氦检仪在真空度校验中有什么应用？氦是一种惰性气体，不会对设备产生腐蚀，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小，常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。检漏过程中，如发现大量氦气进人氦质谱检漏仪，应立即移去吸口。安徽国产氦质谱检漏仪氦检模块

在使用氦检仪时要如何保养？①如果仪器不是每天都使用，建议每周启动并检查一次，以保持仪器的高真空系统处于真空状态，在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件（如离子源）拆卸后，安装过程中应避免在安装现场发生泄漏，仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处（如放气阀等）进行自检。）可能出现在仪器上，并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固，以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。④氦检仪维护定期维护油泵。（散热口粉尘处理及泵油的检查和更换）⑤严禁在氦检仪上，尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦检仪是一种高精度仪器，其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。⑥使用时，请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时，仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动，涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障，否则会对氦检仪造成不良影响。真空氦质谱检漏仪生产厂家氦检仪检漏范围宽：不只可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦检仪的组成部分有哪些？真空系统：冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离，冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔，用它来校准仪器的较小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。

氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。

使用氦检仪需注意的几个问题：(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统间的压差,使氦检仪正常工作,该方法检漏效率稍高,但安装较为复杂。(2)仪器灵敏度:灵敏度的高低直接影响检漏的效果。氦检仪经过一段时间的使用后,灵敏度会有所下降,严重时对纯氦无反应。因此,平时应该经常保持仪器,特别是质谱室的清洁,定期打开气镇阀运行一段时间,并给旋片真空泵换油,这样可以减少仪器对氦的记忆效应。另外还要定期用标准漏孔对仪器的灵敏度进行校验,使氦检仪始终保持较佳的工作状态。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。安徽氦质谱检漏仪供应商

氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。安徽国产氦质谱检漏仪氦检模块

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。安徽国产氦质谱检漏仪氦检模块