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来源: 发布时间:2022-03-06

    第二机架间轨道44与机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。机架间轨道43以及第二机架间轨道44分别使直线状的两根轨道并行地延伸,在两根轨道之间设置有多个连接轨道。高架搬运车50沿着高架搬运车轨道40移动,将物品2在处理装置tl的装载端口lp、与存储库区域10a、10b的交接口12之间进行物品2的交接。另外,高架搬运车50除了装载端口lp以及交接口12之外,还在与沿着高架搬运车轨道40(外绕轨道41a、42a等)设置的暂存区st之间进行物品2的移载。处理装置tl例如是曝光装置、涂布机显影载置、制膜装置或者蚀刻装置等,对被收纳于搬运系统100搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示,高架搬运车50具有搬运车用行驶部51和主体部52。搬运车用行驶部51与起重机用行驶部31相同,具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6),沿着高架搬运车轨道40行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于搬运车用行驶部51并驱动车轮71a的电动马达,也可是使用高架搬运车轨道40设置的线性马达。主体部52经由安装部52a被安装于搬运车用行驶部51的下部。梁溪区货车商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。惠山区质量商铺搬运公司哪家好

    如图1所示,控制装置80统一控制搬运系统100。控制装置80通过无线或者有线的通信控制悬挂式起重机30以及高架搬运车50的动作。此外,控制装置80也可分为控制悬挂式起重机30的控制装置、和控制高架搬运车50的控制装置。另外,悬挂式起重机30用的控制装置可以以存储库区域10a为单位分开地配置,也可统一控制多个存储库区域10a、10b。另外,控制高架搬运车50的控制装置也可以控制在规定区域内行驶的多个高架搬运车50。如图1~图3所示,连结轨道60a连结存储库区域10a的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的机架间轨道43。另外,第二连结轨道60b连结存储库区域10b的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的第二机架间轨道44。起重机用行驶部31能够在以及第二连结轨道60a、60b行驶。悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够经由连结轨道60a从起重机轨道20进入高架搬运车轨道40,并行驶到其它存储库区域10b。另外,起重机用行驶部31能够经由第二连结轨道60b从高架搬运车轨道40进入起重机轨道20行驶。搬运车用行驶部51能够在以及第二连结轨道60a、60b行驶。此外,以及第二连结轨道60a、60b的与起重机用行驶部31的行驶方向正交的平面的剖面与起重机轨道20以及高架搬运车轨道40相同或者大致相同。宜兴长途商铺搬运价钱锡山区长途商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

    、第二交接端口30a、30b并不限定、第二保管部20a、20b的上层。、第二交接端口30a、30b例如也可以与、第二保管部20a、20b设置。例如,如图1所示,也可以在俯视下,在区段间顶棚轨道13与区段内顶棚轨道11之间、第二区段间顶棚轨道14与区段内顶棚轨道11之间、区段间顶棚轨道13与第二区段内顶棚轨道12之间、第二区段间顶棚轨道14与第二区段内顶棚轨道12之间设置交接端口130。、第二起重机40a、40b能够针对该交接端口130进行物品2的交接。另外,高架搬运车50能够从区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12针对交接端口130进行物品2的交接,并且,也能够从区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14针对交接端口130进行物品2的交接。其结果是,区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14的高架搬运车50能够以不进入区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12的方式通过交接端口130在与、第二起重机40a、40b之间进行物品2的交接。起重机40a在保管区域sa1搬运物品2。第二起重机40b在第二保管区域sa2搬运物品2。图4是表示、第二起重机40a、40b的一个例子的图。如图4所示,、第二起重机40a、40b使用悬挂式起重机。由于、第二起重机40a、40b是悬挂式起重机。

    参照图6)。因此,起重机用行驶部31或者搬运车用行驶部51能够无障碍地在以及第二连结轨道60a、60b行驶。这样,将上述轨道设为相同的剖面形状,由此能够实现轨道的标准化,能够以低成本进行轨道的设置。在上述搬运系统100中,悬挂式起重机30在存储库区域10a或者存储库区域10b内,沿着起重机轨道20行驶,在保管部11与交接口12之间搬运物品2。例如,悬挂式起重机30能够通过物品移载部34(参照图4)接受被保管部11保管的物品2,沿着起重机轨道20行驶至交接口12,将物品2载置于交接口12。另外,在利用高架搬运车50将物品2载置于交接口12的情况下,悬挂式起重机30能够沿着起重机轨道20行驶到交接口12,利用物品移载部34接受物品2之后,沿着起重机轨道20行驶到移载目的地的保管部11,通过物品移载部34将物品2载置于保管部11。另外,在搬运系统100中,高架搬运车50在利用悬挂式起重机30将物品2载置在交接口12的情况下,沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12。然后,能够由物品保持部53(参照图5)保持物品2,在高架搬运车轨道40行驶,由此将物品2搬运到其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st,在他们各自处载置物品2。另外。新吴区企业商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。

    在长边方向的两端与后述的机架间轨道43以及第二机架间轨道44连接。外绕轨道42a在俯视时通过存储库区域10a、10b的交接口12的侧方。但是,该交接口12是与对应于机架内环绕轨道41的外绕轨道41a的交接口12不同的交接口12。在外绕轨道42a行驶的高架搬运车50能够相对于交接口12进行物品2的交接。外绕轨道42a被配置于处理装置tl的装载端口lp的正上方。内绕轨道42b被形成为环状,被配置于外绕轨道42a的内侧。此外,内绕轨道41b、42b在俯视图时被配置于偏离了装载端口lp的正上方的位置。根据该结构,悬挂式起重机30在从后述的存储库区域10a向规定区域移动时,能够使从起重机用行驶部31垂下的桅杆32不与装载端口lp干涉地行驶。内绕轨道41b经由连接轨道41c与外绕轨道41a连接。另外,内绕轨道42b经由连接轨道42c与外绕轨道42a连接。此外,在外绕轨道41a、42a与内绕轨道41b、42b之间分别沿着外绕轨道41a、42a等配置多个暂存区st。暂存区st例如具有能够载置物品2的货架部,以悬挂于建筑物的顶棚的状态设置。此外,是否配置暂存区st是任意的,也可以没有暂存区st。机架间轨道43与机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。无锡写字楼商铺搬运报价哪家好,诚心推荐无锡永旺搬家有限公司。惠山区质量商铺搬运公司哪家好

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    高架搬运车50在从其它存储库区域10b的交接口12、处理装置lt的装载端口lp或者暂存区st接受了物品2的情况下,能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10a的交接口12,在交接口12载置物品2。在高架搬运车50在机架内环绕轨道41行驶的情况下,位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中,在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下,使物品保持部53升降(参照图5)。另外,位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置lt的装载端口lp的交接。高架搬运车50在物品2相对于装载端口lp的交接中,不驱动或者基本不驱动侧出机构55而使物品保持部53升降(参照图5)。另外,位于外绕轨道41a或者内绕轨道41b的高架搬运车50能够进行物品2相对于暂存区st的交接。高架搬运车50在物品2相对于暂存区st的交接中,在通过侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a或者内绕轨道41b轨道的侧方突出了的状态下使物品保持部53升降。物品2相对于暂存区st的交接在外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个中都能够进行,高架搬运车50通过改变侧出机构55的突出方向就能够对应(参照图5)。此外。惠山区质量商铺搬运公司哪家好

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