分子泵轴承选型需综合考量转速、载荷、真空度及环境介质四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵为例,其转子重量约 5kg,高速旋转时产生的离心力可达 5000N,需选用接触角为 30° 的角接触球轴承,通过背对背安装方式承受双向轴向载荷。新巴顿提供的选型工具可根据用户参数自动计算:当转速超过 12 万转 / 分钟时,推荐采用 7000 系列角接触轴承,其 Dm?N 值(轴承节圆直径 × 转速)可达 1.2×10?mm?r/min,同时需搭配陶瓷球以降低离心力引起的形变。对于含腐蚀性气体的真空环境,316L 不锈钢材质的轴承配合 PTFE 保持架,可耐受氯气、氟化氢等介质的侵蚀。新巴顿分子泵轴承优化安装设计,简化流程,降低安装难度。江苏VAC6001AB017分子泵轴承
新巴顿分子泵轴承采用先进的复合材质体系,主要部件陶瓷球选用氧化锆(ZrO?)材料,其硬度高达 HRA85,抗弯强度达到 230GPa,相比传统轴承钢材质,耐磨性提升了 3 倍以上。不锈钢套圈采用真空除气处理的 AISI 440C 不锈钢,在 10??Pa 的超高真空环境下,水汽释放率只为 5×10??Pa?m3/s,极大降低了出气对真空系统的影响。某半导体蚀刻设备在采用新巴顿陶瓷轴承后,运行寿命从原本的 8 个月延长至 28 个月,设备因轴承故障导致的停机时间减少了 75%,明显提升了生产效率,同时因材料出气率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生产成本。松江区C102HY17分子泵轴承巴顿分子泵轴承:定制化解决方案,满足特殊需求。
针对机械行业的能效优化需求,新巴顿分子泵轴承通过摩擦学设计降低能量损耗。滚动体与滚道的表面粗糙度优化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度润滑剂(40℃运动粘度 10-20mm2/s),使摩擦系数在高速运转时稳定在 0.002-0.005。在磁悬浮分子泵中,这种设计可将轴承功耗占比降至整机的 3% 以下,较传统设计提升能效 12%。通过摩擦磨损试验机测试(载荷 200N,转速 30000rpm,持续 100 小时),轴承的磨损量≤5μm,表面无明显划痕,证明其在机械长期运行中的低摩擦特性。能效提升的同时,也减少了机械因摩擦发热导致的热变形风险,维持系统精度稳定性。
分子泵轴承在 10??Pa 以上的超高真空环境中运行时,材料的出气率成为关键指标。新巴顿采用真空除气工艺对轴承组件进行预处理,通过在 120℃真空炉中烘烤 24 小时,使不锈钢套圈的水汽释放率降至 5×10??Pa?m3/s 以下。针对真空镀膜设备中铝蒸汽冷凝导致的轴承卡死问题,公司开发的迷宫式密封结构,通过多道曲径密封槽与挡油环配合,将蒸汽侵入量减少 90%。某光学镀膜企业使用该方案后,轴承更换周期从 1 个月延长至 8 个月,大幅降低了因停机导致的产能损失。具备智能监测功能,新巴顿分子泵轴承实时掌握运转状态,保障安全。
分子泵轴承作为真空系统主要部件,承担着支撑高速旋转转子、确保真空腔体内气流稳定的关键作用。其工作环境通常要求转速高达 10 万 - 15 万转 / 分钟,因此对轴承的动态稳定性、耐磨性能及热传导性提出严苛标准。在半导体制造中,分子泵轴承需维持纳米级制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若轴承失效将导致腔室污染,直接影响芯片良率。新巴顿(上海)轴承销售有限公司针对此类需求,提供基于陶瓷球与不锈钢套圈的组合方案,通过优化滚道弧度设计,使轴承在高速运转时的温升控制在 30℃以内,满足半导体设备 24 小时连续运行的可靠性要求。新巴顿分子泵轴承库存充足,快速发货,保障机械紧急维修需求。无锡C38SST5G33分子泵轴承
新巴顿分子泵轴承经严格质量把控,从选材到成品,品质可靠有保障。江苏VAC6001AB017分子泵轴承
新巴顿的分子泵轴承质量控制贯穿全生产流程。原材料进厂检验包括超声波探伤(缺陷分辨率≤0.1mm)、硬度测试(误差 ±1HRC);加工过程中采用在线检测(如滚道尺寸激光测量,精度 ±0.5μm);成品测试包含振动检测(加速度传感器采样率 50kHz)、寿命试验(额定载荷下运行 1000 小时)。质量控制体系符合 ISO 9001:2015 标准,每批轴承附带材质报告、检测报告、寿命测试曲线,确保机械用户可追溯产品质量。在机械行业的质量审计中,该公司的轴承合格率达 99.8%,退货率<0.1%,为可靠性提供坚实保障。江苏VAC6001AB017分子泵轴承