致晟光电推出的多功能显微系统,创新实现热红外与微光显微镜的集成设计,搭配灵活可选的制冷/非制冷模式,可根据您的实际需求定制专属配置方案。这套设备的优势在于一体化集成能力:只需一套系统,即可同时搭载可见光显微镜、热红外显微镜及InGaAs微光显微镜三大功能模块。这种设计省去了多设备切换的繁琐,更通过硬件协同优化提升了整体性能,让您在同一平台上轻松完成多波段观测任务。相比单独购置多套设备,该集成系统能大幅降低采购与维护成本,在保证检测精度的同时,为实验室节省空间与预算,真正实现性能与性价比的双重提升。国产热红外显微镜凭借自主研发软件,具备时域重构等功能,提升检测效率。国产平替热红外显微镜
EMMI 技术基于半导体器件在工作时因电子 - 空穴复合产生的光子辐射现象,通过高灵敏度光学探测器捕捉微弱光子信号,能够以皮安级电流精度定位漏电、短路等微观缺陷。这种技术尤其适用于检测芯片内部的栅极氧化层缺陷、金属导线短路等肉眼难以察觉的故障,为工程师提供精确的失效位置与成因分析。
热红外显微镜(Thermal EMMI)则聚焦于器件发热与功能异常的关联,利用红外热成像技术实时呈现半导体器件的热分布。在高集成度芯片中,局部过热可能引发性能下降甚至损坏,热红外显微镜通过捕捉0.1℃级别的温度差异,可快速锁定因功率损耗、散热不良或设计缺陷导致的热失效隐患。两者结合,实现了从电学故障到热学异常的全维度失效诊断,极大提升了分析效率与准确性。 高分辨率热红外显微镜牌子量化 SiC、GaN 等宽禁带半导体的衬底热阻、结温分布,优化散热设计。
热红外显微镜与光学显微镜虽同属微观观测工具,但在原理、功能与应用场景上存在明显差异,尤其在失效分析等专业领域各有侧重。
从工作原理看,光学显微镜利用可见光(400-760nm 波长)的反射或透射成像,通过放大样品的物理形态(如结构、颜色、纹理)呈现细节,其主要是捕捉 “可见形态特征”;而热红外显微镜则聚焦 3-10μm 波长的红外热辐射,通过检测样品自身发射的热量差异生成热分布图,本质是捕捉 “不可见的热信号”。
在主要功能上,光学显微镜擅长观察样品的表面形貌、结构缺陷(如裂纹、变形),适合材料微观结构分析、生物样本观察等;热红外显微镜则专注于微观热行为解析,能识别因电路缺陷、材料热导差异等产生的温度异常,即使是纳米级的微小热点(如半导体芯片的漏电区域)也能精确捕捉,这是光学显微镜无法实现的。
从适用场景来看,光学显微镜是通用型观测工具,广泛应用于基础科研、教学等领域;而热红外显微镜更偏向专业细分场景,尤其在半导体失效分析中,可定位短路、虚焊等隐性缺陷引发的热异常,在新材料研发中能分析不同组分的热传导特性,为解决 “热相关问题” 提供关键依据。
热红外显微镜(Thermal EMMI)的突出优势二:
与传统接触式检测方法相比,热红外显微镜的非接触式检测优势更胜——无需与被测设备直接物理接触,从根本上规避了传统检测中因探针压力、静电放电等因素对设备造成的损伤风险,这对精密电子元件与高精度设备的检测尤为关键。在接触式检测场景中,探针接触产生的机械应力可能导致芯片焊点形变或线路微损伤,而静电放电(ESD)更可能直接击穿敏感半导体器件。
相比之下,热红外显微镜通过捕捉设备运行时的热辐射信号实现非侵入式检测,不仅能在设备正常工作状态下获取实时数据,更避免了因接触干扰导致的检测误差,大幅提升了检测过程的安全性与结果可靠性。这种非接触式技术突破,为电子设备的故障诊断与性能评估提供了更优解。 在高低温循环(-40℃~125℃)中监测车载功率模块、传感器的热疲劳退化。
热红外显微镜(Thermal EMMI) 图像分析是通过探测物体自身发出的红外辐射,将其转化为可视化图像,进而分析物体表面温度分布等信息的技术。其原理是温度高于零度的物体都会向外发射红外光,热红外显微镜通过吸收这些红外光,利用光电转换将其变为温度图像。物体内电荷扰动会产生远场辐射和近场辐射,近场辐射以倏逝波形式存在,强度随远离物体表面急剧衰退,通过扫描探针技术可散射近场倏逝波,从而获取物体近场信息,实现超分辨红外成像。在半导体制造中,通过逐点热扫描筛选热特性不一致的晶圆,提升良率。制造热红外显微镜内容
热红外显微镜对电子元件进行无损热检测,保障元件完整性 。国产平替热红外显微镜
热红外显微镜和红外显微镜并非同一事物,二者是包含与被包含的关系。红外显微镜是个广义概念,涵盖利用0.75-1000微米红外光进行分析的设备,依波长分近、中、远红外等,通过样品对红外光的吸收、反射等特性分析化学成分,比如识别材料中的官能团,应用于材料科学、生物学等领域。而热红外显微镜是其分支,专注7-14微米的热红外波段,无需外部光源,直接探测样品自身的热辐射,依据黑体辐射定律生成温度分布图像,主要用于研究温度分布与热特性,像定位电子芯片的热点、分析复合材料热传导均匀性等。前者侧重成分分析,后者聚焦热特性研究。国产平替热红外显微镜
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