热红外显微镜（Thermal EMMI) 作为一种能够捕捉微观尺度热辐射信号的精密仪器，其优势在于对材料、器件局部温度分布的高空间分辨率观测。

然而，在面对微弱热信号（如纳米尺度结构的热辐射、低功耗器件的散热特性等）时，传统热成像方法易受环境噪声、背景辐射的干扰，难以实现精细测量。锁相热成像技术的引入，为热红外显微镜突破这一局限提供了关键解决方案。通过锁相热成像技术的赋能，热红外显微镜从 “可见” 微观热分布升级为 “可测” 纳米级热特性，为微观尺度热科学研究与工业检测提供了不可或缺的工具。 半导体芯片内部缺陷定位是工艺优化与失效分析的关键技术基础。无损热红外显微镜分析

致晟光电推出的多功能显微系统，创新实现热红外与微光显微镜的集成设计，搭配灵活可选的制冷/非制冷模式，可根据您的实际需求定制专属配置方案。这套设备的优势在于一体化集成能力：只需一套系统，即可同时搭载可见光显微镜、热红外显微镜及InGaAs微光显微镜三大功能模块。这种设计省去了多设备切换的繁琐，更通过硬件协同优化提升了整体性能，让您在同一平台上轻松完成多波段观测任务。相比单独购置多套设备，该集成系统能大幅降低采购与维护成本，在保证检测精度的同时，为实验室节省空间与预算，真正实现性能与性价比的双重提升。直销热红外显微镜校准方法热红外显微镜能够探测到亚微米级别的热异常，检测精度极高 。

RTTLITP20 热红外显微镜凭借多元光学物镜配置，构建从宏观到纳米级的全尺度热分析能力，灵活适配多样检测需求。Micro广角镜头可快速覆盖大尺寸样品整体热分布，如整块电路板、大型模组的散热趋势，高效完成初步筛查；0.13~0.3x变焦镜头通过连续倍率调节，适配芯片封装体、传感器阵列等中等尺度器件热分析，兼顾整体热场与局部细节；0.65X～0.75X变焦镜头提升分辨率，解析芯片内部功能单元热交互，助力定位封装散热瓶颈；3x～4x变焦镜头深入微米级结构，呈现晶体管阵列、引线键合点等细微部位热分布；8X～13X变焦镜头聚焦纳米尺度，捕捉微小短路点、漏电流区域等纳米级热点的微弱热信号，满足先进制程半导体高精度分析需求。

多段变焦与固定倍率结合的设计，实现宏观到微观热分析平滑切换，无需频繁更换配件，大幅提升半导体失效分析、新材料热特性研究等领域的检测效率与精细度。

热红外显微镜是一种融合红外热成像与显微技术的精密检测工具，通过捕捉物体表面及内部的热辐射信号，实现微观尺度下的温度分布可视化分析。其**原理基于黑体辐射定律——任何温度高于***零度的物体都会发射红外电磁波，且温度与辐射强度呈正相关，而显微镜系统则赋予其微米级的空间分辨率，可精细定位电子器件、材料界面等微观结构中的异常热点。

在电子工业中，热红外显微镜常用于半导体芯片的失效定位 —— 例如透过封装材料检测内部金属层微短路、晶体管热斑；在功率器件领域，可分析 IGBT 模块的热阻分布、SiC 器件的高温可靠性；在 PCB 板级检测中，能识别高密度线路的功耗异常区，辅助散热设计优化。此外，材料科学领域也可用其研究纳米材料的热传导特性，生物医学中则可用于细胞层级的热响应分析。 评估 PCB 走线布局、过孔设计对热分布的影响，指导散热片、导热胶的选型与 placement。

热点区域对应高温部位，可能是发热源或故障点；等温线连接温度相同点，能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制，普遍存在热点分散、噪点多的问题，导致发热区域定位不准，图像对比度和清晰度下降，影响温度分布判断的准确性。

而我方设备优势是设备抗干扰能力强，可有效减少外界环境及内部器件噪声影响，保障图像稳定可靠；等温线明显，能清晰展现温度相同区域，便于快速掌握温度梯度与热传导情况，提升热特性分析精度；成像效果大幅提升，具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度，可清晰呈现细微细节，为分析提供高质量的图像支持。 热红外显微镜助力科研人员研究新型材料的热稳定性与热性能 。工业检测热红外显微镜仪器

热红外显微镜凭借高灵敏度探测器，实现芯片微米级红外热分布观察，锁定异常热点 。无损热红外显微镜分析

致晟光电热红外显微镜（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 实时瞬态锁相热分析系统，采用锁相热成像（Lock-inThermography）技术，通过调制电信号提升特征分辨率与灵敏度，并结合软件算法优化信噪比，实现显微成像下超高灵敏度的热信号测量。RTTLIT P20搭载100Hz高频深制冷型超高灵敏度显微热红外成像探测器，测温灵敏度达0.1mK，显微分辨率低至2μm，具备良好的检测灵敏度与测试效能。该系统重点应用于对测温精度和显微分辨率要求严苛的场景，包括半导体器件、晶圆、集成电路、IGBT、功率模块、第三代半导体、LED及microLED等的失效分析，是电子集成电路与半导体器件失效分析及缺陷定位领域的关键工具。无损热红外显微镜分析

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