泄漏应急处理:泄漏:迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源,防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄露:用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可用大量水冲洗,洗水稀释后放入废水系统。大量泄露:构筑围堤或挖坑收容;用泵转移至槽车或专业收集器内,回收或运至废物处理场所处置。灭火方法:燃烧性:不燃。灭火剂:雾状水、泡沫。灭火注意事项:消防人员必须佩戴氧气呼吸器、穿全身防护服。食入:1、若患者即将丧失意识、已经失去意识或痉挛,勿经口喂食任何东西。2、用冷水彻底漱口。3、切勿催吐。4、让患者喝下240-300mL的10%葡萄糖酸钙溶液,以稀释胃中的物质。5、若患者自发性呕吐,让患者身体向前以避免吸入呕吐物。6、 反复给患者喝水。7、送医。氢氟酸储存或使用时必须禁止吸烟。北京无水氢氟酸工厂
目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重,因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关,垂直流向布置,原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下的流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同时可避免泵对产品的二次污染。55%氢氟酸制造厂氢氟酸是一种极其具有危险性的化学物质。
国内生产的氟塑料,往往掺入碳酸钙、二氧化硅、滑石粉等材料,这些物质对氟化氢生产工艺带来新的污染。还有就是塑料表面的光滑整洁度,也影响产品的质量,这些往往是我国材料生产和加工的薄弱环节。再有,国外能够生产吨级方桶和储罐,方便储运氢氟酸,而国内只能生产几十升的容器。此外,高纯氟化氢所用的分析测试仪器往往很贵,一般生产车间难以承担。同时,制备过程中的原料质量、人为因素、膜过滤、分析测试和灌装等环节都会影响高纯氟化氢的纯度。因此要想提高我国高纯氟化氢的生产水平和质量,要求全产业链的提升,而不是每一个生产厂自己努力就能解决的问题。
电子级氢氟酸的生产壁垒在于对金属离子含量的高标准。半导体中的金属离 子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性 等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分 布,导致半导体性能下降,因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求, 且适用的晶圆半径越大,制程越好,对金属离子含量的要求越高。半导体用的氢 氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L,对应 SEMI 为 G4 以上等级的氢氟 酸,对应国内行业标准则是 UP-SS 及以上等级的氢氟酸。对于现在国际上主流的 12 寸晶圆,其制造过程中需要金属离子含量低于 0.0001μg/L,对应 SEMI G5 或者 UP-SSS 标准。氢氟酸不应该与硝酸、过氧化氢等化学物质混合。
即使我国克服了所有困难生产出符合要求的高纯氟化氢,想替代日本公司也是很难的,因为芯片生产企业需要重新调试生产工艺,以便测试新原料对产品生产的影响。据估算调试工艺的时限大概是两个月的时间。一般的芯片企业不被逼到一定程度,不会下定决心更换原料的。半导体生产过程中所要用到的氢氟酸并不是普通的氢氟酸,而是超高精纯的电子级氢氟酸。由于普通工业级氢氟酸含有大量杂质,倘若用来生产半导体,基本上只能生产出废品来。因为芯片生产容不得过多的杂质,普通工业级氢氟酸含有的杂质对芯片生产影响十分大。那么问题来了,半导体生产中所需的高纯氟化氢要求多纯呢?据了解,日本生产的较高纯度的氢氟酸纯度为99.9%,这个纯度的高纯氟化氢,在目前较先进的芯片生产工艺中都能够完全适配,这也是韩国极度依赖从日本进口高纯氟化氢的重要原因了。使用氢氟酸时必须保持设备和环境清洁和干燥。北京无水氢氟酸工厂
使用氢氟酸处理的物品应当存放在液体密封容器中。北京无水氢氟酸工厂
严格来说,提纯的工艺流程也不是很复杂。主要是利用氟化氢的挥发性以及不同物质沸点不同,采用精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术对氟化氢进行纯化。在此过程中,要把三价砷的氟化物氧化成五价,以免它跟着氟化氢一起蒸馏出来。然后用高纯水溶解氟化氢,再过超滤膜过滤杂质,之后进行检验和无尘灌装。我们国家相关的纯化工艺技术有很多。随着我国化学工艺研究水平的提高,一套合格的生产工艺设计并不难,难就难在生产厂房和设备上了。先说生产厂房,虽说我国已经发展成为基建强国,但对于超净高纯氢氟酸厂房这样的特殊基建还没有成熟经验。这样的厂房要求与外界严密隔离,要设置多重的过滤系统,争取不让任何灰尘进入生产区。厂房不只要有双层的门窗和多重的通风过滤系统,而且要精打细算到每个工作区都用小的隔断隔开,设置单独的过滤系统,保证外来的“新鲜空气”,经过多重过滤和杀细菌以后达到万级以上的净化度,灌装车间甚至要求达到百级以上。北京无水氢氟酸工厂
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