在实际应用中,这款设备已成为半导体产业链的 “故障诊断利器”。在晶圆制造环节,它能通过热分布成像识别光刻缺陷导致的局部漏电;在芯片封装阶段,可定位引线键合不良引发的接触电阻过热;针对 IGBT 等功率器件,能捕捉高频开关下的瞬态热行为,提前预警潜在失效风险。某半导体企业在检测一批失效芯片时,传统热成像设备能看到模糊的发热区域,而使用致晟光电的一体化设备后,通过锁相技术发现发热区域内存在一个 2μm 的微小热点,终定位为芯片内部的金属离子迁移缺陷 —— 这类缺陷若未及时发现,可能导致产品在长期使用中突然失效。电激励与锁相热成像系统,推动无损检测发展。直销锁相红外热成像系统联系人
锁相频率越高,得到的空间分辨率则越高。然而,对于锁相红外热成像系统来说,较高的频率往往会降低待检测的热发射。这是许多 LIT系统的限制。RTTLIT系统通过提供一个独特的系统架构克服了这一限制,在该架构中,可以在"无限"的时间内累积更高频率的 LIT 数据。数据采集持续延长,数据分辨率提高。系统采集数据的时间越长,灵敏度越高。当试图以极低的功率级采集数据或必须从弱故障模式中采集数据时,锁相红外热成像RTTLIT系统的这一特点尤其有价值。直销锁相红外热成像系统P10锁相热成像系统让电激励检测效率大幅提升。
锁相热成像系统与电激励结合,为电子产业的芯片失效分析提供了一种全新的方法,帮助企业快速定位失效原因,改进生产工艺。芯片失效的原因复杂多样,可能是设计缺陷、材料问题、制造过程中的污染,也可能是使用过程中的静电损伤、热疲劳等。传统的失效分析方法如切片分析、探针测试等,不仅操作复杂、耗时较长,而且可能会破坏失效芯片的原始状态,难以准确找到失效根源。通过对失效芯片施加特定的电激励,模拟其失效前的工作状态,锁相热成像系统能够记录芯片表面的温度变化过程,并将其与正常芯片的温度数据进行对比分析,从而找出失效位置和失效原因。例如,当芯片因静电损伤而失效时,系统会检测到芯片的输入端存在异常的高温区域;当芯片因热疲劳失效时,会在芯片的焊接点处发现温度分布不均的现象。基于这些分析结果,企业可以有针对性地改进生产工艺,减少类似失效问题的发生。
在半导体行业飞速发展的现在,芯片集成度不断提升,器件结构日益复杂,失效分析的难度也随之大幅增加。传统检测设备往往难以兼顾微观观测与微弱信号捕捉,导致许多隐性缺陷成为 “漏网之鱼”。苏州致晟光电科技有限公司凭借自主研发实力,将热红外显微镜与锁相红外热成像系统创造性地集成一体,推出 Thermal EMMI P 热红外显微镜系列检测设备(搭载自主研发的 RTTLIT (实时瞬态锁相红外系统),为半导体的失效分析提供了全新的技术范式。
电激励的脉冲宽度与锁相热成像系统采样频率需匹配,通过参数优化可大幅提高检测信号的信噪比和清晰度。
电激励的锁相热成像系统在电子产业的柔性电子检测中展现出广阔的应用前景,为柔性电子技术的发展提供了关键的质量控制手段。柔性电子具有可弯曲、重量轻、便携性好等优点,广泛应用于柔性显示屏、柔性传感器、可穿戴设备等领域。然而,柔性电子材料通常较薄且易变形,传统的机械检测或接触式检测方法容易对其造成损伤。电激励方式在柔性电子检测中具有独特优势,可采用低电流的周期性激励,避免对柔性材料造成破坏。锁相热成像系统能够通过检测柔性电子内部线路的温度变化,识别出线路断裂、层间剥离、电极脱落等缺陷。例如,在柔性显示屏的检测中,系统可以对显示屏施加低电流电激励,通过分析温度场分布,发现隐藏在柔性基底中的细微线路缺陷,确保显示屏的显示效果和使用寿命。这一技术的应用,有效保障了柔性电子产品的质量,推动了电子产业中柔性电子技术的快速发展。红外热成像模块功能是实时采集被测物体表面的红外辐射信号,转化为随时间变化的温度分布图像序列。Thermal EMMI锁相红外热成像系统用途
锁相热成像系统让电激励检测更具实用价值。直销锁相红外热成像系统联系人
在光伏行业,锁相热成像系统成为了太阳能电池板质量检测的得力助手。太阳能电池板的质量直接影响其发电效率和使用寿命,而电池片隐裂、焊接不良等问题是影响质量的常见隐患。锁相热成像系统通过对电池板施加特定的热激励,能够敏锐地捕捉到因这些缺陷产生的温度响应差异,尤其是通过分析温度响应的相位差异,能够定位到细微的缺陷。这一技术的应用,帮助制造商及时发现生产过程中的问题,有效提高了产品的合格率,为提升太阳能组件的发电效率提供了坚实保障,推动了光伏产业的健康发展。直销锁相红外热成像系统联系人