激光平面干涉仪是基于菲索干涉原理设计的光学精密计量仪器，主要用于检测光学元件表面面形精度和光学材料的均匀性 [1] [3-4]。该设备测量精度可达到1/10-1/100波长量级，采用半导体激光器（635nm）作为光源，具有防尘效果好、结构紧凑等特点，适用于光学车间、实验室等场景的批量检测 [3-4]。上海乾曜光学科技有限公司与北京海富达科技有限公司均具备相关生产能力，其中G150M、G200M及60-LP等型号产品采用标准化测量口径设计，可满足不同使用场景需求 [2-4]。截至2025年，相关企业产品已服务国内外科研院所及工业企业 [2]。双频激光干涉仪的基本原理是利用激光的相干性和干涉现象?；⑶鹎ㄖ扑导す飧缮嬉遣方樯?/p>

另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。精度高双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等高新区安装双频激光干涉仪销售厂干涉仪的应用包括测量微小位移、折射率、波长、材料的光学特性等。

干涉图样分析：通过观察干涉条纹的变化，可以获取关于物**移、形状、厚度等信息。激光干涉仪广泛应用于精密测量、材料科学、光学研究、工程检测等领域。常见的类型包括迈克尔逊干涉仪、法布里-佩**涉仪和激光位移传感器等。由于其高精度和高灵敏度，激光干涉仪在科学研究和工业应用中都具有重要的地位。干涉仪是一种用于测量光波或其他波动现象的仪器，利用干涉原理来分析波的特性。干涉是指两束或多束波在空间中相遇时相互叠加，形成新的波形的现象。干涉仪广泛应用于物理学、工程学、光学等领域。

多普勒效应：当测量镜移动时，测量光的频率变为f1±Δf，与参考光f2干涉后形成差频信号|(f1±Δf)-f2|，该信号反映出位移引起的频率变化。信号检测：光电探测器将光信号转为电信号，经电路处理提取差频变化量，然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。二、主要特点精度高：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到微米（μm）量级，细分后更可达到纳米（nm）量级。应用范围广：双频激光干涉仪可用于长度的精密测量，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等。当两束不同频率的激光光束经过分束器分开后，经过被测物体的反射或透射后再合并，形成干涉条纹。

8、激光干涉仪的光源——激光，具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。激光器产生两束频率相近的激光（如利用塞曼效应或声光调制），频率分别为f1和f2?；⑶鹎ㄖ扑导す飧缮嬉遣方樯?/p>

现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至达到十几m/s，适于高速动态测量?；⑶鹎ㄖ扑导す飧缮嬉遣方樯?/p>

截止***，激光干涉仪引力波探测器已经发展了40余年。 目前LIGO激光干涉仪实验宣称***直接测量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以认为是两路光线的干涉仪， 而另外一类引力波探测实验， 脉冲星测时阵列则可认为是多路光线干涉仪（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光谱仪。法布里-珀**涉仪等多光束干涉仪具有很尖锐的干涉极大，因而有极高的光谱分辨率，常用作光谱的精细结构和超精细结构分析。历史上的作用。19世纪的波动论者认为光波或电磁波必须在弹性介质中才得以传播，这种假想的弹性介质称为以太?；⑶鹎ㄖ扑导す飧缮嬉遣方樯?/p>

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