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类金刚石(DLC)薄膜与不锈钢的结合强度是DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题.利用磁过滤阴极真空弧源沉积方法在316L不锈钢表面沉积DLC薄膜,研究沉积时基体偏压、薄膜厚度以及钛过渡层对DLC薄膜与基体结合强度的影响.研究结果表明,316L表面制备相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脉冲偏压制备的薄膜结合强度明显优于-80V直流偏压下制备的DLC薄膜;随着DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜与316L基体的结合力下降;316L不锈钢表面制备一层100nm的钛过渡层之后可以改善DLC薄膜的结合状况,并且经过20%的拉伸变形后,DLC薄膜完整,耐蚀性优于未表面处理的316L不锈钢.以上研...

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能，采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC)，采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌，测量并计算涂层硬度。结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm，呈岛状聚集分布，硬度约为18GPa。采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性。结果表明,在低载高速的条件下，DLC涂层具有良好的耐磨特性，符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具，是未来刀具的一个重要发展方向。本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力，探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响。例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...

碳钢是常用的普通钢，冶炼方便、加工容易、价格低廉，而且在多数情况下能满足使用要求，所以应用十分普遍。按含碳量不同，碳钢又分为低碳钢、中碳钢和高碳钢。随含碳量升高，碳钢的硬度增加、韧性下降。合金钢又叫特种钢，在碳钢的基础上加入一种或多种合金元素，使钢的组织结构和性能发生变化，从而具有一些特殊性能，如高硬度、高耐磨性、高韧性等。与纯铜相同，铁碳合金的表面耐腐蚀性也一般。为提高上述材料表面的耐腐蚀特性，可在其表面镀或渗透钛层。目前发展阶段，目前的镀钛方法包括化学转化、真空沉积、喷涂等处理方法，然而这些方法的弊端在于镀层与基体结合不紧密。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚...

在一台yBHИПA-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度有名升高的原因是生成了碳化钛硬化相.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有...

为了探究类金刚石(DLC)涂层在轮胎模具上应用的可行性,以35钢为基体,采用等离子辅助增强化学气相沉积(PECVD)的方法分别制备出了含氢类金刚石(DLC)涂层和氟化类金刚石(F-DLC)涂层,并对涂层表面形貌、Raman光谱、表面粗糙度、结合强度、力学性能、摩擦磨损性能进行了研究分析.结果表明:所制备的含氢DLC涂层和F-DLC涂层表面粗糙度分别为nm和nm，表面光滑，致密性好；涂层接触角分别为°和°,符合脱模要求;纳米硬度分别为GPa和GPa，弹性模量分别为GPa和GPa,拥有较高的结合强度和力学性能；在140℃下进行摩擦磨损试验时的摩擦系数分别为7和1,磨损不明显,具有良好的抗磨减摩特性...

随着人类对金刚石的研究的深入和其应用的，人类对其的需求越来越大，但是，由于制备金刚石的工业化工艺条件比较难以实现，因此人们渴望能有一种可以替代金刚石的新材料。类金刚石膜（diamond-like-carbon）简称DLC，是一类性质类似于金刚石具有高电阻率、高硬度、热稳定性、高电阻、低介电常数、的光学性能、及良好的生物相容性等多项优良性能的非晶体碳膜，一般利用非平衡气相工艺合成的以碳或以碳和氢为主要成分的一种兼有自身独特低摩擦系数和高耐磨性的材料。随着人们研究的深入，发现DLC是一种集多个优点于一身的且应用前景十分广阔的新型薄膜材料。世界各国对其的研究也在不断的深入中。类金刚（DLC）石薄膜的...

为了探究类金刚石(DLC)涂层在轮胎模具上应用的可行性,以35钢为基体,采用等离子辅助增强化学气相沉积(PECVD)的方法分别制备出了含氢类金刚石(DLC)涂层和氟化类金刚石(F-DLC)涂层,并对涂层表面形貌、Raman光谱、表面粗糙度、结合强度、力学性能、摩擦磨损性能进行了研究分析.结果表明:所制备的含氢DLC涂层和F-DLC涂层表面粗糙度分别为nm和nm，表面光滑，致密性好；涂层接触角分别为°和°,符合脱模要求;纳米硬度分别为GPa和GPa，弹性模量分别为GPa和GPa,拥有较高的结合强度和力学性能；在140℃下进行摩擦磨损试验时的摩擦系数分别为7和1,磨损不明显,具有良好的抗磨减摩特性...

