它是如何工作的？探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。机械手放置在平台的平面上，并在机械手中插入探针臂和先进。探头先进必须适合要执行的测试程序。然后，用户通过调整相应的操纵器将探针先进精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触；现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆，在测试一个器件后，可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。探针台具有规模化、系统性、战略性和国际性等特点，是人类探索宇宙的中心枢纽。深圳X8M探针台价位

探针台的基本组件，探针台由六个基本组件组成：Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头先进和臂 - 安装在机械手上，它们直接接触设备。光学 - 用于查看和放大被测设备和探头先进。它是如何工作的？探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。深圳X8M探针台价位探针台需要高度的保密性和安全措施。

XY 精密工作台结构设计，由于XY 工作台需要放置于真空腔体内，XY 工作台结构越紧凑，真空腔体就越小，设备尺寸也 就相应减小。结构紧凑合理的XY 工作台有利于 降低真空腔体加工难度、减少能源浪费。XY 工作台整体处于真空腔体中，要求零部件结构密致性好，零部件材料不能逸出空气，材料表 面不能有挥发性油脂。XY 工作台需要完全暴露在特 种环境中，所有零部件均需要通过耐腐蚀、耐低温 性等试验，对于电机、丝杠、导轨等外购件，如果没 有合适的型号满足上述要求，需要对相应外购件 加装特制密封装置，使外购件与腔体内环境有效 隔绝。

半自动型，chuck尺寸800mm/600mm；X,Y电动移动行程200mm/150mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm；可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜；针座摆放个数6~8颗；显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"；可搭配Probe card测试；适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品；电动型；chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不锈钢或镀金)；X,Y电动移动行程300mm x 300mm；chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜。探针台的数据对太空探索、战略部署、国家的安全等领域具有普遍的应用和重要的战略意义。

真空腔体密封技术，真空腔体密封技术是真空探针的关键部分， 真空腔体密封一旦在设计和加工过程中出现设计 缺陷、密封效果不好等问题，就会产生气体泄漏， 对操作人员造成人身伤害、甚至对大气环境造成 污染，这些问题在后期将无法弥补，在腔体装配前 要进行预装试验，防止类似事件发生。真空腔体采用圆形桶状，下端面与工作平台 紧密结合，上端面端盖可拆卸。选用不锈钢材料锻 造后一体加工。加工过程中合理进行材料热处理，减少加工变形。探针台的建设和发展需要长期的投入和坚定的信心。江苏X8M探针台参考价

探针台能够观测到宇宙的细微之处，为人类探索宇宙提供了重要的线索。深圳X8M探针台价位

低温探针台，体积小，稳定性高，与传统探针台相比，高低温真空探针台的稳定性更高，采用先进的技术工艺，让探针台在工作过程中流畅性更高，平稳性更高，从而保证每次实验数据的稳定性，这样实验得出的结果就会更加准确，对于企业快速研发新产品有很大帮助。成本更低，可兼容直流跟射频测试的运用，与传统探针台相比，这种探针台采用先进的合成材料，成本方面比传统探针台更低，但是功能性、精确性都更加强大，所以销量火爆是很正常的一件事。深圳X8M探针台价位

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