通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。
1）清洁环保；
2）真空度高；
3）防腐设计（**技术）；
4）可抽除可凝性气体及少量粉尘气体（**技术）；
5）特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑系统互相污染；
6）防过载设计；
7）运转平稳；
8）高标准配置；
9）附件配置齐全
10）高质量健全的零配件供应。 干式真空泵的主要特点有很多。南京MU180X干式真空泵维修
干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
南京MU180X干式真空泵维修4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.
KASHIYAMA Neodry7E真空泵技术参数
产品介绍：KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力，NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时，维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。
主要参数：
1. 采用空冷式设计降温
2. 转子与内腔非接触式物理构造设计
3. *Zui大排气速度110L/min
4. 极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)
5. 选配气镇阀后，可排出水与有机溶液，Zui大水份处理量120g/hour
6. *远程或联动输出端子
7. 电动机功率：0.4kW
8. 噪音小于65dB(A)
9. 吸气口径：NW25 排气口径：NW25
10. 重量 20KG
11. 电源电压 单相AC220V
12. 外尺寸：196W x 360L x 219Hmm
基本配置：
1. 主机 一台
2. 选程起动端子 一个
3. 电源线 1.5m 一根
4. 说明书 一本
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）
SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
系统组成：
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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干式真空泵的好处您了解吗？
日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
式样：SDE4030M20
MAX排气速度（L/min）：80000
达到压力（Pa）：0.5
电源电压：3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]：800×1580×1320
二、 配置清单：
序号
描述
数量
备注
1
SDE4030M20主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器（原厂件，选配）
未包含
7
入口过滤器（选配，非原厂件）
未包含
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：
1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。
3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
您知道浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵系列都有哪些吗？南京MU180X干式真空泵维修
日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
|
式样 |
SDE20N12TX |
|
MAX排气速度（L/min） |
30000 |
|
达到压力（Pa） |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V，380-480V |
|
消费电力（KW） |
3.3KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
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