DLC采用阴极电弧离子镀和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）相结合的技术方法，在304不锈钢基体上分别沉积制备了Ti/DLC和Ti/TiN/TiAlN/DLC复合涂层。选用原子力显微镜、拉曼光谱对涂层的形貌和结构进行表征测试。同时，利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析了涂层的显微硬度和界面结合性能，并研究了其摩擦磨损行为。研究结果表明：Ti/TiN/TiAlN/DLC复合涂层体系具有较高硬度（~2130HV）的同时结合性能比较好（结合力~N），抗磨损能力较强。在相同试验条件下，无涂层的基体摩擦系数为，单层DLC、Ti/DLC和Ti/TiN/TiAlN/DLC涂层的摩擦系数则分别为、。Ti/...

离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征采用离子束溅射方法，较低温度下在Ti6A14V合金基底上沉积了DLC薄膜，重点考察了直流叠加脉冲共生偏压大小对薄膜形貌、结构和摩擦学性能的影响。制备薄膜为菲晶碳膜，薄膜表面粗糙度随施加迭加偏压增大有先减小后增大趋势，而膜中sp3含量变化趋势则与之相反。在选定的实验条件下，-100V偏压时所制备的薄膜在空气环境及Hank’s溶液润滑下都具有比较优异的摩擦学性能。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD...

DLC作为一种亚稳态材料，膜内残余压应力大、膜基结合强度低，高温下易发生化学键破坏，导致性能下降。向薄膜中添加异质元素是调控或提高DLC膜性能的有效方法。近日，省新材料研究所真空镀膜团队利用高功率脉冲磁控溅射复合中频磁控溅射技术制备了掺Si的纳米多层类金刚石(Si-DLC)薄膜，发现通过改变Si元素的含量可调控薄膜的摩擦学行为：低Si含量()的薄膜在界面处发生石墨化，起到润滑作用，降低磨损；高Si含量()的薄膜在摩擦过程中产生更多的sp3键，硬质颗粒分布在薄膜与对磨副之间，使薄膜的磨损率高于低Si含量状态。透明DLC薄膜的制备与性能研究。闵行刃具DLC离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征采用...

不同刀具材料对碳纤维复合材料的加工有较大的影响.通过合理选择钻头的基体材料和涂层材料,基于正交试验综合分析不同涂层材料、主轴转速及进给速度对钻削轴向力的影响.试验结果表明,涂层材料对轴向力的影响比较大,涂层钻头的钻削轴向力比无涂层YG6X钻头小很多,类金刚石涂层(DLC)钻头较小.TiAIN和TiCN涂层钻头都有不同程度的磨损,DLC钻头的耐磨性和加工质量都远远高于其他涂层.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的...

用激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成,利用摩擦磨损试验机测试了不同摩擦副在干摩擦和油润滑环境下的摩擦系数及耐磨寿命,终用光学显微镜观察了汽车活塞销涂层类金刚石前后的表面形貌。结果表明：采用此方法在汽车活塞销上制备的类金刚石涂层光洁度高,摩擦系数??；摩擦副之间的硬度差对其耐磨寿命具有很大的影响,加入润滑剂可以抵消这种影响；汽车活塞销涂层类金刚石在工作一定时间后,表面粗糙度降低，耐磨寿命提高,同时DLC对摩擦副具有抛光润滑作用,是一种汽车零部件推荐的抗磨减磨涂层材料?；钊坎憷嘟鸶帐导首俺迪殖〔馐员砻?寿命比没有涂层的活塞销提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备...

为了提高活塞销表面类金刚石(DLC)涂层的结合力及抗磨损性能,使用扫描电子显微镜、圆度仪、粗糙度仪等检测设备对2种活塞销DLC涂层表面、截面及涂层结合处的微观形貌、组成元素和成分进行了对比分析,并对2种活塞销进行了发动机台架耐久试验.结果表明:原样件活塞销耐久试验后涂层大面积脱落且磨损严重,通过改变工艺参数将原样件活塞销进行优化,优化后的活塞销DLC涂层表面的均匀性、平整性及光滑度都有了明显改善,涂层厚度由μm增加到了μm,且粗糙度Ra值由原样件的μm减小为μm,同时圆柱度也明显减小,耐久试验后涂层完好,没有发生脱落.此研究为提高活塞销表面质量,改善活塞销在工作中的磨损及失效提供了参考。上海英...

