在半导体刻蚀设备中，随着大规模集成电路集成度的不断提高以及半导体特征尺寸不断缩少，等离子体刻蚀技术面临了许多新的挑战，例如等离子刻蚀晶圆带来的污染问题、刻蚀工艺的稳定性、刻蚀技术的应用范围等?？淌椿皇也牧献魑г参廴镜闹饕丛矗壤胱涌淌炊云溆跋斐潭染龆司г驳牧悸?、质量、刻蚀工艺的稳定性等等。因此，研究和开发出一种极其耐刻蚀腔体材料成为半导体集成产业以及等离子刻蚀技术中一项极具挑战的任务。当前，主要采用高纯Al2O3涂层或Al2O3陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除了腔体以外，等离子体设备的气体喷嘴，气体分配盘和固定晶圆的固定环等也需用到氧化铝陶瓷。选择氧化铝陶瓷应该注意什么？常州卡奇告诉您。常州防腐氧化铝陶瓷表面处理

氧化铝陶瓷的主要特性及应用：1.由于她有耐高温、耐腐蚀、高度度等特性，所以很好的运用在了耐火材料、陶瓷、炼铁高炉的内衬;火花赛、耐高温抗氧化涂层。2.由于它有硬度大、耐磨性能好、抗压强度高的特性，在化工系统中也被普遍的应用。3.氧化铝属于离子型，结构稳定。因此在电子行业中也被普遍用。4.氧化铝陶瓷产品气密性好，即使在耐高温下也严密不透气，因此被普遍运用到电真空中。5.氧化铝陶瓷保温材料也被普遍运用于各类耐高温炉窑的炉墙及炉顶，既耐高温又保温。苏州不沾涂层氧化铝陶瓷处理方法氧化铝陶瓷的制作方法难吗？常州卡奇告诉您。

氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650—1990℃，透射波长为1～6μm，一般制成熔融玻璃以取代铂坩埚。利用其透光性及可耐碱金属腐蚀性用作钠灯管;在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种，有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。氧化铝陶瓷管其中99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管材料，如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等;95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀部件。85瓷中由于常掺入部分滑石，提高了电性能与机械强度，可与钼、铌、钽等金属封接，有的用作电真空装置器件。氧化铝陶瓷制品成型方法有干压、注浆、挤压、冷等静压、注射、流延、热压与热等静压成型等多种方法。

    氧化铝材料的性能与特点：1.硬度大经中科院上海硅酸盐研究所测定，其洛氏硬度为HRA80-90，硬度只次于金刚石，远远超过耐磨钢和不锈钢的耐磨性能。2.耐磨性能极好经中南大学粉末冶金研究所测定，其耐磨性相当于锰钢的266倍，高铬铸铁的。根据我们十几年来的客户跟踪调查，在同等工况下，可至少延长设备使用寿命十倍以上。3.重量轻其密度为，只为钢铁的一半，可很大减轻设备负荷。氧化铝陶瓷作为先进陶瓷中应用广的一种材料，伴随着整个行业的发展呈现以下发展趋势:(1)技术装备水平将快速提高:计算机技术和数字化控制技术的发展促进了先进陶瓷材料工业的技术进步和快速发展，诸如自动控制连续烧结窑炉、大功率大容量研磨设备、高性能制粉造粒设备等净压成型设备等先进的成套设备有利地推动了行业整体水平的提高，同时在生产效率、产品质量等方面也都明显改善;(2)产品质量水平不断提高:国内微晶氧化铝陶瓷制品从无到有，产业规模从小到大，产品质量从低到较高，经历了一个快速发展的历程;(3)产业规模将迅速扩大:微晶氧化铝陶瓷制品作为其它行业或领域的基础材料，受着其它行业发展水平的影响和限制。从氧化铝陶瓷的应用情况看，应用范围越来越宽，用量越来越大。 氧化铝陶瓷的应用范围十分广阔?；队吹缱裳Ｖ菘ㄆ?！

氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料，是一种用途普遍的陶瓷，具有较好的绝缘性、机械强度和耐高温性。氧化铝陶瓷分为高纯型与普通型两种：高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650-1990℃，透射波长为1~6μm，一般制成熔融玻璃以取代铂坩埚;利用其透光性及可耐碱金属腐蚀性用作钠灯管;在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种，有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。其中99氧化铝瓷材料用于制作高温坩埚、耐火炉管及特殊耐磨材料，如陶瓷轴承、陶瓷密封件及水阀片等;95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件。氧化铝陶瓷的生产厂家。欢迎来电咨询常州卡奇！苏州表面氧化铝陶瓷

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氧化铝陶瓷制品成型方法有干压、注浆、挤压、冷等静压、注射、流延、热压与热等静压成型等多种方法。近几年来国内外又开发出压滤成型、直接凝固注模成型、凝胶注成型、离心注浆成型与固体自由成型等成型技术方法。将颗粒状陶瓷坯体致密化并形成固体材料的技术方法叫烧结。烧结即将坯体内颗粒间空洞排除，将少量气体及杂质有机物排除，使颗粒之间相互生长结合，形成新的物质的方法。烧成使用的加热装置普遍使用电炉。除常压烧结外，还有热压烧结及热等静压烧结、微波烧结法、电弧等离子烧结法、自蔓延烧结技术等。常州防腐氧化铝陶瓷表面处理