类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有许多与金刚石涂层相似的优异性能,如高硬度,耐磨损,低摩擦系数,并具有良好化学稳定性,电绝缘性,光透性,耐腐蚀性以及生物相容性,其作为新型功能薄膜材料,在机械,电子,光学航天航空和生物相容性诸多领域具有***的应用.DLC 作为功能防护涂层,典型膜层厚度在1~5μm,在汽车制造业和航空航天领域等特殊应用领域膜层厚度需求可达10~50 μm左右.同时试验表明,膜层越厚,涂层耐磨性能和抗腐蚀性能更优异,所以制备超厚DLC 涂层尤为迫切.然而,DLC 由于其高的内应力,厚度限制在10μm 以内,从而限制了DLC 涂层的应用类金刚石镀膜的...
DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。国此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备...
类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此,类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料,禁带宽度可以在1—4eV之间调制,可大面积生长,材料自身和加工过程环保,在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂...
类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)是一种亚稳态的非晶碳薄膜,具有一系列类似于金刚石的多种优异性能,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等,可多用于机械、电子、光学、医学等领域。本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定,与基体结合强,硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控,耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高,可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜,与金刚石相比具有更高的性能价格比。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀...
以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内...
随着现代科学技术的不断进步,普通硬质涂层和超硬涂层有了明显的发展,部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势,并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要求。公司涂层已经应用于航空机械模具刀具刃具电子...
不同刀具材料对碳纤维复合材料的加工有较大的影响.通过合理选择钻头的基体材料和涂层材料,基于正交试验综合分析不同涂层材料、主轴转速及进给速度对钻削轴向力的影响.试验结果表明,涂层材料对轴向力的影响比较大,涂层钻头的钻削轴向力比无涂层YG6X钻头小很多,类金刚石涂层(DLC)钻头较小.TiAIN和TiCN涂层钻头都有不同程度的磨损,DLC钻头的耐磨性和加工质量都远远高于其他涂层.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要...
采用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石(DLC)涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构,表面形貌,厚度,显微硬度,耐磨损性能以及界面结合性能的影响.结果表明:随着沉积温度的升高,DLC涂层中sp3键的比例呈先增大后减小的趋势,并在160 ℃达到比较大,为69%;沉积温度过高将导致DLC涂层出现石墨化;DLC涂层的厚度,显微硬度,耐磨损性能,界面结合力均随沉积温度的升高呈先增大后减小的趋势,当沉积温度为160 ℃时,涂层表面平整光滑,致密,此时涂层的厚度,显微硬度和界面结合力均达到比较大。上海英屹涂层技术有限公司能够提供涂层研发 ...
类金刚石薄膜(diamond-likecarbon,DLC)是一种亚稳态的非晶碳薄膜,具有一系列类似于金刚石的多种优异性能,如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等,可多用于机械、电子、光学、医学等领域。本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定,与基体结合强,硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控,耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高,可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜,与金刚石相比具有更高的性能价格比。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀...
不同刀具材料对碳纤维复合材料的加工有较大的影响.通过合理选择钻头的基体材料和涂层材料,基于正交试验综合分析不同涂层材料、主轴转速及进给速度对钻削轴向力的影响.试验结果表明,涂层材料对轴向力的影响比较大,涂层钻头的钻削轴向力比无涂层YG6X钻头小很多,类金刚石涂层(DLC)钻头较小.TiAIN和TiCN涂层钻头都有不同程度的磨损,DLC钻头的耐磨性和加工质量都远远高于其他涂层.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。南通类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。常州合金模类金刚石公司以等...
物相沉积是在真空状态下,将被沉积元素变成原子进相沉积。用于制备类金刚石薄膜的物相沉积法包括经典的离子束沉积法(通过等离子体溅射石墨靶产生碳离子,经电磁场的加速作用沉积在基体表面)、新兴的直流磁控溅射技术(电子在磁场的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)、射频溅射技术(电子在射频振荡的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)以及脉冲激光沉积法(在真空条件下,利用脉冲激光束使石墨靶释放碳离子,在基体表面沉积成膜)。化学气相沉积是在热能、光能或等离子体等各种能源的作用下,通过发生化学反应,使蒸汽状态的化学物质形成固态沉积物。...
DLC类金刚石(diamond—likecarbon)涂层是含有大量SP3键亚稳态的非晶碳,它的结构中SP2和SP3键比例在很大范围内变化.SP3键含量高(〉70%)的DLC涂层有许多和金刚石涂层相似的性能。.DLC涂层的制备工艺简单,沉积面积大,涂层面平整光滑,工艺比较成熟,因而已经在许多领域得到应用. 上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层厂家。 深耕上海十几年, 得到众多国内外企业的信任和支持。 公司能够提供各种涂层的研发, 提供个性化的涂层解决方案 。北京类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。常州塑胶模类金刚石价格采用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术,在不...
类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗,减轻发动机滑动部位的摩擦,(特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦)非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料,具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性,它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果,在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起,该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的P...
涂层刀具结合了基体**度高韧性以及涂层高硬度高耐磨性的特点,可以提高刀具寿命和加工效率.类金刚石薄膜(DLC)是由无序sp3键,sp2键,sp1键配位碳原子混合而成,具有一系列与金刚石膜相类似的性能(如热导率高,热膨胀系数小,化学稳定性好,硬度和弹性模量高,耐磨性好及摩擦系数低等)以及优异的耐摩擦性能和自润滑特性,因此成为高速钢和硬质合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世纪70年代,其沉积方法主要有物***相沉积法 上海英屹涂层技术有限公司 能够提供专业的涂层研发 个性化的涂层解决方案南通类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。青浦区模具类金刚石哪个好DLC膜不仅具有优异的耐磨性...
