匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等。匀胶显影机一般由四部分组成。***部分是晶圆盒工作站（wafer cassette station），晶圆盒在这里装载到机器上。机械手（robot arm）从晶圆盒中把晶圆抽出来，传送到工艺处理部分（process block），即第二部分。工艺处理部分是匀胶显影机的主体，增粘模块（adhesion enhancement）、热盘（hot plate）、冷盘（chill plate）、旋涂、显影等主要工艺单元都安装在这里，一个或两个机械手在各单元之间传递晶圆。第三部分是为浸没式光刻工艺配套的单元，包括晶圆表面水冲洗单元、背清洗单元等。第四部分是和光刻机联机的接口界面（interface），包括暂时储存晶圆的缓冲盒（buffer）、晶圆边缘曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻机交换晶圆的接口等。 [1]在显影过程中，显影液会逐渐损耗降低显影性能，所以需要及时补充(开机补充，静态补充，动态补充)。南通定制涂胶显影机直销价

显影偏压显影偏压由高压板产生，并施加于显影辊，用以提供图像对比度。例如：显影套筒的偏压由交流电（AC）提供，如京瓷KM-1650机器：显影偏压Vp-p：所施加电压的最大值和最小值之差；固定高压：1.6kV；Vf：频率；一般为2.7kHz，该值根据驱动时间预设值和环境校正的不同而不同；占空比：一个周期内正电压所占的时间比例一般为45%；Vdc：显影偏压290V；Vo：感光鼓表面非图像区域（未曝光区）的电压；VL：感光鼓表面图像区域（曝光区）的电压。 [2]锡山区定制涂胶显影机厂家直销定期更换保护胶并清洗保护胶系统(建议每天一次)；

3）磁穗刮板：磁穗刮板控制显影套筒（磁辊）输送的显影剂的量，这样显影剂磁穗将与感光鼓表面恰当接触。4）搅拌轮：显影剂混合时会产生墨粉和载体的摩擦。因为载体充上正电荷，而墨粉会充上负电荷，从而通过摩擦产生的静电会将充电的载体和墨粉依附在鼓表面。5）ATDC（磁通密度传感器/自动墨粉传感器）：显影剂中的载体与墨粉（即墨粉浓度）应保持固定的比例，从而才能打印出正常的图像。ATDC通过磁桥电路检测显影剂中的墨粉的比率。当传感器探测到墨粉量不足时，它会驱动墨粉电机从墨粉盒中添加新粉。

4 **小执行单位：X轴1μM，Z轴1μM。5 有***值编程（G90）和增量值编程（G91），软限位（G67和G68）。6 有宏指令和参数编程。CNC有极强的二次开发能力和高度开放的PLC功能。7 由于采用高速CPU和段预读功能，保持程序段间无停顿，连续匀速运动。8 用口令来***对机械数据的操作和程序输入，输出，删除，复制，CNC的操作非常简便。CNC硬件上的优点：1 CNC是双CPU。一个是工业用MOTOROLA公司的M68000系列32位单片机。它用于各种插补运算。一个是Z80单片机。它用于图形和键盘功能。定期清洗加热段导轨(每周一次)；

冲洗系统冲洗系统主要是由两组喷淋管向版面正反面喷淋清水，以除去附着在版面上的显影生成物和多余的显影液，并通过挤压辊挤去版面上的水分；同时具备二次水洗功能。涂胶系统涂胶系统主要功能是在显影后的版面上涂上一层均匀的保护胶。干燥系统干燥系统由送风管和胶辊组成，通过吹风和加热使印版迅速干燥，***将印版送出。显影液配置显影液配置需参考显影液说明书和印版说明书，一般推荐使用印版厂家配送的显影药液，配置出的显影液必须保证不同厚度版材的显影宽容度。涂胶显影机（track）是一种用于半导体制造过程中光刻工艺的关键设备。锡山区定制涂胶显影机厂家直销

定期彻底清洗胶辊，保证各胶辊之间压力均匀(每周一次)；南通定制涂胶显影机直销价

显影机一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成。传动系统传动系统是引导印版运行的驱动装置。是由电机通过蜗轮蜗杆或链轮链条带动传送辊转动，并通过对压胶辊驱动使印版通过显影机的各个工作环节。显影系统印版显影过程中，经过循环显影液均匀、连续地喷淋，将印版空白部位的感光层迅速溶解，有的显影机还加有刷辊刷洗，加速这种溶解。为了保证显影液在恒定条件下工作，此部分还有加热器和冷却器，可自动调节温度（一般控制在25℃左右）。药液自动循环过滤，保证各处药液浓度和温度均匀一致。南通定制涂胶显影机直销价

无锡凡华半导体科技有限公司是一家有着先进的发展理念，先进的管理经验，在发展过程中不断完善自己，要求自己，不断创新，时刻准备着迎接更多挑战的活力公司，在江苏省等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**，在业界也收获了很多良好的评价，这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果，这些评价对我们而言是比较好的前进动力，也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神，努力把公司发展战略推向一个新高度，在全体员工共同努力之下，全力拼搏将共同凡华供应和您一起携手走向更好的未来，创造更有价值的产品，我们将以更好的状态，更认真的态度，更饱满的精力去创造，去拼搏，去努力，让我们一起更好更快的成长！