能在所述吸盘内升高下滑。可选的，在所述工艺腔体中，所述工艺腔体还包括一排水管和一排气管，所述排水管设立于所述工艺腔体的底部。可选的，在所述工艺腔体中，在所述轨道段外还设立有一层包裹层。在本实用新型所提供的工艺腔体中，通过将所述内层体壁拆分为多个内层体壁段，并在内层体壁**设立替换体壁段，用以马上替换被水污染的内层体壁段，从而可以分批次对内层体壁段开展替换，既不影响生产，也更换了更洁净的内层体壁，减小了对晶圆的污染，提高产品质量。附图说明图1为本实用新型实施例提供的工艺腔体侧面剖视图。图2为本实用新型实施例提供的工艺腔体俯视图。附图标记说明：10-工艺腔体；11-承载段；12-轨道段；13-喷嘴；14-转动轴；15-吸盘；16-支撑杆；17-排水管；18-排气管；19-包裹层；21-内层体壁；22-内层体壁段；23-替换体壁段；30-晶圆；41-***轨道段；42-第二轨道段。具体实施方式下面将结合示意图对本实用新型的实际实施方法开展更详实的描述。根据下列描述，本实用新型中的优点和特点将更明了。需解释的是，附图均使用十分简化的形式且均用到非精细的百分比，*用以便利、清晰地辅助解释本实用新型实施例的目的。在下文中。开体花兰安装好后，应保证销轴能在被吊物孔中转动灵活。贵州定制开体花兰哪里买

    所述替换体壁段23和所述内层体壁段22的称呼概念不是固定的，而是根据其效用功效或位置概念的，例如若是用以作为所述工艺腔体10的内层体壁21则是内层体壁段22，若是用以替换内层体壁段22且座落所述轨道段12上的则是替换体壁段23。另外，所述承载段11和所述轨道段12的称呼概念与所述替换体壁段23和所述内层体壁段22的称谓定义方法相同。在另一个实施例中，若需一次性替换完所有的内层体壁段22，则替换体壁段23的数目相等所述内层体壁段22的数目，此时则需在所述内层体壁21**设立**少两层轨道段12，用以预留内层体壁段22和替换体壁段23的活动位置。另外，在其他实施例中，所述内层体壁段22可以由所述内层体壁21非平分而成，在此情况下，所述内层体壁段22的形状及尺寸也许不同，因此，所述替换体壁段23需和所述内层体壁段22逐个对应，所述承载段11和所述轨道段12推荐也是逐一对应。此时，所述替换体壁段23的数目相等所述内层体壁段22的数目。此种情形可以利用于所述工艺腔体10为不规则形状。推荐的，所述移动块与任一所述承载段11或任一所述轨道段12为总体构造。在一个实施例中，所述移动块与任一所述承载段11及所述承载段11所对应的内层体壁段22为一个总体构造。贵州特价开体花兰紧固件选我们邯郸洺洲紧固件开体花兰资讯。

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    也更换了更整洁的内层体壁21，减小了对晶圆30的污染，提高产品质量。进一步的，所述工艺腔体10底部设有移动块，所述移动块带动各所述承载段11和各所述轨道段12环绕所述工艺腔体10旋转移动或沿所述工艺腔体10中心径向移动。可以了解，所述替换体壁段23可以追随所述轨道段12移动，所述内层体壁段22可以追随所述承载段11移动。在一个实施例中，所述轨道段12为**少一层设置，所述轨道段12的数目小于所述承载段11的数目，以预留所述承载段11的活动位置。更进一步的，所述替换体壁段23的数目为低于或相等所述内层体壁段22数目的一半，且所述替换体壁段23的数目相等所述轨道段12的数目，以预留出内层体壁段22移动到**的活动位置。在本实施例中，当需换出其中随意一段内层体壁段22时，则移动该内层体壁段22的承载段11，使之移动至轨道段12的位置，所述内层体壁段22则变成替换体壁段23，此时则空缺出一段内层体壁段22的位置，然后移动任意一段干净的替换体壁段23所在的轨道段12至空缺的内层体壁段22所在的承载段11处，所述替换体壁段23则变成内层体壁段22，以使替换之后的内层体壁段22围合能形成原有的内层体壁21，则完成一次内层体壁段22的替换。可以明白，在替换过程中。贵州定制开体花兰哪里买

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