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来源: 发布时间:2021-09-08

    行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。供电部70具有供电导轨75、和设置于供电导轨75的非接触供电线76。供电部70配置于顶棚轨道10的下方,并沿着顶棚轨道10连续设置或者间断设置。另外,在、第二起重机40a、40b的安装部46和高架搬运车50的安装部52a设置有电力接收部73。电力接收部73经由非接触供电线76接收电力,并向行驶部主体71b等供给电力。如图1所示,控制装置60统一控制搬运系统100。控制装置60通过无线或者有线的通信来控制、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的动作。此外,控制装置60也可以分割为控制、第二起重机40a、40b的控制装置、和控制高架搬运车50的控制装置。另外,也可以通过不同的控制装置来控制起重机40a与第二起重机40b。在上述的搬运系统100中,起重机40a在保管区域sa1内搬运物品2。例如,起重机40a沿着区段内顶棚轨道11朝向一个方向,例如图1中的逆时针的方向行驶,并在处理装置tl1的装载端口lp、保管部20a、以及交接端口30a之间搬运物品2。第二起重机40b在第二保管区域sa2内搬运物品2。例如,第二起重机40b沿着第二区段内顶棚轨道12朝向一个方向,例如图1中的逆时针的方向行驶。锡山区货车商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。徐州正规商铺搬运报价

    是在装载端口lp的上方不设置保管部220,在、第二处理装置tl1、tl2与、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如,也可以是在图1所示的处理装置tl1与处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构,与上述相同地,能够将在、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样,通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80,在搬运系统100中,能够容易地使物品2的保管数量增大。此外,在搬运系统100中,保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上,对实施方式进行了说明,但本发明并不限定于上述的说明,在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如,在上述的搬运系统100中,也可以在高架搬运车50的移动路径中配置储料机(自动仓库)等。储料机例如可以设置于区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14中的任一方或者双方。高架搬运车50可以能够针对该储料机的交接端口进行物品2的交接,例如,能够在储料机与、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。另外,在法律法规允许的范围内。江苏写字楼商铺搬运打包新吴区质量商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

    图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。图5是表示高架搬运车的一个例子的图。图6是表示起重机用行驶部以及搬运车用行驶部的一个例子的图。图7是表示使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图8是表示与图7接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图9是表示与图8接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图10是表示与图9接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。图11是表示规定区域是维护区域的一个例子的俯视图。图12是表示包含初始投入部的规定区域的一个例子的俯视图。具体实施方式以下,参照附图来说明本发明的实施方式。但是,本发明并不限于该实施方式。另外,在附图中为了说明实施方式,放大或强调地记载一部分等适当地改变比例尺来表示。图1是表示本实施方式的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如被设置于半导体设备的制造工厂等,搬运收纳有在半导体设备的制造中被使用的半导体晶圆的foup,或者收纳有中间掩膜等的中间掩膜盒等物品2。这里虽说明了物品2是foup的情况。

    也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况,但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下,也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶,确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外,第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶,而从第二区段内顶棚轨道12经由连接轨道15或者第二连接轨道16移动至区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来,如图8所示,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶,从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由连接轨道15的出口部15b向区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、连接轨道15、以及区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6),因此高架搬运车50能够从第二区段内顶棚轨道12无障碍地移动至区段间顶棚轨道13。接下来,如图9所示,高架搬运车50在区段间顶棚轨道13上朝向-x方向行驶。梁溪区写字楼商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

    其从第二处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第二处理装置的装载端口设置;区段间顶棚轨道,其将区段内顶棚轨道与第二区段内顶棚轨道连结;保管部和第二保管部,它们在区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方沿上下方向设置有多层,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它们设置于区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道各自的下方且侧方;起重机,其具备沿着区段内顶棚轨道行驶的行驶部、从行驶部垂下的桅杆、以及被桅杆引导而升降的移送部,并且在处理装置的装载端口、保管部、以及交接端口之间搬运物品;第二起重机,其具备沿着第二区段内顶棚轨道行驶的第二行驶部、从第二行驶部垂下的第二桅杆、以及被第二桅杆引导而升降的第二移送部,并且在第二处理装置的装载端口、第二保管部、以及第二交接端口之间搬运物品;以及高架搬运车,其具备行驶部、用于保持物品的保持部、悬挂保持部且使保持部升降的升降驱动部、以及使升降驱动部向侧方突出的横向伸出机构,并且在交接端口与第二交接端口之间搬运物品,上述行驶部沿着区段内顶棚轨道、第二区段内顶棚轨道、以及区段间顶棚轨道行驶。另外,可以起重机是悬挂式起重机。另外。锡山区质量商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。宜兴货车商铺搬运公司电话

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    也可将物品2相对于暂存区st的交接限定为外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个。图7~图10是表示使悬挂式起重机30从存储库区域10a向规定区域亦即存储库区域10b移动时的移动路径的一个例子的图。在本实施方式中,在使悬挂式起重机30从存储库区域10a向其它存储库区域(规定区域)10b移动的情况下,不需要从起重机轨道20取下悬挂式起重机30,能够沿着以及第二连结轨道60a、60b以及高架搬运车轨道40移动。在该情况下,也可通过作业者等的手动操作来移动悬挂式起重机30,也可通过控制装置80(参照图1)自动地移动。如图7所示,悬挂式起重机30存在于存储库区域10a内的起重机轨道20。首先,使悬挂式起重机30从起重机轨道20经由连结轨道60a向机架间轨道43移动(参照图7的箭头)。通过该移动,悬挂式起重机30从存储库区域10a内向存储库区域10a外移动。此外,悬挂式起重机30在高架搬运车轨道40行驶而移动到其它区域时,使与桅杆32(参照图4)干涉的设备等避开悬挂式起重机30的移动路径。另外,起重机轨道20以及连结轨道60a如上所述,各自剖面形状相同,所以悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够无障碍地从起重机轨道20进入连结轨道60a。接下来,如图8所示。徐州正规商铺搬运报价

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