氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识:(1)前级真空泵的定期换油及深度保养;(2)电磁阀组的超声清洗;(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦检仪不只灵敏度高,而且操作方便;常州进口氦质谱检漏仪供应厂家
氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯1性氦检仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体,主要是因为氦质量轻,易于穿过漏孔,扩散快,对分析设备制造的要求相对简单;同时氦气在空气中含量少,本底压力小,又为惰性气体,不易发生反应等等,都为提高仪器灵敏度创造了条件。温州小型氦质谱检漏仪使用方法氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用。
影响氦质谱检漏仪检测精度的因素:1、受到检测压力的影响,泄漏率对测试压力的依赖性,对不同的测量条件是不同的。一般而言,对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时,试验压力对泄漏率的影响较大,而对于多孔性较低时则影响较小。另外,随测试压力的增高,还会带来诸如温度影响,所需稳定时间加长等一系列问题。因此,建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测,然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为它的测试压力。2、受到检测容积的影响,在一个特定的泄漏率值里,如果检测容积增大的话,那么相应的压力降低的速度就越低,因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下,如果不想方设法减少测量容积,那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。
氦质谱检漏仪调氦峰步骤:1、调氦峰方法:开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好:①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小:①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。由于氦质谱检漏仪仪为高精度精密仪器,其存放和使用环境要保持干净、卫生。
氦检仪进展的集中体现在如下几个方面:(1)便携式:较近各国推出的小型便携式氦检仪不只灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的氦检仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极氦检仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。真空氦质谱检漏仪厂家推荐
氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性。常州进口氦质谱检漏仪供应厂家
氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的重点功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证氦检仪真空度等工作。常州进口氦质谱检漏仪供应厂家