采用直流磁控溅射法在硅基底上交替沉积类金刚石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制备了不同DLC层厚度的CNx/DLC纳米多层膜..采用原位纳米压入技术、涂层附着力划痕仪、球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的力学和摩擦学性能进行了测试.结果表明:所制备的CNx/DLC多层膜均为微晶或非晶结构,组织致密.随着DLC层厚度的减小,多层膜内sp3杂化键的含量先升高后下降,压应力由135MPa增至538MPa,结合力先上升后降低,。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜...
类金刚石(DLC)涂层的主要成份是碳,是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨(SP2)与金刚石(SP3)组成。由于其优异的摩擦性能,在工业上得到较多应用。特别是在无润滑剂情况下,摩擦系数也很低(μ=~)。主要应用于汽车零部件发动机活塞缸体需要高速旋转的螺杆表面切削的刀具表面应用范围十分较多DLC涂层的高硬度低摩擦性能突出DLC涂层具有一定的自润滑性是现代工业必不可少的涂层之一。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户...
碳钢是常用的普通钢,冶炼方便、加工容易、价格低廉,而且在多数情况下能满足使用要求,所以应用十分普遍。按含碳量不同,碳钢又分为低碳钢、中碳钢和高碳钢。随含碳量升高,碳钢的硬度增加、韧性下降。合金钢又叫特种钢,在碳钢的基础上加入一种或多种合金元素,使钢的组织结构和性能发生变化,从而具有一些特殊性能,如高硬度、高耐磨性、高韧性等。与纯铜相同,铁碳合金的表面耐腐蚀性也一般。为提高上述材料表面的耐腐蚀特性,可在其表面镀或渗透钛层。目前发展阶段,目前的镀钛方法包括化学转化、真空沉积、喷涂等处理方法,然而这些方法的弊端在于镀层与基体结合不紧密。。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射...
以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金刀具表面制备了类金刚石(DLC)涂层.研究了DLC涂层刀具和无涂层刀具的硬度,不同载荷、不同转速下两种刀具的摩擦磨损性能,以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层刀具的滑动摩擦行为.结果表明,DLC涂层刀具的平均硬度为2HV,比无涂层刀具提高了膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦...
类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有许多与金刚石涂层相似的优异性能,如高硬度,耐磨损,低摩擦系数,并具有良好化学稳定性,电绝缘性,光透性,耐腐蚀性以及生物相容性,其作为新型功能薄膜材料,在机械,电子,光学航天航空和生物相容性诸多领域具有***的应用.DLC 作为功能防护涂层,典型膜层厚度在1~5μm,在汽车制造业和航空航天领域等特殊应用领域膜层厚度需求可达10~50 μm左右.同时试验表明,膜层越厚,涂层耐磨性能和抗腐蚀性能更优异,所以制备超厚DLC 涂层尤为迫切.然而,DLC 由于其高的内应力,厚度限制在10μm 以内,从而限制了DLC 涂层的应用类金刚石碳涂层...
类金刚石(DLC)涂层的主要成份是碳,是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨(SP2)与金刚石(SP3)组成。由于其优异的摩擦性能,在工业上得到较多应用。特别是在无润滑剂情况下,摩擦系数也很低(μ=~)。主要应用于汽车零部件发动机活塞缸体需要高速旋转的螺杆表面切削的刀具表面应用范围十分较多DLC涂层的高硬度低摩擦性能突出DLC涂层具有一定的自润滑性是现代工业必不可少的涂层之一。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户...
越来越多高级的产品表面需要精美耐磨的效果,努力达到类似钻石耐磨的效果,又可以耐腐蚀耐酸碱等要求,其中触控手机、液晶显示、精密配件、精美手表首饰(LV,GUCCI···)、前列产品钻头、硬盘磁头、汽车配件、高级五金餐具卫浴等等未来将广泛应用到。为了达到类金刚石的效果,将会选择碳化硅、氮化硅结合增透膜氧化铌等靶材叠层应用。DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜...
DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。国此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备...
类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗,减轻发动机滑动部位的摩擦,(特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦)非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料,具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性,它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果,在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起,该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的P...
近几年来,在经济全球化背景下,我国的制造业获得了空前发展的机遇,而现代切削刀具成了提升制造业技术水平的关键因素之一,不断提高的切削加工要求和被加工材料的能级以及减少切削加工对环境污染等有力地推动了用于现代切削刀具涂层技术的发展.膜系材料多元合金化,涂层工艺组合的多样化中出现的TiAlN、TiAlCN、CrSiN等多元复合涂层和多层涂使刀具获得了高耐磨、低摩擦、热稳定性好和抗氧化能力强等良好的综合性能,有效提升了现代切削刀具的性能;纳米组分和纳米薄膜涂层的显微结构使得难加工材料的切削得到了新的解决办法;金刚石涂层和类金刚石涂层(DLC)在加工石墨零件和纤维增强等非金属材料和有色合金材料方面取得了...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
介绍了采用物理相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,、具有良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLCFilms)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为的涂层材料已被应用于汽车、模具、刀具等领域.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可...
研究结果表明,采用射频等离子体增强化学气相沉积方法,可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力,薄膜牢度较小,易剥落,且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术,在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层,然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜,发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外...
以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内...