分子泵轴承作为真空系统主要部件,承担着支撑高速旋转转子、确保真空腔体内气流稳定的关键作用。其工作环境通常要求转速高达 10 万 - 15 万转 / 分钟,因此对轴承的动态稳定性、耐磨性能及热传导性提出严苛标准。在半导体制造中,分子泵轴承需维持纳米级制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若轴承失效将导致腔室污染,直接影响芯片良率。新巴顿(上海)轴承销售有限公司针对此类需求,提供基于陶瓷球与不锈钢套圈的组合方案,通过优化滚道弧度设计,使轴承在高速运转时的温升控制在 30℃以内,满足半导体设备 24 小时连续运行的可靠性要求。高效散热设计,使新巴顿分子泵轴承在运转中保持低温,稳定运行。奉贤区C36STAY52分子泵轴承
新巴顿为分子泵轴承提供专业安装工具,提升机械装配效率与精度。液压螺母(型号 BARDUN-HN-01)可精确控制轴向预紧力(精度 ±2%),配合扭矩扳手(量程 5-50N?m),避免人工拧紧导致的预紧力不均;加热线圈(频率 20-40kHz)可在 3 分钟内将轴承加热至 100℃,温差≤5℃,确保热装时的均匀膨胀。在自动化生产线中,这些工具与机器人装配系统集成,实现轴承安装的全自动化,单套轴承的装配时间从 15 分钟缩短至 3 分钟,且安装合格率达 100%。专业工具的使用减少了机械装配中的人为误差,保障分子泵轴承的安装精度与可靠性。常州C1902X205Y16分子泵轴承热传导优化设计,新巴顿分子泵轴承结合水冷系统,控制机械运转温升。
新巴顿分子泵轴承在加工过程中进行高精度动平衡处理,残余不平衡量≤1g?mm/kg,确保机械运转时的低振动特性。在大型分子泵机组中,轴承与转子的组合动平衡等级达到 G1.0(ISO 1940 标准),当转速 30000rpm 时,轴承座振动速度≤1.0mm/s。这种动态平衡技术可避免机械系统因振动导致的连接件松动、密封失效等问题,尤其适用于半导体光刻机的真空系统 —— 该场景要求振动振幅<10μm,轴承的高精度平衡配合阻尼器设计,可将振动控制在 5μm 以内,保障光刻工艺的精度。
新巴顿分子泵轴承采用先进的复合材质体系,主要部件陶瓷球选用氧化锆(ZrO?)材料,其硬度高达 HRA85,抗弯强度达到 230GPa,相比传统轴承钢材质,耐磨性提升了 3 倍以上。不锈钢套圈采用真空除气处理的 AISI 440C 不锈钢,在 10??Pa 的超高真空环境下,水汽释放率只为 5×10??Pa?m3/s,极大降低了出气对真空系统的影响。某半导体蚀刻设备在采用新巴顿陶瓷轴承后,运行寿命从原本的 8 个月延长至 28 个月,设备因轴承故障导致的停机时间减少了 75%,明显提升了生产效率,同时因材料出气率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生产成本。绿色制造工艺,新巴顿分子泵轴承助力机械行业低碳转型。
为满足机械行业的全球化需求,新巴顿建立了分子泵轴承的国际物流网络。通过 DHL、FedEx 等国际快递,常规型号可在 3-5 个工作日送达亚太地区,5-7 个工作日送达欧美;大宗货物采用空运(上海浦东机场至法兰克福、洛杉矶等枢纽),清关时间≤24 小时。针对海外机械客户的特殊需求,提供本地化仓储服务(如在越南、墨西哥设立保税仓),库存周转率达 8 次 / 年,缩短交货周期至 7-10 天。国际物流方案的优化使新巴顿分子泵轴承能够快速响应全球机械市场的需求,支持国内机械企业的海外项目拓展。巴顿分子泵轴承:智能化监测,预防故障。杨浦区104FFT5G33分子泵轴承
不对称倒角滚道,新巴顿分子泵轴承降低机械运转噪音,环境友好。奉贤区C36STAY52分子泵轴承
分子泵轴承在 10??Pa 以上的超高真空环境中运行时,材料的出气率成为关键指标。新巴顿采用真空除气工艺对轴承组件进行预处理,通过在 120℃真空炉中烘烤 24 小时,使不锈钢套圈的水汽释放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。针对真空镀膜设备中铝蒸汽冷凝导致的轴承卡死问题,公司开发的迷宫式密封结构,通过多道曲径密封槽与挡油环配合,将蒸汽侵入量减少 90%。某光学镀膜企业使用该方案后,轴承更换周期从 1 个月延长至 8 个月,大幅降低了因停机导致的产能损失。奉贤区C36STAY52分子泵轴承