对半导体研发工程师而言,排查的过程层层受阻。在逐一排除外围电路异常、生产工艺制程损伤等潜在因素后,若仍未找到症结,往往需要芯片原厂介入,通过剖片分析深入探究内核。
然而,受限于专业分析设备的缺乏,再加上芯片内部设计涉及机密,工程师难以深入了解其底层构造,这就导致他们在面对原厂出具的分析报告时,常常陷入 “被动接受” 的局面 —— 既无法完全验证报告的细节,也难以基于自身判断提出更具针对性的疑问或补充分析方向。 我司自研含微光显微镜等设备,获多所高校、科研院所及企业认可使用,性能佳,广受赞誉。国产微光显微镜哪家好
EMMI 微光显微镜作为集成电路失效分析的重要设备,其漏电定位功能对于失效分析工程师而言是不可或缺的工具。在集成电路领域,对芯片的可靠性有着极高的要求。在芯片运行过程中,微小漏电现象较为常见,且在特定条件下,这些微弱的漏电可能会被放大,导致芯片乃至整个控制系统的失效。因此,芯片微漏电现象在集成电路失效分析中占据着至关重要的地位。此外,考虑到大多数集成电路的工作电压范围在3.3V至20V之间,工作电流即便是微安或毫安级别的漏电流也足以表明芯片已经出现失效。因此,准确判断漏流位置对于确定芯片失效的根本原因至关重要。 低温热微光显微镜原理静电放电破坏半导体器件时,微光显微镜侦测其光子可定位故障点,助分析原因程度。
这一技术不仅有助于快速定位漏电根源(如特定晶体管的栅氧击穿、PN结边缘缺陷等),更能在芯片量产阶段实现潜在漏电问题的早期筛查,为采取针对性修复措施(如优化工艺参数、改进封装设计)提供依据,从而提升芯片的长期可靠性。例如,某批次即将交付的电源管理芯片在出厂前的EMMI抽检中,发现部分芯片的边角区域存在持续稳定的微弱光信号。结合芯片的版图设计与工艺参数分析,确认该区域的NMOS晶体管因栅氧层局部厚度不足导致漏电。技术团队据此对这批次芯片进行筛选,剔除了存在漏电隐患的产品,有效避免了缺陷芯片流入市场后可能引发的设备功耗异常、发热甚至烧毁等风险。
致晟光电 RTTLIT E20 微光显微分析系统(EMMI)是一款专为半导体器件漏电缺陷检测量身打造的高精度检测设备。该系统搭载先进的 - 80℃制冷型 InGaAs 探测器与高分辨率显微物镜,凭借超高检测灵敏度,可捕捉器件在微弱漏电流信号下产生的极微弱微光。通过超高灵敏度成像技术,设备能快速定位漏电缺陷并开展深度分析,为工程师优化生产工艺、提升产品可靠性提供关键支持,进而为半导体器件的质量控制与失效分析环节提供安全可靠的解决方案。微光显微镜分析 3D 封装器件光子,结合光学原理和算法可预估失效点深度,为失效分析和修复提供参考。
考虑到部分客户的特殊应用场景,我们还提供Thermal&EMMI的个性化定制服务。无论是设备的功能模块调整、性能参数优化,还是外观结构适配,我们都能根据您的具体需求进行专属设计与研发。凭借高效的研发团队和成熟的生产体系,定制项目通常在 2-3 个月内即可完成交付,在保证定制灵活性的同时,充分兼顾了交付效率,让您的特殊需求得到及时且满意的答案。致晟光电始终致力于为客户提供更可靠、更贴心的服务,期待与您携手共进,共创佳绩。支持离线数据分析,可将检测图像导出后进行深入处理,不占用设备的实时检测时间。无损微光显微镜销售公司
支持自定义检测参数,测试人员可根据特殊样品特性调整设置,获得较为准确的检测结果。国产微光显微镜哪家好
定位短路故障点短路是造成芯片失效的关键诱因之一。
当芯片内部电路发生短路时,短路区域会形成异常电流通路,引发局部温度骤升,并伴随特定波长的光发射现象。EMMI(微光显微镜)凭借其超高灵敏度,能够捕捉这些由短路产生的微弱光信号,再通过对光信号的强度分布、空间位置等特征进行综合分析,可实现对短路故障点的精确定位。
以一款高性能微处理器芯片为例,其在测试中出现不明原因的功耗激增问题,技术人员初步判断为内部电路存在短路隐患。通过EMMI对芯片进行全域扫描检测,在极短时间内便在芯片的某一特定功能模块区域发现了光发射信号。结合该芯片的电路设计图纸和版图信息进行深入分析,终锁定故障点为两条相邻的铝金属布线之间因绝缘层破损而发生的短路。这一定位为后续的故障修复和工艺改进提供了直接依据。 国产微光显微镜哪家好