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来源: 发布时间:2021-10-25

    在半导体制造工厂等制造工厂中,为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运,提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如,参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的轨道行驶,因此需要与高架搬运车和起重机对应地,分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此,存在不仅对轨道的设置花费成本,需要用于铺设各轨道的空间,而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应,因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素:本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本,并且分担高架搬运车与起重机的作用,由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备:区段内顶棚轨道,其从处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着处理装置的装载端口设置;第二区段内顶棚轨道。梁溪区长途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。无锡学校商铺搬运公司电话

    起重机轨道20被设置于在悬挂式起重机30的运转中禁止作业者的进入的作业者禁止进入区域10f的上方。并且,在悬挂式起重机30的运转中也可以禁止作业者向存储库区域10a、10b整体的进入。图3是表示规定区域的一个例子的图。图3所示的规定区域是与存储库区域10a不同地分开配置的其它存储库区域10b。如图3所示,在本实施方式中,存储库区域10b是与上述存储库区域10a相同的结构,但也可是其它结构。存储库10被配置于存储库区域10b。存储库10与存储库区域10a相同,具备多个保管部11、多个交接口12、起重机轨道20以及悬挂式起重机30。悬挂式起重机30在保管部11与交接口12之间搬运物品2。另外,悬挂式起重机30也在保管部11内进行将物品2从当前的货架部向其它的货架部的移载。图4是表示悬挂式起重机30的一个例子的图。如图4所示,悬挂式起重机30具备起重机用行驶部31、桅杆32以及物品移载部34。物品移载部34具备升降台33、以及升降驱动部35。起重机用行驶部31具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6),沿着起重机轨道20行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于起重机用行驶部31并驱动车轮71a的电动马达,也可是使用起重机轨道20设置的线性马达。梁溪区货车商铺搬运公司电话锡山区企业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

搬运车即起搬运货物作用的物流搬运设备。手动托盘搬运车在搬运站使用时将其承载的货叉插入托盘孔内,由人力驱动液压系统来实现托盘货物的起升和下降,并由人力拉动完成搬运作业。它是搬运站托盘运输工具中简便、有效、常见的装卸、搬运工具。中文名搬运车外文名搬运站搬运工搬运设备分类手动搬运车、半电动搬运车等保养检查油、排除空气及润滑注意事项不要超载发展史正在向第四代发展目录1发展史2防爆搬运车3分类4使用5生产6保养7注意事项8无人搬运车搬运车发展史编辑搬运车发展历史,经历3代发展,搬运车发展正在向第四代发展。代搬运车为手动搬运车,简称CBY,其特点是自动化、智能化程度不高,但它为人工搬运向机械化搬运转化做出了巨大的贡献,时至,它在搬运车市场仍然具备一定的市场份额;第二代搬运车是以内燃叉车为的内燃搬运车,简称FT,具备较高的自动化,内燃叉车以发动机为动力,动力强劲,缺点是有废气排放污染环境,效能较低,有害人类健康,不适合食品行业使用;第三代搬运车是以电动叉车为的全电动搬运车,简称CBD。

    主体部52具有:悬挂地保持物品2的物品保持部53、使物品保持部53沿铅垂方向升降的升降驱动部54以及使升降驱动部54移动的侧出机构55。物品保持部53把持物品2的凸缘部2a,由此悬挂地保持物品2。物品保持部53例如是具有能够在水平方向移动的爪部53a的卡盘,通过使爪部53a进入物品2的凸缘部的下方使物品保持部53上升而保持物品2。物品保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。这样,没有如悬挂式起重机30的桅杆32那样在高架搬运车50设置引导升降的构成。因此,物品保持部53成为能够相对于主体部52摆动的状态。升降驱动部54例如是升降机,通过放出悬挂部件53b而使物品保持部53下降,通过卷绕悬挂部件53b而使物品保持部53上升。升降驱动部54被控制装置80等控制,以规定的速度使物品保持部53下降或者上升。另外,升降驱动部54被控制装置80等控制,将物品保持部53保持为目标的高度。高架搬运车50在从停止状态开始基于搬运车用行驶部51的行驶时,通过升降驱动部54将物品保持部53上升至上方位置之后,开始行驶。因此,在高架搬运车50行驶时,能够防止高架搬运车50的一部分与高架搬运车轨道40的下方的障碍物的接触。侧出机构55例如具有在上下方向重叠地配置的可动板。梁溪区货车商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

    从区段间顶棚轨道13经由连接轨道15的入口部15a向区段内顶棚轨道11移动(参照图9的箭头)。其后,高架搬运车50从连接轨道15的入口部15a移动至区段内顶棚轨道11的直线部11a,并在与作为搬运目的地的交接端口30a对应的位置停止。接着,高架搬运车50使横向伸出机构55向-x方向突出,驱动升降驱动部54使保持部53下降,由此将物品2载置于交接端口30a。通过以上的动作,能够将物品2从第二保管区域sa2搬运至保管区域sa1。另外,如上述那样,在、第二保管区域sa1、sa2的+y侧或者-y侧端部配置、第二交接端口30a、30b,由此能够避免高架搬运车50为了物品2的交接而停止在、第二保管区域sa1、sa2内的中间部分等,能够扩大、第二起重机40a、40b的运行范围。另外,例如,通过起重机40a将物品2(搬运目的地是第二保管区域sa2的第二交接端口30b)载置于保管区域sa1的交接端口30a的情况下,控制装置60针对高架搬运车50进行指示以将保管区域sa1的交接端口30a的物品2搬运至第二保管区域sa2的第二交接端口30b。高架搬运车50沿着区段内顶棚轨道11移动至交接端口30a,使横向伸出机构55向-x方向或者+x方向突出,驱动升降驱动部54并通过保持部53保持交接端口30a的物品2。此外。锡山区公司商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。梁溪区货车商铺搬运公司电话

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    为了能有效的覆盖大部分的搬运情况,我们可以选择一个系数比如2/3或者3/4的距离来估算系统的搬运效率,这样可以兼顾大部分的效率要求,并且也不会一直出现搬运能力过剩的情况。3.离散搬运的优势参照上述的跳水的例子,可以总结得出离散搬运系统的优势有如下几点:离散搬运设备往往灵活机动,占用较少的公共资源,或者非全时占用,比如通道,门等等;离散搬运设备之间可以冗余可互相备份,系统鲁棒性好;相比连续式搬运,离散式搬运系统可以通过增加搬运设备的数量,更容易达到灵活扩容的目的;离散搬运设备通常可以在本体上做一些机构,设备异形成本低,便于与多种上下游以不同的形式接驳物料单元离散搬运设备,更有可能做成智能化,无需安装调试,直接投入到新现场即可使用4.离散搬运的挑战离散搬运系统由于搬运时通过设备在空间上的移动来完成作业,同时返程时又不可避免的空载,因此这些特征属性自带了一些在实际应用中要面对解决的一些挑战。离散搬运设备搬运物料时,在空间上的运行速度随着技术的进步越来越快,比如堆垛机有的速度能达到250米/分钟甚至更高。但是由于搬运设备在执行任务时,经常有返程空载的情况,在返程的时间内,并未有任何的物料参与。无锡学校商铺搬运公司电话

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