氦检仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度，但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的，称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中，氦检仪的检漏方法也较多，有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式，可结合实际情况灵活运用。如较简单常用的喷吹法，与卤素氦检仪的真空法类似，将被检件抽真空，调整好氦检仪并与被检件连通，随后用喷头在可疑处喷吹氦气，如果存在漏洞，喷吹一定时间后，氦检仪即可发出信号。氦检仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。宁波模块式氦质谱检漏仪特点

氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。宁波模块式氦质谱检漏仪特点氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作，由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂，内部有很多管道和传动机构，有的体积很大，达几十立方米，甚至数百立方米，连接管道和内部管道的总长度可达几公里，焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里，必须投人很大力量对设备严格进行检漏，所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。

氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：①氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，这样氦气的本底值就小，有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔，易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析;④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备;⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。氦质谱检漏技术用于火力发电厂的检漏工作,具有操作方便、灵敏度高和无损伤性等优点,特别是可以在正常运行中准确快捷地对机组进行检漏,减少停机带来的经济损失。喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。

氦质谱检漏仪的保养注意事项：1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。4.氦质谱检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）。5.禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦质谱检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。氦检仪检漏范围宽：不只可检测氦气，而且能检测其它气体。常州氦质谱检漏仪费用

氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。宁波模块式氦质谱检漏仪特点

氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？当发现检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油或无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。宁波模块式氦质谱检漏仪特点