在半导体制造工艺中，有多种工艺腔体是运用旋转的方法展开工作，但是旋转就避免不住将剩余的化学物质甩到裹腔体的内壁上。现有技术中多数是对工艺腔体的体壁展开定期维护与保养，需将整个工艺腔体的体壁拿下去展开清洗，同时需相应的体壁备用更换，致使减低了生产效率。为了有效性的支配上述疑问，本实用新型提供了一种工艺腔体，能够自动更换及清洗腔体的体壁，且提高生产效率。如图1所示，图1为本实用新型实施例提供的工艺腔体侧面剖视图。本实用新型提供了一种工艺腔体10，包括：内层体壁21，由所述内层体壁21平分而成的内层体壁段22；由承载所述内层体壁21的承载物平分而成的承载段11，所述内层体壁段22的数目和所述承载段11的数目等于；在所述内层体壁21**设立的**少一个替换体壁段23，所述替换体壁段23与所述内层体壁段22的形状及尺寸相同；承载并移动所述替换体壁段23的轨道段12；所述承载段11和所述轨道段12形状和尺寸相同，所述承载段11和所述轨道段12能交换位置。本实用新型通过将所述内层体壁21拆分为多个内层体壁段22，并在内层体壁21**设立替换体壁段23，用以适时替换被水污染的内层体壁段22，从而可以分批次对内层体壁段22展开替换，既不影响生产。使用开体花兰时，要注意以下注意事项：不得超负荷，以防出现安全隐患的问题！天津日式开体花兰厂家

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