气路系统：（1）气体管路系统应畅通、无泄漏现象。（2）要安装安全阀。安全阀应启闭灵敏、可靠。当排气压力超过额定值的10%～15%时，应能自动开启；下降到额定值的95%时，应能自动关闭。安全阀应严密，若有泄漏，应及时停车、卸压修复。安全阀应按说明书的规定定期进行检测。（3）装置压力表。一、二级气缸排气管路上均应设压力表；压力表应避免受高温和振动的影响；压力表应完好、灵敏、准确，一般选用精度为2.5级。压力表应半年校验一次，经校验合格的压力表应有铅封和校验合格证。压力表的量程应为额定工作压力的1.5～3倍，表盘直径不应小于100mm，刻度应清晰可见。如指针失灵、刻度不清、表盘玻璃破裂、泄压后指针不回零位、铅封损坏等，均应立即更换。（4）空气过滤器。空气过滤器应结构完整，并保证进入空气压缩机的空气清洁。每工作100小时，应检查清洗一次，晾干后再用。（5）吸气、排气管道的布置应尽量避免或减少对建筑物的影响。排气管道应有热补偿装置。（6）压缩空气管道应用法兰与设备和阀门连接，其他部位宜用焊接。接头部位应严密。严禁在管路系统有压力时拧紧连接件。（7）根据环境的不同要求，空气压缩机的吸气系统应采取相应的降低噪声的措施。集中供气系统可以进行安全性和稳定性评估、管路维护、气体检测等多方位保障措施，实现安全运行。江苏学校实验室集中供气工程

气路系统的布线1．气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4umBA级管道。2．4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3．5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。4．管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙。5．管道之间采用美国全自动定位轨道式氩弧焊机进行内外保护氩弧焊（TIG）方式连接，其优点是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不会再内表面产生氧化层或褶皱等焊接缺陷。6．管路上的三通全部采用焊接三通来实现连接，可更有效保证气体的传输质量。7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架为槽钢结构美观大方。与墙体和管道固定牢固。且为耐火材料（铝合金）制成。温州自动切换实验室集中供气工程实验室集中供气系统可以有效降低实验室的气体成本，减少气源设备数量，提高气体的利用率。

高纯气体管道工程的设计要符合的要求高纯氦气、高纯氧气、高纯氮气、高纯氢气、高纯氩气、乙炔、丙烷、空气、二氧化碳等各种气体，是检验检疫、生物制药、高等院校、化工食品企业、水质油料分析等分析实验室常用的分析用气体。不相容的气体不能在一个充装系统上充装。要设计两套单独的充装系统，将不相容的气体分开。高纯气体管道工程的设计要符合的要求：1.管道系统应尽量短;2.不应出现不易吹除的盲管、死角;3.管道系统应设必要的吹除口和测试取样口;4.按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管径不小于φ6×1mm。

半导体实验室气路设计理念是安全、合理、环保!那么主要做到的都是什么呢?安全理念，我们做到了对实验设备可能产生的有害废气、废水进行特殊设计、处理，保障实验人员的身体健康;在安全出口方面考虑到的都是根据具体情况设计的Z短的逃生路线，优化洗眼器及紧急冲淋装置的位置，增加了发生以外事故的逃生几率，减少了突发情况。合理的布局，对实验室家具、介质系统进行正确设计、合理选材、规范施工，根据人体工程学原理，生产出人性化的设备，符合绝大部分人的要求。同时在通风设施上的安装布局都是按照标准来执行的，保证了实验人员有一个良好的工作环境。半导体实验室气路系统的维护事项：1、对库存、备用或因任务不足需要封存一段时间的仪器设备要定期清洁、查点、进行防尘、防锈、防潮等方面的维护。2、各实验室必须建立严格的岗位责任制，系统根据所使用仪器设备的特点和要求，制定相应的维护保养措施，并认真落实，使仪器设备的维护保养做到经常化、制度化。    实验室集中供气通常采用管道输送技术，通过主干管、分支管、终端装置等组成，提供各种气体。

1、改建、扩建、拆除特种气体管道工程的施工应符合下列规定：1.1施工单位在开工前应编制施工方案;内容应包含重点部位、作业过程注意事项，危险作业过程的监控，应急预案，紧急联系电话和专门负责人，对潜在的危险应向施工人员进行详尽的技术交底。1.2生产区和施工区之间应采取临时隔离措施及设置危险警示标志，施工人员不得进入与施工无关的区域。1.3施工现场应有业主和施工方的技术人员在场。阀门的开关动作、电气开关动作、气体置换操作等都应由专人在业主技术人员的指导下完成，未经许可，不得操作;切割改造工作时应提前在被切割管道全线和切割处明显标识，标识管道现场需得到业主和施工方的技术人员确定。2、施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气置换出来，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。3、施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1Mpa(表压)的高纯氮气。实验室集中供气系统可以根据实验室用气需求进行定制，同时也可以随着实验室规模变化进行扩展。杭州学校实验室集中供气安装

实验室集中供气系统可以提供高压、纯度、稳定的气体，保障实验室科研和工艺生产的需求。江苏学校实验室集中供气工程

实验室供气系统按其供应方式可分为分散供气与集中供气。(1)分散供气是将气瓶或气体发生器分别放在各个仪器分析室，接近仪器用气时使用方便，节约用气，投资少但由于气瓶接近实验人员，安全性欠佳，二般要求采用防爆气瓶柜，并带报警功能与排风功能。报警器分为可燃性气体报警器及非可燃性气体报警器。气瓶柜应设有气瓶安全提示标志，气瓶安全固定装置。(2)集中供气是将各种实验分析仪器需要使用的各类气体钢瓶，全部放置在实验室以外单独的气瓶间内，进行集中管理，各类气体从气瓶间以管道输送形式，按照不同实验仪器的用气要求输送到每个实验室不同的实验仪器上。整套系统包括气源压力控制部分(汇流排)、输气管线部分(EP级不锈钢管)、二次调压分流部分(功能柱)以及与仪器连接的终端部分(接头、截止阀)。系统要求具有良好的气密性、高洁净度、耐用性和安全可靠性能满足实验仪器对各类气体不间断连续使用的要求，并且在使用过程中根据实验仪器工作条件对整体或局部气体压力、流量进行全量程调整以满足不同的实验条件的要求。集中供气可实现气源集中管理，远离实验室，保障实验人员的安全;但供气管道长，导致浪费气体，开启或关闭气源要到气瓶间，使用欠方便。江苏学校实验室集中供气工程

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