而CMP工艺离不开研磨料的发展，那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面，将抛光垫放置在研磨盘上，抛光时，旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上，由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动，然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下，均匀分布其上，在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光机电具有一支经验丰富、技术力量过硬的专业技术人才管理团队。江苏CPS高精度纳米粒度分析仪哪家好

被测物料不溶于水，就用自来水作为试剂，以节约成本；被测物料在水中悬浮，可用乙醇将粉末湿润后放入样品槽；超声分散的时间为15-60秒，测试结果一直稳定，不可再变化，说明样粉已被充分分散。有些试样由于强度低，超声分散太长，有可能产生粉碎，使测试结果越来越细。有些试样不易分散，也可加长分散时间。激光粒度仪的相关知识点就先说到这里了，这款产品还有很多的常识等着各位来发现与了解，如果您还想要了解更多内容，还请先关注好我们，华致林小编会不定期在此跟大家分享更多的信息。湖北高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪驰光机电科技不断提高产品的质量。

CPS纳米粒度分析仪样本分散系统：自动液体循环、干粉分散器、粉料送样器、温度控制器、气溶胶控制器。粒度仪的较佳选择：EyeTech可以提供颗粒系统粒径、形状和浓度等方面的总体信息。具有多样化的功能，可以：监测动力学过程；提供标准的体积和数量分布的结果。激光和图像通道的结合：对球形、非球形及细长颗粒的精确定性分析；可同时测量粒径、粒形和浓度；多种模块配置可满足不同类型的干法及湿法检测需求；测量过程中可实时观察样品颗粒。

磨料的粒度测量：以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用，CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米，典型的过大聚集体为1-10微米，并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸，同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒，提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%，粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光机电科技一切从实际出发、注重实质内容。

系统配有冲洗系统，减少了由于系统污染引起的计划外停机维护时间。样品预处理系统：正确设计和操作样品调节系统是分析仪成功运行的关键。该系统基于现场经验针对这种复杂的工艺样品，专门为低维护操作而设计。低维护的固体颗粒分离器。不带过滤元件可将颗粒去除达到2-3微米，减少了维护量。先进的安全系统，保护分析仪免受高压影响和防止产品泄漏。简单校准。标准的引入是一种手工操作，只需使用注射器即可，不需要定期重新校准，无样本回收系统。不断开发新的产品，并建立了完善的服务体系。安徽CPS高精度纳米粒度分析仪报价

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CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展，电子器件尺寸缩小，要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分，其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm，其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸，因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用！欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题！江苏CPS高精度纳米粒度分析仪哪家好

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