激光干涉仪是一种高精度的测量工具,以下是对其的详细介绍:一、定义与原理激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。其工作原理基于干涉原理,即当两束波重叠并结合时,会产生新的波形模式。在激光干涉仪中,激光束被分为两路,一路经固定反射镜反射,另一路经可动反射镜反射,两束光重新汇合时产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化被转换为电信号,进而计算出位移量。干涉仪广泛应用于物理学、工程学、光学等领域。虎丘区定制双频激光干涉仪五星服务
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3. 可选的无线遥控传感器**长的控制距离可到25米4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性5. 全套系统重量*15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。张家港附近双频激光干涉仪单价光程传播:参考光束和测量光束分别经过不同的路径,可能会经过被测物体或介质。
干涉仪是一种使用干涉测量技术的光学计量仪器,其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息,从而获得实验所关心的物理量。以下是对干涉仪的详细介绍:一、基本原理具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化,从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息。由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数,这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹,即干涉条纹。基本构成干涉仪一般由光源、分束器、反射镜、干涉屏(或检测器)等组成。光源发出的光经过分束器被分成两束,分别经由反射镜反射回来,并在干涉屏(或检测器)上产生干涉图样。其中,各元件的功能如下:
迈克尔逊干涉仪(英文:Michelson interferometer)是光学干涉仪中最常见的一种,其发明者是美国物理学家阿尔伯特·亚伯拉罕·迈克尔逊。迈克耳逊干涉仪的原理是一束入射光经过分光镜分为两束后各自被对应的平面镜反射回来,因为这两束光频率相同、振动方向相同且相位差恒定(即满足干涉条件),所以能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调节干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现,从而能够形成不同的干涉图样。干涉条纹是等光程差的轨迹,因此,要分析某种干涉产生的图样,必需求出相干光的光程差位置分布的函数。双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。
这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。它通过多次反射在两个平面镜之间形成干涉。虎丘区定制双频激光干涉仪五星服务
抗干扰能力强:由于使用了两种不同频率的激光,干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。虎丘区定制双频激光干涉仪五星服务
激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。用稳频的氦氖激光器作为光源,由于它的相干长度很大,干涉仪的测量范围可以**的扩展;而且由于它的光束发散角小,能量集中,因而它产生的干涉条纹可以用光电接收器接收,变为电讯号,并由计数器一个不漏的记录下来,从而提高了测量速度和测量精度,比如说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪,可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕,精度达到±0.2μm,这就是激光干涉仪的成功例证。虎丘区定制双频激光干涉仪五星服务
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