立式炉主要适用于6"、8"、12"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。氧化是在中高温下通入特定气体（O2/H2/DCE），在硅片表面发生氧化反应，生成二氧化硅薄膜的一种工艺。生成的二氧化硅薄膜可以作为集成电路器件前道的缓冲介质层和栅氧化层等。退火是在中低温条件下，通入惰性气体（N2），消除硅片界面处晶格缺陷和晶格损伤，优化硅片界面质量的一种工艺。立式炉通过电加热器或其他加热元件对炉膛内的物料进行加热。由于炉膛管道垂直放置，热量在炉膛内上升过程中能够得到更均匀的分布，有助于提高加热效率和温度均匀性?。立式炉在制药领域，严格把控温度工艺。池州立式炉非掺杂POLY工艺

安全是立式炉设计和运行的首要考量。在结构设计上，采用强度的耐高温材料，确保炉体在高温、高压环境下的稳定性，防止炉体破裂引发安全事故。设置多重防爆装置，如防爆门和安全阀。当炉内压力异常升高时，防爆门自动打开，释放压力，避免爆破；安全阀则在压力超过设定值时自动泄压。配备先进的火灾报警系统，通过烟雾传感器和温度传感器实时监测炉内情况，一旦发现异常，立即发出警报并启动灭火装置。此外，还设置了紧急停车系统，在突发情况下，操作人员可迅速按下紧急按钮，停止设备运行，保障人员和设备的安全。池州智能立式炉优化炉管排列，让立式炉加热更均匀。

立式炉温控系统，多采用智能温控仪，具备 PID 自整定、可编程等等的功能，能精确控制温度。可实现自动升温、保温、降温的功能，有的还能设置多段升降温程序，控温精度通常可达±1℃。立式炉其他部件：可能包括进料装置、出料装置、气体通入和排出装置、密封装置等等。例如一些立式管式炉，上端有密封法兰，可用于安装吊环、真空计等，还能将热电偶伸到样品表面测量温度等；有的配备水冷式密封法兰，与炉管紧密结合，保证炉内气氛稳定等。

为确保立式炉长期稳定运行，定期的维护保养至关重要。首先，要对燃烧器进行定期检查和清洁，确保燃料喷嘴无堵塞，空气供应通道畅通，保证燃烧器的正常工作和燃烧效率。其次，检查炉管的腐蚀和磨损情况，对于出现轻微腐蚀或磨损的部位，及时进行修复或更换，防止炉管破裂泄漏。还要定期检查隔热材料的完整性，如有损坏及时更换，以减少热量散失。此外，对自动化控制系统进行维护，确保温度传感器、控制器等设备的准确性和可靠性，定期校准和调试，保证温度控制的精确性。做好立式炉的维护保养工作，能够延长设备使用寿命，降低维修成本，提高生产效率。立式炉的多层设计可同时处理多片晶圆，提升生产效率。

立式炉的炉衬材料选择直接影响其隔热性能、使用寿命和运行成本。常见的炉衬材料有陶瓷纤维、岩棉、轻质隔热砖等。陶瓷纤维重量轻、隔热性能好、耐高温，但强度相对较低；岩棉价格相对较低，隔热性能较好，但在高温下稳定性较差；轻质隔热砖强度高、耐高温性能好，适用于炉体承受较大压力和温度波动的部位，但重量较大，成本相对较高。在选择炉衬材料时，需根据立式炉的工作温度、压力、使用环境等因素综合考虑，合理搭配不同的炉衬材料，以达到理想的隔热效果和经济效益。立式炉垂直结构设计，有效节省占地面积。宁波立式炉非掺杂POLY工艺

立式炉的模块化设计，便于安装与维护。池州立式炉非掺杂POLY工艺

立式炉的关键结构包含炉膛、燃烧器、炉管以及烟囱等部分。炉膛作为关键空间，为物料的加热反应提供场所，其形状和尺寸根据不同的工艺需求而设计，内部衬里通常采用耐高温、隔热性能良好的材料，以减少热量散失并保护炉体。燃烧器安装在炉膛底部或侧面，负责将燃料与空气按比例混合并充分燃烧，为加热过程提供热源。炉管则是物料流经的通道，根据工艺要求，可设计为直管、盘管等多种形式，均匀分布在炉膛内，充分吸收燃烧产生的热量。烟囱位于炉体顶部，主要作用是排出燃烧后的废气，同时利用烟囱效应，促进炉内空气的流通，保障燃烧的充分性。合理的结构设计是立式炉高效运行的基础，各部件协同工作，确保热量均匀传递，物料受热稳定。池州立式炉非掺杂POLY工艺