氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗?；虺景＞突岫跃г斐晌廴?，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪应用领域：学?？蒲械ノ弧⒄婵罩圃?、真空镀膜、航空航天等。上海客制化氦质谱检漏仪特点
氦检仪在无源器件中的检漏应用：无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已普遍应用于光无源器件的检漏。光无源器件检漏方法：由于无源器件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，我们采用“背压法”检漏，具体做法如下。1.将被检无源器件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定。2.取出无源器件，使用空气或氮气吹扫表面氦气。3.将无源器件放入真空测试罐，测试罐连接氦检仪。4.启动氦检仪，开始检漏。杭州自动氦质谱检漏仪哪个牌子好氦检仪检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
氦检仪在使用过程中，较常见的故障就是灯丝脆断，氦检仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。氦检仪灯丝寿命如何延长？造成氦检仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦检仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。
氦检仪测量数据处理：漏率示值误差，①漏率的温度修正，标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦检仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:方法一:将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；方法二:将标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的氦检仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。淮安氦质谱检漏仪检修
专业用于电厂检漏的氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。上海客制化氦质谱检漏仪特点
氦检仪灵敏度降低应该如何维护？当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使氦检仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦检仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。上?？椭苹ぶ势准炻┮翘氐?/p>