类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具，是未来刀具的一个重要发展方向。本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力，探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响。例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...

为了探究类金刚石(DLC)涂层在轮胎模具上应用的可行性,以35钢为基体,采用等离子辅助增强化学气相沉积(PECVD)的方法分别制备出了含氢类金刚石(DLC)涂层和氟化类金刚石(F-DLC)涂层,并对涂层表面形貌、Raman光谱、表面粗糙度、结合强度、力学性能、摩擦磨损性能进行了研究分析.结果表明:所制备的含氢DLC涂层和F-DLC涂层表面粗糙度分别为nm和nm，表面光滑，致密性好；涂层接触角分别为°和°,符合脱模要求;纳米硬度分别为GPa和GPa，弹性模量分别为GPa和GPa,拥有较高的结合强度和力学性能；在140℃下进行摩擦磨损试验时的摩擦系数分别为7和1,磨损不明显,具有良好的抗磨减摩特性...

一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层，上海...

研究结果表明：采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD...

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能，采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC)，采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌，测量并计算涂层硬度。结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm，呈岛状聚集分布，硬度约为18GPa。采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性。结果表明,在低载高速的条件下，DLC涂层具有良好的耐磨特性，符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...

为了探究类金刚石(DLC)涂层在轮胎模具上应用的可行性,以35钢为基体,采用等离子辅助增强化学气相沉积(PECVD)的方法分别制备出了含氢类金刚石(DLC)涂层和氟化类金刚石(F-DLC)涂层,并对涂层表面形貌、Raman光谱、表面粗糙度、结合强度、力学性能、摩擦磨损性能进行了研究分析.结果表明:所制备的含氢DLC涂层和F-DLC涂层表面粗糙度分别为nm和nm，表面光滑，致密性好；涂层接触角分别为°和°,符合脱模要求;纳米硬度分别为GPa和GPa，弹性模量分别为GPa和GPa,拥有较高的结合强度和力学性能；在140℃下进行摩擦磨损试验时的摩擦系数分别为7和1,磨损不明显,具有良好的抗磨减摩特性...

为提高纺织机高速纺纱工况下钢丝圈表面的磨损性能，采用直流等离子气相沉积法在钢丝圈表面制备类金刚石涂层(DLC)，采用原位扫描探针显微镜观测涂层表面形貌，测量并计算涂层硬度。结果发现,DLC涂层颗粒粒径约为100nm，呈岛状聚集分布，硬度约为18GPa。采用球-盘式摩擦试验机研究DLC涂层在不同载荷(20～100N)和不同转速(100～600r/min)条件下的摩擦特性。结果表明,在低载高速的条件下，DLC涂层具有良好的耐磨特性，符合钢丝圈的实际工况.采用傅里叶变换红外光谱分析涂层的磨损机制,结果发现,在摩擦磨损过程中从薄膜中释放出来的氢和涂层的剪切变形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2转变...

固体润滑薄膜材料具有优异的摩擦学性能,可以有效降低相对运动摩擦副之间的摩擦磨损,是汽车节能减排技术的重要研究方向.对固体润滑薄膜尤其是DLC薄膜的摩擦学性能进行了介绍,研究了其在高压柴油喷射系统和发动机挺柱等零部件上的应用.台架试验结果表明,DLC薄膜可以有效降低发动机挺柱和柱塞等零部件表面的摩擦系数,减少供油和配气系统的摩擦损失,从而提高发动机的燃油经济性.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已...

离子束溅射法DLC膜的制备及其性能表征采用离子束溅射方法，较低温度下在Ti6A14V合金基底上沉积了DLC薄膜，重点考察了直流叠加脉冲共生偏压大小对薄膜形貌、结构和摩擦学性能的影响。制备薄膜为菲晶碳膜，薄膜表面粗糙度随施加迭加偏压增大有先减小后增大趋势，而膜中sp3含量变化趋势则与之相反。在选定的实验条件下，-100V偏压时所制备的薄膜在空气环境及Hank’s溶液润滑下都具有比较优异的摩擦学性能。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点?？梢越饩鯬VD...

