我司自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档,满足严苛温度需求。该系统洁净度表现优异,可达百级、十级、一级。关键区域静态温度稳定性 ±5mK,内部温度均匀性小于 16mK/m,为芯片研发等敏感项目营造理想温场,保障实验数据不受温度干扰。湿度方面,8 小时内稳定性可达 ±0.5%;压力稳定性为 +/-3Pa,设备还能连续稳定工作 144 小时,助力长时间实验与制造。在洁净度上,工作区洁净度优于 ISO class3,既确保实验结果准确可靠,又保障精密仪器正常工作与使用寿命,推动科研与生产进步。高精密环控设备可移动,容易维护和扩展。0.05℃环境机组
电子设备制造,如智能手机、平板电脑、高性能计算机等的生产过程,对生产环境的要求日益严苛。精密环控柜在其中发挥着至关重要的作用,确保产品质量和性能达到标准。以智能手机芯片的封装环节为例,芯片封装需要将微小的芯片与基板精确连接,并封装在保护外壳内。这一过程中,温度的精确控制对芯片与基板之间的焊接质量至关重要。温度过高或过低都可能导致焊接点虚焊、短路等问题,影响芯片的电气性能和可靠性。精密环控柜能够将温度波动控制在极小范围内,保证焊接过程的稳定性,提高芯片封装的良品率。这时候就不得不在生产过程中配置环境控制设备,控制温度波动。真空镀膜机环境洁净棚为满足多样化需求,箱体采用高质量钣金材质,可按需定制外观颜色。
在半导体芯片制造这一复杂且精细的领域,从芯片光刻、蚀刻到沉积、封装等每一步,都对环境条件有着近乎严苛的要求,而精密环控柜凭借其性能成为保障生产的关键要素。芯片光刻环节,光刻机对环境稳定性要求极高。哪怕 0.002℃的温度波动,都可能使光刻机内部的精密光学元件因热胀冷缩产生细微形变,导致光路偏差,使光刻图案精度受损。精密环控柜凭借超高精度温度控制,将温度波动控制在极小范围,确保光刻机高精度运行,让芯片光刻图案正常呈现。
我司凭借深厚的技术积累,自主研发出高精密控温技术,精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK(静态)的温度稳定性,以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格,为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目,打造了近乎完美的温场环境,保障实验数据不受温度干扰。同时,设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,压力稳定性可达+/-3Pa,长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面,实现百级以上洁净度控制,工作区洁净度优于 ISO class3,确保实验结果的准确性与可靠性,也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。精密环控柜为我司自主研发的精密环境控制产品。
自动安全保护系统是精密环控柜的重要保障,为设备的稳定运行和用户的使用安全提供防护。故障自动保护程序时刻监控设备的运行状态,一旦检测到异常情况,如温度过高、压力过大、电气故障等,系统会立即启动相应的保护措施,停止设备的危险运行,避免设备损坏或引发安全事故,实现全天候无忧运行。同时,故障实时声光报警提醒,能及时引起用户的注意。用户可以根据报警信息迅速判断故障类型和位置,及时采取应对措施。此外,远程协助故障处理功能,使用户能够通过网络与专业技术人员取得联系,技术人员可以远程查看设备的运行数据和故障信息,指导用户进行故障排查和修复,缩短了故障处理时间,提高了设备的可用性。高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。江苏光刻机环境
制冷单元内部采用高效隔音材质,进一步降低设备噪音,噪音<45dB。0.05℃环境机组
在航天器电子元器件的制造和装配过程中,精密环控柜的作用同样关键。电子元器件对静电、洁净度以及温湿度都十分敏感。静电可能会击穿电子元件,导致其损坏;而不合适的温湿度条件会影响电子元件的性能和可靠性。精密环控柜通过配备高效的静电消除装置以及精确的温湿度控制系统,为电子元器件的生产提供了一个稳定、洁净且无静电干扰的环境。这不仅保证了电子元器件在制造过程中的质量,也提高了其在航天器复杂空间环境下的稳定性和可靠性,为我国航空航天事业的蓬勃发展奠定了坚实基础。0.05℃环境机组