激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。影响激光干涉仪测量精度的因素包括：测量读数软件系统带来的误差。高精度激光干涉仪设备厂家

激光干涉仪引力波探测器要求激光束的横向剖面具有纯净的TEM00模式,即应该是基模厄米-高斯模式。因为高阶模式与干涉仪的不对称性相耦合,会使输出信号的对比度变差,而且高阶模式会使法布里-珀罗腔镜子表面光强分布改变,产生附加的热噪声。高阶模式的振幅是不稳定的,它会使镜子不同部位受到的辐射压力发生变化,产生附加的辐射压力噪声,严重时会使镜子抖动引起干涉仪锁定状态的不稳定。通过清模器可以清理高阶横向模式,清模器的主体部分是一个具有较高透射率的行波谐振腔,常采用由三面光学镜组成的锐三角形结构,其优点是清模效果好,光束抖动噪声小,能选择偏振形式,具有高的频率稳定性,没有光从清模器返回激光器。合理设计三面镜子的反射和透射系数并适当调节锐角上的镜子,使载频激光和两个旁频都能共振通过。广东精密仪器校准激光干涉仪维护激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快。

当高压连接在阳极和阴极之间时，混合气体被激发，形成激光光束，通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中，为实现平衡状态，通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内，此时稳定输出后，激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(HeNe)激光管，这些激光管具有633纳米的波长输出。从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。

激光干涉仪是激光在计量领域中比较成功的应用之一。利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，已经在各个不同领域得到普遍的应用。现代激光干涉技术是在人类关于光学的几乎全部知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比，具有一些独特的性质：单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量，普遍应用于各领域，已经成为人类认知世界的重要工具。由于激光具有极好的时间相干性，自问世以来，已研制出多种激光干涉仪：单频激光干涉仪、激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗（f-p）干涉仪、x射线干涉仪等。激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。

影响激光干涉仪测量精度的因素包括：①激光器频率(波长)及频率稳定性;②测量读数软件系统带来的误差;③反射镜、角锥棱角误差;④温湿度、压力传感器误差;当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。激光干涉仪的使用注意事项：激光干涉仪必须定人保管，机加技术组人员专人使用，专人送检，他人不得随意动用，以防损坏，降低精度。激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。影响激光干涉仪测量精度的因素包括：温湿度、压力传感器误差。东莞英国雷尼绍XL-80激光干涉仪供应厂家

激光干涉仪使用注意事项：尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等。高精度激光干涉仪设备厂家

随着高精度数控机床行业的快速发展，激光干涉仪在机床行业的使用越来越普遍，然而其在使用过程中对激光光路的准直调整却一直是困扰广大激光干涉仪用户的一大问题，因为激光干涉仪在使用过程中光路准直调整占用了很大一部分时间。目前大多数生产企业的激光干涉仪操作人员的校准方法都是凭经验，来回反复调整，也有人提出“高处动尾部，低处动整体”的方法。其实后一种方法只是对前者的一种方法的经验总结，后一种方法是从整体上把握了调整的方向，可以让操作人员少走弯路，但并未提出一种定量的调整方法，所以在光路大体调整好后，还是靠经验感觉反复进行进一步精调，所以光路准直工作的效率还是亟待提高。高精度激光干涉仪设备厂家