碳钢是常用的普通钢，冶炼方便、加工容易、价格低廉，而且在多数情况下能满足使用要求，所以应用十分普遍。按含碳量不同，碳钢又分为低碳钢、中碳钢和高碳钢。随含碳量升高，碳钢的硬度增加、韧性下降。合金钢又叫特种钢，在碳钢的基础上加入一种或多种合金元素，使钢的组织结构和性能发生变化，从而具有一些特殊性能，如高硬度、高耐磨性、高韧性等。与纯铜相同，铁碳合金的表面耐腐蚀性也一般。为提高上述材料表面的耐腐蚀特性，可在其表面镀或渗透钛层。目前发展阶段，目前的镀钛方法包括化学转化、真空沉积、喷涂等处理方法，然而这些方法的弊端在于镀层与基体结合不紧密。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚...

用激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成,利用摩擦磨损试验机测试了不同摩擦副在干摩擦和油润滑环境下的摩擦系数及耐磨寿命,终用光学显微镜观察了汽车活塞销涂层类金刚石前后的表面形貌。结果表明：采用此方法在汽车活塞销上制备的类金刚石涂层光洁度高,摩擦系数小；摩擦副之间的硬度差对其耐磨寿命具有很大的影响,加入润滑剂可以抵消这种影响；汽车活塞销涂层类金刚石在工作一定时间后,表面粗糙度降低，耐磨寿命提高,同时DLC对摩擦副具有抛光润滑作用,是一种汽车零部件推荐的抗磨减磨涂层材料?；钊坎憷嘟鸶帐导首俺迪殖〔馐员砻?寿命比没有涂层的活塞销提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备...

类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代，是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此，类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料，禁带宽度可以在1—4eV之间调制，可大面积生长，材料自身和加工过程环保，在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜...

随着科学技术的飞速发展,用于机械加工、矿山采掘的硬质合金刀具在不断的更新,刀具涂层技术也在日趋多样化和复杂化,对生产工艺的要求也随之提高.文中介绍了硬质合金刀具涂层的2种主要制备方法即化学气相沉积法(CVD)和物理相沉积法(PVD),简述了刀具涂层即单组分涂层、多组分涂层、多层涂层和梯度涂层的发展,概括了几种新型涂层即金刚石涂层、类金刚石涂层、立方氮化硼涂层和氮化碳涂层,对未来硬质合金刀具涂层的发展方向进行了展望.上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优...

DLC应用：汽车零部件：DLC在发动机部件成功应用的是掺杂金属的DLC（a-C:H:Me），Me-DLC的典型应用是涡轮增压柴油机燃油喷射器部件和轴承。Me-DLC涂层硬度在1200～2000Hv之间变化，与钢干磨摩擦系数通常在0.1～0.2之间。Me-DLC涂层的抗冲击疲劳的能力特别地得到了认可。切削刀具：钻头、铣刀DLC膜可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不仅具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。许多具有延展性的金属或合金，在切削时容易出现沾粘刀具现象。高温时更与刀具产生反应造成加工困难，工具寿命减短。像这类的刀具如镀上DLC膜后可解决问题。镀有DLC膜的刀具...

一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层，上海...

简单说来，石墨态的C原子就是sp2型杂化，金刚石态的C原子就是sp3型杂化。类金刚石膜DLC，就是C原子以石墨态和金刚石态两种形态混合的碳膜。这种复杂形态对的碳膜，既有金刚石膜的高硬度，又具有石墨膜的润滑性。DLC的制备由于类金刚石膜的优异性能，自它面世以来，人们就在世界范围掀起了碳膜的研究热潮，相继出现了一系列的碳膜制备技术。总的来说，制备类金刚石膜现在主要是用各种气相沉积法，根据制备原理的不同，大体上可以分为物相沉积和化学气相沉积，根据离化碳原子和加热方法的不同，DLC的制备方法可分为：真空电弧沉积，喷射沉积，等离子沉积，脉冲激光沉积，电子加入CVD法等等。DLC的制备方法不同，工艺条件不...