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上海硬质合金氧化铝陶瓷规格尺寸

来源: 发布时间:2024-04-22

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氧化铝陶瓷在微电子领域的应用日益广阔。其优异的绝缘性能和高温稳定性,使其成为制造集成电路、电容器、电阻器等微电子元件的理想材料。同时,氧化铝陶瓷的高导热性能有助于降低微电子设备的运行温度,提高设备的稳定性和可靠性。氧化铝陶瓷的性能可以通过添加其他元素或掺杂实现改进,如钇、锆等。氧化铝陶瓷具有较低的热导率和高的耐磨性,适用于高温、高压环境下的应用。氧化铝陶瓷的色泽白净,具有良好的光学性能,可用于制造光学器件和陶瓷工艺品。氧化铝陶瓷在化工领域中被用作反应容器和催化剂支撑体,具有良好的化学稳定性和耐腐蚀性。氧化铝陶瓷的表面光滑,易于清洁,是卫生洁具的优先选择材料。

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在半导体刻蚀设备中,随着大规模集成电路集成度的不断提高以及半导体特征尺寸不断缩少,等离子体刻蚀技术面临了许多新的挑战,例如等离子刻蚀晶圆带来的污染问题、刻蚀工艺的稳定性、刻蚀技术的应用范围等。刻蚀机腔室材料作为晶圆污染的主要来源,等离子刻蚀对其影响程度决定了晶圆的良率、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此,研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前,主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外,等离子体设备的气体喷嘴,气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。上海硬质合金氧化铝陶瓷规格尺寸

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