激光平面干涉仪是基于菲索干涉原理设计的光学精密计量仪器，主要用于检测光学元件表面面形精度和光学材料的均匀性 [1] [3-4]。该设备测量精度可达到1/10-1/100波长量级，采用半导体激光器（635nm）作为光源，具有防尘效果好、结构紧凑等特点，适用于光学车间、实验室等场景的批量检测 [3-4]。上海乾曜光学科技有限公司与北京海富达科技有限公司均具备相关生产能力，其中G150M、G200M及60-LP等型号产品采用标准化测量口径设计，可满足不同使用场景需求 [2-4]。截至2025年，相关企业产品已服务国内外科研院所及工业企业 [2]。用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以扩展；张家港购买双频激光干涉仪五星服务

激光干涉测量仪通过双频激光技术实现高精度线性位移测量，适用于车间生产环境下的数控机床校准、三坐标机校准及光学平台校准。其测量镜组可扩展功能，支持直线度、垂直度等几何量检测 [2]。该仪器的系统包括 [2]：1.双频激光头及附件2.环境补偿单元3.测量软件、分析软件4.各类测量镜组激光干涉测量仪的优势包括紧凑设计、自动环境补偿及符合测校国家标准的测量分析软件。截至2023年8月，典型型号LH3000的测量速度可达2米/秒，频差为7±0.5MHz [2]。相城区定制双频激光干涉仪产品介绍双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。

双频激光干涉仪激光干涉仪在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。

激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。它通过将激光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样，从而可以精确测量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉仪的基本原理可以概括为以下几个步骤：激光发射：激光器发出单色光束。光束分割：通过分束器将激光束分成两部分，通常称为参考光束和测量光束。光程传播：参考光束和测量光束分别经过不同的路径，可能会经过被测物体或介质。光束合并：两束光在分束器后重新合并，形成干涉图样。高精度：双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度，适用于微小位移的检测。

干涉仪是很***的一类实验技术的总称， 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息， 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1]， 光学， 工程测量， 海洋学， 地震学， 波谱分析， 量子物理实验， 遥感， 雷达等等精密测量领域都有广泛应用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化， 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息。两列具有同频率波之振动在一点处可以用如下公式描述那么这两列波叠加以后的波的振动为即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。相城区直销双频激光干涉仪量大从优

起初用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上，以后又用于加工中心的定位系统中。张家港购买双频激光干涉仪五星服务

(1)接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。(2)利用多普勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号，这对于远距离测量是十分重要的，同时在近距离测量时又能简化调整工作。(3)测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上，以后又用于加工中心的定位系统中。张家港购买双频激光干涉仪五星服务

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