在半导体制造工艺中，有多种工艺腔体是运用旋转的方法展开工作，但是旋转就避免不住将剩余的化学物质甩到裹腔体的内壁上。现有技术中多数是对工艺腔体的体壁展开定期维护与保养，需将整个工艺腔体的体壁拿下去展开清洗，同时需相应的体壁备用更换，致使减低了生产效率。为了有效性的支配上述疑问，本实用新型提供了一种工艺腔体，能够自动更换及清洗腔体的体壁，且提高生产效率。如图1所示，图1为本实用新型实施例提供的工艺腔体侧面剖视图。本实用新型提供了一种工艺腔体10，包括：内层体壁21，由所述内层体壁21平分而成的内层体壁段22；由承载所述内层体壁21的承载物平分而成的承载段11，所述内层体壁段22的数目和所述承载段11的数目等于；在所述内层体壁21**设立的**少一个替换体壁段23，所述替换体壁段23与所述内层体壁段22的形状及尺寸相同；承载并移动所述替换体壁段23的轨道段12；所述承载段11和所述轨道段12形状和尺寸相同，所述承载段11和所述轨道段12能交换位置。本实用新型通过将所述内层体壁21拆分为多个内层体壁段22，并在内层体壁21**设立替换体壁段23，用以适时替换被水污染的内层体壁段22，从而可以分批次对内层体壁段22展开替换，既不影响生产。洺洲紧固件为你打造高质量弓形吊环螺母-品质铸就辉煌！吉林开体花兰螺丝供应

    滚珠丝杠的保护滚珠丝杠副可用润滑来提高耐磨性及传动效率。润滑剂分为润滑油及润滑脂两大类。润滑油用机油、90～180号透平油或140号主轴油。润滑脂可采用锂基油脂。润滑脂加在螺纹滚道和安装螺母的壳体空间内，而润滑油通过壳体上的油孔注入螺母空间内。滚珠丝杠副和其它滚动摩擦的传动元件，只要避免磨料微粒及化学活性物质进入，就可以认为这些元件几乎是不产生磨损的情况下工作的。但如果在滚道上落入脏物，或使用肮脏的润滑油，不仅会妨碍滚珠的正常运转，而且使磨损急剧增加。通常采用毛毡圈对螺母副进行密封，毛毡圈的厚度为螺距的2～3倍，而且内孔做成螺纹的形状，使之紧密地包住丝杠，并装入螺母或套筒两端的槽孔内。密封圈除了采用柔软的毛毡之外，还可以采用耐油橡胶或尼龙材料。由于密封圈和丝杠直接接触，因此防尘效果较好，但也增加了滚珠丝杠螺母副的摩擦阻力矩。为了避免这种摩擦阻力矩，可以采用由较硬塑料制成的非接触式迷宫密封圈，内孔做成与丝杠螺纹滚道相反的形状，并留有一定的间隙。对于暴露在外面的丝杠，一般采用螺旋刚带、伸缩套筒、锥形套筒以及折叠式塑料或人造革等形式的防护罩，以防止尘埃和磨粒粘附到丝杠表面。除与导轨的防护罩相似外。江苏m12开体花兰当开体花兰出现裂纹和变形时，严禁采用焊接和加热弯曲的方法修理开体花兰。

    由上述结构可知，在没有遇到障碍物的情况下，弹簧75将限位端面79顶至右限位板78，活动杆76伸出固定筒74更长，方便旋动花兰体29；当遇到障碍物时，可以将活动杆76往固定筒74内收缩，避开障碍物后，再弹出活动杆76，旋动花兰体29，可以适用各种环境下的旋动花兰体29。实施例三：见附图1～2。一种花兰体旋紧装置，用于旋紧花兰体29，所述花兰体29上端设有上螺纹孔，用于和上拉杆28的下螺纹柱31配合；所述花兰体29下端设有下螺纹孔，用于和下拉杆30的上螺纹柱32配合；所述花兰体29上端和下端通过左连接柱68和右连接柱69连接；所述左连接柱68和右连接柱69之间保持间隙；包括立柱71、伸缩手柄72和两个抓手73；所述伸缩手柄72固定在立柱71中部；所述立柱71两端固定有抓手73；所述抓手73用于接触左连接柱68和右连接柱69，使伸缩手柄72可推动花兰体29自转。由上述结构可知，所述伸缩手柄72固定在立柱71中部，在没有遇到障碍时，可以把伸缩手柄72调到更长位置，增大力臂，方便旋动花兰体29；遇到障碍时，缩短伸缩手柄72，躲避障碍物；由于建筑工地的复杂性，采用伸缩手柄72可调节长度，适应性更好。立柱71两端固定有抓手73，所述抓手73用于接触左连接柱68和右连接柱69。

    所述工艺腔体10还包括一排水管17和一排气管18，用以排出所述工艺腔体10内的废气和废水等，所述排水管17推荐设立于所述工艺腔体10的底部，所述排气管18可以座落所述工艺腔体10的任意位置。所述轨道段12外还设立有一层包裹层19，所述包裹层19用以裹所述工艺腔体10内的所有构造。在一个实施例中，参考图2，图2为本实用新型另一实施例提供的工艺腔体俯视图。例如更换ab段的所述内层体壁段22的步骤如下：s1：将ab段外侧的替换体壁段23移动至第二轨道段42上；s2：ab段的所述内层体壁段22移动至***轨道段41上，接着转动至所述***轨道段41上的bc段或af段；s3：将所述第二轨道段42ab段上的替换体壁段23连续移动至内层体壁21处，则替换成功；s4：迅速将移动至***轨道段41上的bc段或af段的内层体壁段22(现变成替换体壁段23)移动至喷嘴13下方开展清洗，即自动清洗成功。综上，在本实用新型所提供的工艺腔体中，通过将所述内层体壁拆分为多个内层体壁段，并在内层体壁**设立替换体壁段，用以即时替换被水污染的内层体壁段，从而可以分批次对内层体壁段开展替换，既不影响生产，也更换了更整洁的内层体壁，缩减了对晶圆的污染，提高产品质量。并且?？寤ɡ及沧昂煤?，应保证销轴能在被吊物孔中转动灵活。

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