RTTLIT 系统采用了先进的锁相热成像(Lock-In Thermography)技术,这是一种通过调制电信号来大幅提升特征分辨率与检测灵敏度的创新方法。在传统的热成像检测中,由于背景噪声和热扩散等因素的影响,往往难以精确检测到微小的热异常。而锁相热成像技术通过对目标物体施加特定频率的电激励,使目标物体产生与激励频率相同的热响应,然后通过锁相放大器对热响应信号进行解调,只提取与激励频率相关的热信号,从而有效地抑制了背景噪声,极大地提高了检测的灵敏度和分辨率。 电激励模式多样,适配锁相热成像系统不同需求。制冷锁相红外热成像系统牌子
在实际应用中,这款设备已成为半导体产业链的 “故障诊断利器”。在晶圆制造环节,它能通过热分布成像识别光刻缺陷导致的局部漏电;在芯片封装阶段,可定位引线键合不良引发的接触电阻过热;针对 IGBT 等功率器件,能捕捉高频开关下的瞬态热行为,提前预警潜在失效风险。某半导体企业在检测一批失效芯片时,传统热成像设备能看到模糊的发热区域,而使用致晟光电的一体化设备后,通过锁相技术发现发热区域内存在一个 2μm 的微小热点,终定位为芯片内部的金属离子迁移缺陷 —— 这类缺陷若未及时发现,可能导致产品在长期使用中突然失效。检测用锁相红外热成像系统对比锁相热成像系统借电激励,捕捉细微温度变化辨故障。
从技术原理来看,该设备构建了一套完整的 “热信号捕捉 - 解析 - 成像” 体系。其搭载的高性能探测器(如 RTTLIT P20 采用的 100Hz 高频深制冷型红外探测器)能敏锐捕捉中波红外波段的热辐射,配合 InGaAs 微光显微镜模块,可同时实现热信号与光子发射的同步观测。在检测过程中,设备先通过热红外显微镜快速锁定可疑区域,再启动 RTTLIT 系统的锁相功能:施加周期性电信号激励后,缺陷会产生与激励频率同步的微弱热响应,锁相模块过滤掉环境噪声,将原本被掩盖的热信号放大并成像。这种 “先定位、再聚焦” 的模式,既保证了检测效率,又突破了传统设备对微弱信号的检测极限。
锁相热成像系统在发展过程中也面临着一些技术难点,其中如何优化热激励方式与信号处理算法是问题。热激励方式的合理性直接影响检测的灵敏度和准确性,不同的被测物体需要不同的激励参数;而信号处理算法则决定了能否从复杂的信号中有效提取出有用信息。为此,研究人员不断进行探索和创新,通过改进光源调制频率,使其更适应不同检测场景,开发多频融合算法,提高信号处理的效率和精度等方式,持续提升系统的检测速度与缺陷识别精度。未来,随着新型材料的研发和传感器技术的不断进步,锁相热成像系统的性能将进一步提升,其应用领域也将得到的拓展,为更多行业带来技术革新。
电激励模式灵活,适配锁相热成像系统多行业应用。
在电子领域,所有器件都会在不同程度上产生热量。器件散发一定热量属于正常现象,但某些类型的缺陷会增加功耗,进而导致发热量上升。在失效分析中,这种额外的热量能够为定位缺陷本身提供有用线索。热红外显微镜可以借助内置摄像系统来测量可见光或近红外光的实用技术。该相机对波长在3至10微米范围内的光子十分敏感,而这些波长与热量相对应,因此相机获取的图像可转化为被测器件的热分布图。通常,会先对断电状态下的样品器件进行热成像,以此建立基准线;随后通电再次成像。得到的图像直观呈现了器件的功耗情况,可用于隔离失效问题。许多不同的缺陷在通电时会因消耗额外电流而产生过多热量。例如短路、性能不良的晶体管、损坏的静电放电保护二极管等,通过热红外显微镜观察时会显现出来,从而使我们能够精细定位存在缺陷的损坏部位。高灵敏度锁相热成像技术能够检测到极微小的热信号,可检测低至uA级漏电流或微短路缺陷。高分辨率锁相红外热成像系统成像仪
电激励与锁相热成像系统,推动无损检测发展。制冷锁相红外热成像系统牌子
通过大量海量热图像数据,催生出更智能的数据分析手段。借助深度学习算法,构建热图像识别模型,可快速准确地从复杂热分布中识别出特定热异常模式。如在集成电路失效分析中,模型能自动比对正常与异常芯片的热图像,定位短路、断路等故障点,有效缩短分析时间。在数据处理软件中集成热传导数值模拟功能,结合实验测得的热数据,反演材料内部热导率、比热容等参数,从热传导理论层面深入解析热现象,为材料热性能研究与器件热设计提供量化指导。制冷锁相红外热成像系统牌子