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    也更换了更整洁的内层体壁21，减小了对晶圆30的污染，提高产品质量。进一步的，所述工艺腔体10底部设有移动块，所述移动块带动各所述承载段11和各所述轨道段12环绕所述工艺腔体10旋转移动或沿所述工艺腔体10中心径向移动。可以了解，所述替换体壁段23可以追随所述轨道段12移动，所述内层体壁段22可以追随所述承载段11移动。在一个实施例中，所述轨道段12为**少一层设置，所述轨道段12的数目小于所述承载段11的数目，以预留所述承载段11的活动位置。更进一步的，所述替换体壁段23的数目为低于或相等所述内层体壁段22数目的一半，且所述替换体壁段23的数目相等所述轨道段12的数目，以预留出内层体壁段22移动到**的活动位置。在本实施例中，当需换出其中随意一段内层体壁段22时，则移动该内层体壁段22的承载段11，使之移动至轨道段12的位置，所述内层体壁段22则变成替换体壁段23，此时则空缺出一段内层体壁段22的位置，然后移动任意一段干净的替换体壁段23所在的轨道段12至空缺的内层体壁段22所在的承载段11处，所述替换体壁段23则变成内层体壁段22，以使替换之后的内层体壁段22围合能形成原有的内层体壁21，则完成一次内层体壁段22的替换。可以明白，在替换过程中。湖北什么是开体花兰公司开体花兰可用于索具与末端配件之间，只起连接作用。

    所述移动块带动各所述承载段和各所述轨道段环绕所述工艺腔体转动移动或沿所述工艺腔体中心径向移动。可选的，在所述工艺腔体中，所述移动块与任一所述承载段或任一所述轨道段为总体构造。可选的，在所述工艺腔体中，所述轨道段为**少一层设置，所述轨道段的数目小于所述承载段的数目，以预留所述承载段的活动位置。可选的，在所述工艺腔体中，所述替换体壁段的数目为低于或相等所述内层体壁段数目的一半，且所述替换体壁段的数目相等所述轨道段的数目。可选的，在所述工艺腔体中，所述工艺腔体还包括**少一个喷嘴，所述喷嘴设立于所述轨道段的上方。可选的，在所述工艺腔体中，所述喷嘴的数目相等所述替换体壁段的数目。可选的，在所述工艺腔体中，所述工艺腔体内还包括一吸盘以及**少三根支撑杆，三根所述支撑杆成三角设立于所述吸盘内，能在所述吸盘内升高降低。可选的，在所述工艺腔体中，所述工艺腔体还包括一排水管和一排气管，所述排水管设立于所述工艺腔体的底部。可选的，在所述工艺腔体中，在所述轨道段外还设立有一层包裹层。在本实用新型所提供的工艺腔体中，通过将所述内层体壁拆分为多个内层体壁段，并在内层体壁**设立替换体壁段。

    在半导体制造工艺中，有多种工艺腔体是运用旋转的方法展开工作，但是旋转就避免不住将剩余的化学物质甩到裹腔体的内壁上。现有技术中多数是对工艺腔体的体壁展开定期维护与保养，需将整个工艺腔体的体壁拿下去展开清洗，同时需相应的体壁备用更换，致使减低了生产效率。为了有效性的支配上述疑问，本实用新型提供了一种工艺腔体，能够自动更换及清洗腔体的体壁，且提高生产效率。如图1所示，图1为本实用新型实施例提供的工艺腔体侧面剖视图。本实用新型提供了一种工艺腔体10，包括：内层体壁21，由所述内层体壁21平分而成的内层体壁段22；由承载所述内层体壁21的承载物平分而成的承载段11，所述内层体壁段22的数目和所述承载段11的数目等于；在所述内层体壁21**设立的**少一个替换体壁段23，所述替换体壁段23与所述内层体壁段22的形状及尺寸相同；承载并移动所述替换体壁段23的轨道段12；所述承载段11和所述轨道段12形状和尺寸相同，所述承载段11和所述轨道段12能交换位置。本实用新型通过将所述内层体壁21拆分为多个内层体壁段22，并在内层体壁21**设立替换体壁段23，用以适时替换被水污染的内层体壁段22，从而可以分批次对内层体壁段22展开替换，既不影响生产。邯郸哪家开体花兰比较便宜。

    花篮螺丝编辑锁定花篮螺钉，又称为花兰螺丝、索具、紧线扣，用来捆紧固钢丝绳等。花篮螺钉用以拉紧钢丝绳，并起调节松紧功用。其中OO型用以不时常拆毁的场合，CC型用以不时拆除的场合，CO型用以一端时常拆毁另一端不时常拆毁的场合。中文名花篮螺丝别名花兰螺丝，索具，紧线扣型号OO型，CC型，CO型表面处理电镀，热镀材质Q235B，45号钢，40Cr，特点易加工、成本低、实用性强目录1花篮螺丝概述2规格信息花篮螺丝花篮螺丝概述编辑花篮螺丝花篮螺钉,又称为花兰螺丝、索具、紧线扣,用来捆紧固钢丝绳等.花篮螺钉用以拉紧钢丝绳,并起调节松紧功用.其中OO型用以不不时拆毁的场合,CC型用以不时拆除的场合,CO型用以一端时常拆毁另一端不时常拆除的场合.花篮螺钉根据工艺成型方法不同主要分成铸造玛钢、平常碳钢、锻制三种，现市场上主要为一般而言碳钢和锻制两种，平常碳钢花兰螺丝主要用以不更主要场合静止捆安定情景，如园林防风、农业大棚等。锻制花兰螺丝用以提升、货运捆绑加固。如物流中货物捆绑、吊索连接、钢结构索杆连接件等。表面处理：一般为电镀、热镀两种，主要起到以防锈蚀的效用。花篮螺丝规格信息编辑花篮螺栓运用丝杠展开伸缩，能调整钢丝绳的松紧。邯郸洺洲紧固件厂家开体花兰价格查询。特价开体花兰

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    也可以使所述喷嘴13的数目相等所述替换体壁段23的数目。一般而言的，所述工艺腔体10内还包括一被转动轴14承载的吸盘15以及**少三根支撑杆16，三根所述支撑杆16成三角设立于所述吸盘15内，能在所述吸盘15内升高下滑，其中所述转动轴14带动所述吸盘15旋转，所述吸盘15用以吸附晶圆30，三根所述支撑杆16用以便捷所述晶圆30的放置或取出。进一步的，所述工艺腔体10还包括一排水管17和一排气管18，用以排出所述工艺腔体10内的废气和废水等，所述排水管17推荐设立于所述工艺腔体10的底部，所述排气管18可以座落所述工艺腔体10的任意位置。所述轨道段12外还设立有一层包裹层19，所述包裹层19用以裹所述工艺腔体10内的所有构造。在一个实施例中，参考图2，图2为本实用新型另一实施例提供的工艺腔体俯视图。例如更换ab段的所述内层体壁段22的步骤如下：s1：将ab段外侧的替换体壁段23移动至第二轨道段42上；s2：ab段的所述内层体壁段22移动至***轨道段41上，接着转动至所述***轨道段41上的bc段或af段；s3：将所述第二轨道段42ab段上的替换体壁段23连续移动至内层体壁21处，则替换成功；s4：迅速将移动至***轨道段41上的bc段或af段的内层体壁段22。特价开体花兰

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