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苏州泛半导体电镀铜金属化设备

来源: 发布时间:2024-04-22

电镀铜导电性与发电效率双重提升金属栅线电极与透明导电膜之间形成一个非整流的接触——欧姆接触,欧姆接触效果决定电池导电性与发电效率能否达到适合。影响欧姆接触效果的因素有接触面紧密结合度、栅线材料电阻率,电阻率越大,电池片对电子或载流子的负荷越高,电子或载流子的通过率越差。铜栅线导电性强于银浆。铜的导电性与银相近,但银浆属于混合物胶体,铜栅线是纯铜,因此铜栅线的电阻率更低,铜栅线电阻率是1.7Ω/m,银浆的电阻率大约为5-10Ω/m。图形化与电镀铜替代银浆丝网印刷。苏州泛半导体电镀铜金属化设备

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光伏电镀铜工序包括种子层制备、图形化、电镀三大环节,涌现多种设备方案。电镀铜 工艺尚未定型,各环节技术方案包括(1)种子层:设备主要采用 PVD,主要技术分歧 在于是否制备种子层、制备整面/局部种子层和种子层金属选用;(2)图形化:感光材料 分为干膜和油墨,主要技术分歧在于曝光显影环节选用掩膜类光刻/LDI 激光直写/激光 开槽;(3)电镀:主要技术分歧在于水平镀/垂直镀/光诱导电镀。釜川(无锡)智能科技有限公司,以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品,打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队,凭借技术竞争力,在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势;以高效加工制造、快速终端交付的能力,为客户提供整线工艺设备的交付服务。安徽釜川电镀铜设备费用光伏电镀铜设计的导电方式主要有弹片式导电舟方式、水平滚轮导电、模具挂架式、弹片重力夹具等方式。

光伏电镀铜装备插片式电镀:将待镀电池设置在阴极导电支架上,向下插入使一个导电支撑单元位于相邻两个阳极板组件之间以实现电镀。根据相关描述,该设备可实现双面电镀,单线可做到14000整片/小时,破片率<0.02%,提高了装置产能和电镀质量,降低了不良率,结构合理、占地面积小。此外,根据相关技术通过将电池片设置在导电支撑单元上,移动阴极导电花篮使导电支撑单元在多个阳极单元的阳极板组件间移动以实现电镀;该电镀装置产能可达24000整片/小时,电镀均匀性更好,提高了电镀质量,减少了碎片风险

光伏铜电镀技术采用金属铜完全代替银浆作为栅线电极,实现整片电池的工艺转换,打破瓶颈,创新行业发展。光伏电镀铜设计的导电方式主要有弹片式导电舟方式、水平滚轮导电、模具挂架式、弹片重力夹具等方式。合理的导电方式对光伏电镀铜设备非常重要是实现可量产的关键因素之一。优良的导电方式可以实现设备的便捷维修和改善电镀铜片与片之间的电镀铜厚极差,甚至可以实现单片硅上分布电流的可监控性。太阳能电池电镀铜技术。这项技术不仅可提升太阳能电池板效能,而且可大规模降低成本。以开掘市场潜力,全新的电镀工艺旨在进一步针对低成本电池的需求。电镀铜工艺简单,易于操作和维护,可以在短时间内完成高质量的表面处理。

铜电镀工艺流程:种子层沉积—图形化—电镀—后处理,光伏电镀铜工艺流程主要包括种子层沉积、图形化、电镀及后处理四大环节,目前各环节技术路线不一,多种组合工艺方案并行,需要综合性能、成本来选择合适的工艺路线。(1)种子层沉积:异质结电池表面沉积有透明导电薄膜(TCO)作为导电层、减反射层,由于铜在TCO层上的附着性较差,两者间为物理接触,附着力主要为范德华力,电极容易脱落,一般需要在电镀前在TCO层上先行使用PVD设备沉积种子层(100nm),改善电极接触与附着性问题。(2)图形化:由于在TCO上镀铜是非选择性的,需要形成图形化的掩膜以显现待镀铜区域的线路图形,划分导电与非导电部分。图形化过程中,将感光胶层覆盖于HJT电池表面,通过选择性光照,使得不需要镀铜的位置感光材料发生改性反应,而需要镀铜的位置感光材料不变;在显影步骤时,待镀铜区域内未发生改性反应的感光材料会被去除,形成图形化的掩膜,后续电镀时铜将沉积于该线路图形区域内露出的种子层上并发生导电,而其他位置不会发生铜沉积,实现选择性电镀。电镀铜工艺图形化:光刻路线和激光路线并行。合肥电镀铜产线

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在进行电镀铜的过程中,需要注意一些事项。首先,要选择合适的电解液和电流密度,以确保铜能够均匀、致密地沉积在目标表面上。其次,要保持电解槽的温度和PH值在适宜的范围内,以提高电镀效果。此外,还要注意控制电镀时间和表面清洁度,以获得理想的电镀效果。电镀铜在制备过程中会产生一定的废水和废气,对环境造成一定的影响。因此,在电镀铜过程中,需要采取一些环保措施,如合理处理废水和废气,减少对环境的污染。同时,也需要合理使用电解液和控制电镀过程中的能源消耗,以提高电镀铜的环保性。苏州泛半导体电镀铜金属化设备

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