氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。浙江便携式氦质谱检漏仪一台多少钱

影响氦质谱检漏仪检测精度的因素：1、受到检测压力的影响，泄漏率对测试压力的依赖性，对不同的测量条件是不同的。一般而言，对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时，试验压力对泄漏率的影响较大，而对于多孔性较低时则影响较小。另外，随测试压力的增高，还会带来诸如温度影响，所需稳定时间加长等一系列问题。因此，建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测，然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为它的测试压力。2、受到检测容积的影响，在一个特定的泄漏率值里，如果检测容积增大的话，那么相应的压力降低的速度就越低，因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下，如果不想方设法减少测量容积，那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。金华智能氦质谱检漏仪使用方法氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。

选择氦检仪时主要考虑以下问题：（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合正压法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的氦检仪。（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的氦检仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的氦检仪，否则就要外加预抽泵。（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的氦检仪。（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。

氦检仪漏率的校准方法：一、环境条件，校准环境温度为(23±5)℃，校准过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择，标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不确定度不大于10%。精密玻璃温度计，测量范围(0～50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

氦检仪常用的几种检漏方法：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的氦检仪器。浙江全自动氦质谱检漏仪供应厂家

喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。浙江便携式氦质谱检漏仪一台多少钱

氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理：一、机械维护，检查泵的油量，如果低于低标线，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗，泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪下方设置过滤器，将其拆下，用酒精浸泡清洗。检查泄漏，用棉布擦拭波纹管。三、以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电：1.电源线连接不当；2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。浙江便携式氦质谱检漏仪一台多少钱