行业使用，比如：制药、化工、工业、研究所、高校等行业中使用，当然，无锡晟泽的其他制冷加热控温设备使用的范围也比较广。芯片测试机可以检测芯片的电学参数，包括电流和电压等。天津晶圆芯片测试机定制

存储器，芯片往往集成着各种类型的存储器（例如ROM/RAM/Flash），为了测试存储器读写和存储功能，通常在设计时提前加入BIST（Built-In SelfTest）逻辑，用于存储器自测。芯片通过特殊的管脚配置进入各类BIST功能，完成自测试后BIST模块将测试结果反馈给Tester。ROM（Read-Only Memory）通过读取数据进行CRC校验来检测存储内容是否正确。RAM（Random-Access Memory）通过除检测读写和存储功能外，有些测试还覆盖DeepSleep的Retention功能和Margin Write/Read等等。Embedded Flash除了正常读写和存储功能外，还要测试擦除功能。Wafer还需要经过Baking烘烤和Stress加压来检测Flash的Retention是否正常。还有Margin Write/Read、Punch Through测试等等。天津晶圆芯片测试机定制芯片测试机可以测试芯片的信号幅度和灵敏度。

Probe Card---乃是Tester与wafer上的DUT之间其中一个连接介面，目的在连接Tester Channel 与待测DUT。大部分为钨铜或铍铜，也有钯等其他材质；材质的选择需要强度高、导电性及不易氧化等特性，样子如下面所示。当 probe card 的探针正确接触wafer内一顆 die的每个bond pads后, 送出start信号通过Interface给tester开始测试, tester完成测试送回分类讯号 ( End of test) 给Prober, 量产時必須 tester 与 prober 做连接(docking) 才能测试。较终测试(FT,或者封装测试)：就是在图（3）中的Package Device上进行测试.下图就是一个完整的FT的测试系统。对比wafer test，其中硬件部分，prober换成了handler，其作用是一样的，handler的主要作用是机械手臂，抓取DUT，放在测试区域，由tester对其进行测试，然后handler再根据tester的测试结果，抓取DUT放到相应的区域，比如好品区，比如坏品1类区，坏品2类区等。

本发明的目的在于提供一种芯片测试机及芯片测试方法，本发明的芯片测试机的结构紧凑、体积较小，占地面积只一平米左右，可以满足小批量的芯片测试要求。其技术方案如下：本发明在一实施例中公开了一种芯片测试机。该芯片测试机包括机架，以及设置于机架上的移载装置、测试装置、自动上料装置、自动下料装置及不良品放置台，所述自动上料装置包括头一料仓及自动上料机构，所述自动上料机构在所述头一料仓内上下移动；所述自动下料机构包括第二料仓及自动下料机构，所述自动下料机构在所述第二料仓内上下移动，所述移载装置位于所述自动上料装置、自动下料装置、测试装置及不良品放置台的上方，所述移载装置将自动上料装置的待测试芯片移动至测试装置，并将测试完成的芯片移动至自动下料装置或不良品放置台，所述移载装置还将自动上料装置的空tray盘移动至自动下料装置。芯片测试机还可以进行闩锁扫描测试和边缘扫描测试。

以下以一个具体的例子对中转装置60的功能进行进一步说明。例如一个tray盘中较多可以放置50个芯片，自动上料装置40的每一个tray盘中都装有50个芯片。移载装置20吸取自动上料装置40的tray盘中的芯片到测试装置30进行测试，测试合格的芯片移载至自动下料装置50的空的tray盘中。当出现一个不良品时，该不良品则被移动至不良品放置台60，当自动上料装置40的一个tray盘中的芯片全部完成测试后，自动下料装置50的tray盘中只装了49个测试合格的芯片。此时，移载装置20则把自动上料装置40的空的tray盘移载至tray盘中转台63上，然后移载装置20从下方的另一个tray盘中吸取芯片进行测试，直至把自动下料装置50的tray盘中装满50个芯片，然后把tray盘中转台63上的空的tray盘移载至自动下料装置50。芯片测试机能够检测到芯片的缺陷并提供反馈。江苏全自动芯片测试机厂商

芯片测试机提供的测试数据可以用于制定改进方案。天津晶圆芯片测试机定制

下面对本发明的优点或原理进行说明：使用本发明的芯片测试机进行芯片测试时，首先在自动上料装置上放置多个tray盘，每一个tray盘上均放满或放置多个待测试芯片，同时在自动下料装置和不良品放置台上分别放置空的tray盘。测试机启动后，由移载装置从自动上料装置的tray盘中吸取待测试芯片移载至测试装置进行测试，芯片测试完成后，移载装置将测试合格的芯片移载至自动下料装置的空tray盘中，将不良品移载至不良品放置台的空tray盘中放置。当自动上料装置的一个tray盘中的芯片全部完成测试，且自动下料装置的空tray盘中全部装满测试后的芯片后，移载装置将自动上料装置的空tray盘移载至自动下料装置。本发明的芯片测试机的结构紧凑，体积较小，占地面积只为一平米左右，可满足小批量的芯片测试需求。天津晶圆芯片测试机定制

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