日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：MU30N18P/H

MAX排气速度（L/min）：50000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V

消费电力（KW）：1.6KW

外型尺寸WHL [mm]：1000×450×950

质量【kg】：410kg

二、 配置清单：

浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵，欢迎您的来电哦！北京SDL12E50干式真空泵维修

       近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高，真空度上不去，叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换，用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车，而且由于腐蚀真空度上不去，排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱，但是影响生产，一个班组的人都等着泵修好，下面的人瞪着眼看着，上面领导脸色又不好，很是尴尬难受！因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵，干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。北京MU100X干式真空泵干式真空泵，就选浚和(上海)仪器有限公司，让您满意，期待您的光临！

日本KASHIYAMA干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：1）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；2）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；3）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；4）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。5）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求.

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDL36E60

MAX排气速度（L/min）：60000

达到压力（Pa）：0.8

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：850×1295×1370

重量（kg）：920

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

干式真空泵，就选浚和(上海)仪器有限公司。

干式螺杆真空泵选型

       干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

       干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组：

       了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

       干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司，欢迎您的来电哦！深圳KASHIYAMA干式真空泵现货

浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵，欢迎您的来电哦！北京SDL12E50干式真空泵维修

日本KASHIYAMA SDE8060干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE8060

MAX排气速度（L/min）：120000

达到压力（Pa）：0.8

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：850×1220×1600

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

北京SDL12E50干式真空泵维修

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